标准规范下载简介

HG／T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法.pdf简介：

HG/T 5962-2021 是一项中国国家标准，标题为"硅片切割废液处理与处置技术规范"。这份标准主要针对硅片切割过程中产生的废液，这是一种化学废液，含有硅酸盐、有机溶剂和其他可能的有害物质，如果不妥善处理，会对环境造成污染。

该标准规定了硅片切割废液的收集、储存、处理和处置的全过程。它包括以下几个主要环节：

1. 收集：要求对废液进行规范化、无泄漏的收集，避免二次污染。

2. 浓缩和预处理：废液可能需要通过物理或化学手段进行浓缩和预处理，如沉淀、过滤、吸附等，以去除大部分悬浮固体和有害物质。

3. 中和处理：废液中的酸碱物质可能需要通过中和反应，如添加碱性或酸性物质，使其pH值达到环保要求。

4. 污染物处理：针对特定的污染物，如重金属、有机物等，可能需要进一步的化学或生物处理技术进行净化。

5. 废液处置：处置方式包括但不限于固化稳定、安全填埋、资源化利用或者合规的环保焚烧，根据废液性质和当地法规选择合适的处置方法。

6. 监测和记录：在处理过程中需要进行污染物浓度监测，并保存相关记录，以确保处理过程的合规性和有效性。

总的来说，HG/T 5962-2021 是为了保护环境，防止硅片切割废液对土壤、水源和生态系统造成危害，实现绿色、可持续的工业生产。

HG／T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法.pdf部分内容预览：

片切割废液（浆）的主要成分见表1。

硅片切割废液（浆）的主要成分见表1。

5硅片切割废液的处理处置方法

切割废液（废水、冷却液）经压滤分离，液相经净化处理后得到回收水回用，固相（固废）经 后可回收硅，

GBT5135.19-2010 自动喷水灭火系统 第19部分 塑料管道及管件5.1.2工艺流程简述

切割废液（废水、冷却液）统一收集于废水收集池，用板框压滤机进行固液分离。液体经陶瓷 过滤后，大部分返回切割工艺回用（得到的回用水），少量高浓废水进入污水站高浓废水池进行 步处理。固废中含有硅粉及少量金属杂质，经处理后交由具有硅回收能力的企业进行硅提纯处理

5. 1.3工艺流程图

金刚线硅片切割废液处理处置工艺流程见图1。

5. 1. 4 工艺控制参数

5.1.4.1切割废液处理温度：50℃60℃ 5.1.4.2搅拌时间：30min~60min。 5.1.4.3水洗：pH6~8。 5.1.4.4烘干温度：105℃110℃。 5.1.4.5烘于时间：60min~90min

5.1.5主要生产设备

切割废液处理主要设备包括：加热搅拌装置、板框压滤机、陶瓷膜过滤器

5.1.6各工序处理效果及计算

各工序处理效果按附录A计算，并符合下列要求： a）回用水不溶物含量不大于10g/L；

图1金刚线硅片切割废液处理处置工艺流程

D）回用水pH为6~8

5.2砂线配合砂浆切割废液处理处置

5.2.1切割废浆料（离线）处理处置

5.2.1.1方法提要

切方后的切割废浆料（离线）经压滤分离得到聚乙二醇（高浓度），回用手切片工序。滤饼 ）加入后续工序产生的回用液调制成浆，进行四道循环压滤得到聚乙二醇和含微硅粉的碳化硅 处理后得到成品聚乙二醇和碳化硅，可再利用

