JJF 1932-2021标准规范下载简介

JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范.pdf简介：

JJF 1932-2021 是指《光学测微仪器——椭偏仪校准规范》（Simplified Chinese Version: 光学测微仪器-椭偏仪校准规范），这是一个由中国国家质量监督检验检疫总局（CNCA）发布的计量检定规程。它规定了椭偏仪这种光学测量仪器的校准方法、程序和要求，以确保其测量结果的准确性和一致性。

椭偏仪是一种用于测量材料的光学性质，特别是偏振光在材料中的传播和散射的仪器。它广泛应用于科学研究、材料科学、电子、光学等领域，用于测量材料的椭圆度、反射率、透过率、吸收率等参数。

JJF 1932-2021 校准规范涵盖了椭偏仪的硬件校准、软件校准、测量方法、环境条件、校准周期等方面的内容，目的是为了保证仪器的性能稳定，提升测量结果的可靠性，以及满足相关行业和标准的要求。

在使用椭偏仪时，按照该规范进行校准和维护，可以确保测量数据的准确性和对比性，为科研和生产提供有力的支持。

JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范.pdf部分内容预览：

C.3.3.6合成标准不确定度与扩展不确定度 由于各标准不确定度分量不相关，故合成标准不确定度为：

C.3.3.6合成标准不确定度与扩展不确

《爆炸性气体环境用电气设备 第5部分：正压外壳型“p” GB 3836.5-2004》u()=()()+()()+w()

计算扩展不确定度时，取包含因子k=2，结果如表C.5所示。

uBw() =0. 02/ /3 ~ 0. 01 urw(△) = 0. 05 /3 ~ 0. 03°

表C.5偏角的合成标准不确定度与扩展不确定度

硅表面氧化硅的椭偏光学模型

在（250～2000）nm波段范围，透明材料的折射率作为波长的函数（色散关系） 用Cauchy模型描述：

DB33∕T 1171-2019 住宅建筑生活二次供水工程技术规程C.10° 入 2 入4

波长入的单位为nm，A、B和C为待定参数；此外，也常采用Lorentz、Tauc Lorentz等色散模型。 单晶硅的光学常数一般取自文献，硅基底SiO2薄膜标准样品如无特殊说明，其表 面平行于（100）晶面。 对于实验获得的硅表面二氧化硅薄膜的椭偏光谱数据，可以用上述色散模型，建立 光学模型（如“空气/SiO2/Si”模型），构造目标函数，进行非线性最小二乘拟合，得 到导出参数（derivedparameters）如膜厚、薄膜光学常数等。目标函数的一种定义可 以是：

上标Exp和Cal分别表示实验和计算值；M是测量数据点数；P是待拟合模型参 数个数。 在应用模型拟合分析导出参数时，应特别注意，不同色散模型、光学模型的应用， 会改变拟合度、给出参数的不同拟合结果，该差异不涉及仪器本身测量光谱的准确度， 但却给参数分析引入系统误差。在分析导出参数不确定度时，推荐采用JJF1059.2《用 蒙特卡洛法评定测量不确定度》。 在分析波长、入射角的影响时，可采用上述模型计算评估标准不确定度分量。“空 气/SiO2/Si”模型的相关数据如下（来自Handbookofopticalconstantsofsolids， edited bv E. D. Palik, London: Academic Press, 1985)

表D.1二氧化硅薄膜椭偏模型光学参数

7.6中波片调节的一种示例如下。

《镇(乡)村建筑抗震技术规程 JGJ161-2008》图E.1波片调节示意图

一椭偏仪起偏器；P1一辅助起偏器；C1一波片标准样品

图E.1中，yz面为入射面，偏振元件的光轴用实线箭头标出。设定椭偏仪光路中 所有可调偏振光学元件的光轴平行于入射面，设定旋转偏振光学元件（如果有）为静止 状态，设定可移出光路的固定光轴式偏振光学元件（如果有）为移出状态。下述调节过 程中，观察仪器接收信号直流分量的强度变化。 （1）调节P1起偏方向垂直于入射面：将P1置于光路中，P1通光面垂直于入射光； 旋转P1光轴使信号强度达到最小值。 （2）调节C1光轴平行于入射面：在P和P1之间加入C1，其通光表面垂直于入射 光；旋转C1光轴方位使信号强度重新达到最小值。 (3）移去P1。 为调节元件通光面垂直于入射光，可参照7.5，若仪器光路较短不便于实施，可在 光路中加入高斯目镜（也称为自准直目镜）或自准直仪（光路可通过分束镜转折），然 后调节波片与起偏器P通光面平行。 若仪器在P前面还有延迟器，则借助另一起偏棱镜P2置于该延迟器与C1之间 首先调节P2与P消光，以便找到入射面，然后以P2为准仿照上述步骤调节。