5.2. 1.2工艺流程简述

切方后的切割废浆料（离线）经压滤机固液分离得到聚乙二醇（高浓度）。滤饼（砂料）加入后 续工序产生的回用液调制成浆，进行四道循环压滤得到聚乙二醇，再经吸附脱色、脱悬分离、树脂交 换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇，与得到的聚乙二醇（高浓度）一并用于硅片切割。成品 聚乙二醇处理过程产生的固体废物（废活性炭、废树脂及浆渣）收集后交相关单位处理处置。 含微硅粉的碳化硅（滤饼）加入去离子水和聚乙二醇蒸发冷凝水，经悬流分离、底流筛分、带式 过滤、碱洗、酸洗、水洗后，烘干脱水、筛分，得到成品碳化硅及微硅粉（含少量或微量碳化硅）。 成品聚乙二醇及成品碳化硅回收再利用。微硅粉（含少量或微量碳化硅）统一收集，经消除反应特性 后转化为矿物性废物（一般性工业废物）

5.2.1.3工艺流程图

切割废浆料（离线）处理处置工艺流程见图2。

图2切割废浆料（离线）处理处置工艺流程

5.2.1.4工艺控制参数 5.2.1.4.1碳化硅回收工序 5.2.1.4.1.1 料浆温度：50℃~60℃。 5. 2. 1. 4. 1.2 搅拌时间：30min~60min。 5. 2. 1. 4. 1. 3 碱液（3%～5%氢氧化钠溶液）和固体颗粒的体积比：（3.5：1）～（4.5：1）。 5. 2. 1. 4. 1. 4 碱洗时间：4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 5 酸液（2%～31%盐酸溶液）与固体颗粒的体积比：（0.9：1）～（1.2：1）。 5. 2. 1. 4. 1. 6 酸洗时间：4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 7 水洗：pH6~8。 5. 2. 1. 4. 1. 8 烘干温度：105℃~110℃。 5. 2. 1. 4. 1. 9 烘干时间：60min~90min。

5.2.1.4工艺控制参数 5.2.1.4.1碳化硅回收工序 5.2.1. 4. 1.1 料浆温度：50℃~60℃。 5. 2. 1. 4. 1. 2 搅拌时间：30min~60min。 5. 2. 1. 4. 1. 3 碱液（3%～5%氢氧化钠溶液）和固体颗粒的体积比：（3.5：1）～（4.5：1）。 5. 2. 1. 4. 1. 4 碱洗时间：4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 5 酸液（2%～31%盐酸溶液）与固体颗粒的体积比：（0.9：1）～（1.2：1）。 5. 2. 1. 4. 1. 6 酸洗时间：4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 7 水洗：pH6~8。 5. 2. 1. 4. 1. 8 烘干温度：105℃~110℃。 5. 2. 1. 4. 1. 9 烘干时间：60min~90min。

5.2.1.4.2聚乙二醇回收工序

5.2.1.4.2.1吸附脱色温度：料浆温度50℃60℃。 5.2.1.4.2.2吸附脱色时间：60min~120min。 5.2.1.4.2.3蒸馏脱水温度：105℃~110℃

5.2.1.4.2.1吸附脱色温度：料浆温度50℃~60℃。

5.2.1.4.2.1吸附脱色温度：料浆温度50℃60℃ 5.2.1.4.2.2吸附脱色时间：60min~120min。 5.2.1.4.2.3蒸馏脱水温度：105℃~110℃

2.1.5主要生产设备

切割废浆料（离线）处理处置碳化硅回收工序和聚乙二醇回收工序主要设备包括： a）加热搅拌装置、板框压滤机、四道循环压滤装置、悬流分离装置、底流筛分装置、带式过滤 机、烘干机及筛分收集系统等； b）聚乙二醇脱色装置、板框压滤机、树脂交换装置、微孔过滤器、蒸馏脱水装置等

5.2.1.6各工序处理效果及计算

各工序处理效果按附录A计算，并符合下列要求： a）成品碳化硅回收率不小于88%； b）成品聚乙二醇（含用于切片回用）回收率不小于98%。

5.2.2切割废浆料（在线）处理处置

5. 2. 2. 1 方法提要

切割废浆料（在线）先分离出规定米 二醇及废浆料（在线）。废浆料（在线）经固液分离，液相经蒸馏、汽提后得到成品聚乙二醇，固 相统一收集，经消除反应特性后转化为矿物性废物 股性工业废物）

5. 2. 2. 2 工艺流程简述

废浆料（在线）经螺旋沉降离心，分离出粒度符合切割砂浆要求的碳化硅，收集回用。不符合切 割要求的废砂浆再经压滤，得到聚乙二醇及含少量碳化硅的聚乙二醇微硅粉浆，微硅粉浆经四道循环 玉滤使固液分离，液相聚乙二醇经脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇。成 品聚乙二醇处理过程产生的固体废物（废活性炭、废树脂及浆渣）收集后交相关单位处理处置。 微硅粉（含少量碳化硅）统一收集，经消除反应特性后转化为矿物性废物（一般性工业废物）

5. 2. 2 3工艺流程图

废浆料（在线）处理处置工艺流程见图3。

HG/T59622021

5. 2. 2. 4 工艺控制参数

5.2.2.4.1吸附脱色温度：料浆温度50℃~60℃ 5.2.2.4.2吸附脱色时间：60min120min。 5.2.2.4.3蒸馏脱水温度：105℃~110℃。

5.2.2.4.1吸附脱色温度：料浆温度50℃~60℃。

5. 2. 2. 5 主要生产设备

废浆料（在线）处理处

切割废浆料（在线）处理处置的主要设备包括：四道循环压滤装置、聚乙二醇脱色装置、板框压 滤机、树脂交换装置、微孔过滤器、蒸馏脱水装置

5.2.2.6各工序处理效果及计算

成品聚乙二醇回收率不小于95%，按附录A计

硅片切割废液（浆）处理处置过程中） 产工艺中。不能达到循环使用要求的，应进行无害化处理处置，若排放应符合GB8978的要求。

硅片切割废液（浆）处理处置过程中产生的废气，应采用专业的喷淋吸收等，进行无害化处理，

排放应符合GB16297的要求。

硅片切割废液（浆）处理处置过程中产生的废渣，应按GB5085.7的规定进行鉴别，并符合下 列规定： a）经鉴别属于危险废物，应根据自身条件进行深度无害化处理，或交由有资质的专业危险废物 处理机构进行处理； b）经鉴别属于一般固体废物，应按GB18599的要求进行处理，

硅片切割废液（浆）处理处置过程中产生的废渣，应按GB5085.7的规定进行鉴别，并符合下 例规定： a）经鉴别属于危险废物，应根据自身条件进行深度无害化处理，或交由有资质的专业危险废物 处理机构进行处理； b）经鉴别属于一般固体废物，应按GB18599的要求进行处理。

A.1回用水不溶物含量的测定

用量筒量取250mL回用水，精确至1.0mL。用预先于105℃土2℃下干燥至质量恒定的滤机 为5μm～15μm的玻璃砂埚抽滤，用60mL热水（约60℃）分3次洗涤残渣，然后连同玻理 于105℃±2℃下干燥至质量恒定

A.1.2试验数据处理

用水不溶物含量的质量分数W1，按公式（A.1)

干燥至质量恒定后回用水不溶物和玻璃砂埚的质量的数值，单位为克（g）； 干燥至质量恒定后玻璃砂的质量的数值，单位为克（g）； V 量取回用水的体积的数值GB 51258-2017 玻璃纤维工厂设计标准，单位为毫升（mL）

A.2成品碳化硅回收率

成品碳化硅回收率W2；按公式（A.2）计算：

一含微硅粉的碳化硅的质量的数值，单位为克（g）； 1 微硅粉的质量的数值，单位为克（g）

A.3成品聚乙二醇回收率

成品聚乙二醇回收率w3，按公式（A.3）计算

V一固液分离得到聚乙二醇（浓度折百）的体积的数值，单位为毫升（mL）； V1——经脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇的体积的数值JGJ／T 72-2017 高层建筑岩土工程勘察标准(完整正版、清晰无水印).pdf，单位为毫 升(mL)。

V 固液分离得到聚乙二醇（浓度折百）的体积的数值，单位为毫升（mL）； V1——经脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇的体积的数值，单位为毫 升（mL）。