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GB／T 40418-2021 电子特气 氟甲烷.pdf简介：
GB/T 40418-2021是中国国家标准，其全称为《电子特气 氟甲烷》。这个标准主要规定了氟甲烷（CH3F）作为电子特气（Electronic Grade Hydrogen Fluoride, 电子级氟化氢）在电子工业中的技术要求、测试方法、标志、包装、运输和储存等方面的规定。氟甲烷在电子行业中常用于半导体制造，如刻蚀、抛光等工艺，因为它具有高纯度、低毒性、低腐蚀性等特性，对电子设备的制造有重要作用。这个标准旨在确保产品的质量和使用安全，提升电子特气氟甲烷的整体技术水平和市场规范化。
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氟甲烷的技术要求应符合表1的规定。
GB/T40418—2021
试验方法所用试剂和水在没有注明其他要求时，均指确认为分析纯的试剂和GB/T6682中规定的 三级水。试验方法所用标准溶液、制剂及制品，在没有注明其他要求时CJJ 73-2019-T：卫星定位城市测量技术标准（无水印，带书签），均按GB/T601、GB/T603的 规定制备。
氟甲烷纯度按式（2)计算：
瓦+氩、氮、二氧化碳、其他有机化合物含量的测定
GB/T 40418—2021
按GB/T28726规定的切割进样的方法测定氟甲烷中的氧十氩、氮、二氧化碳、其他有机化合物 含量。 允许采用其他等效的方法测定氟甲烷中的氧十氩、氮、二氧化碳、其他有机化合物含量。当测定结 果有异议时，以本文件规定的方法为仲裁方法
长约0.6m，内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的CST（一种改性碳分子 筛），或其他等效色谱柱
色谱柱I：长约2m、内径2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的5A分子筛，或其 他等效色谱柱。该柱用于测定氧十氩、氮含量 色谱柱IⅡ：长约4m、内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的HayesepQ（ 种高分子聚合物），或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳含量。 色谱柱ⅢI：长约60m、内径0.32mm、内涂聚GASPRO(一种键合硅胶）的毛细柱，或其他等效色谱 柱。该柱用于测定其他有机化合物含量
按GB/T5832.1的规定执行。 允许采用其他等效的方法测定氟甲烷中水分含量。当测定结果有异议时，以GB/T5832.1规负 法为仲裁方法。
5.5酸度（以HF计）的测定
使试样气化，鼓泡进人盛有水的多孔式气体洗瓶中，吸收样品中的酸性物质，以漠甲酚绿为指示剂， 用氢氧化钠标准滴定溶液滴定，计算得到酸度（以HF计）
5.5.2 试剂、溶液
5.5.2.1氢氧化钠标准滴定溶液：c（NaOH）=0.01mol/L。 5.5.2.2溴甲酚绿指示液：5g/L
文样钢瓶：316L不锈钢材质，500mL或1000mI
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5.5.3.2控制阀：316L不锈钢材质的两通阀 5.5.3.3多孔式气体洗瓶：250mL。 5.5.3.4微量滴定管：2mL或5mL，分刻度为0.01mL。 5.5.3.5电子天平：最大称样量不小于3000g，感量为0.1g
5.5.4.1酸度测定装置示意图见图1。 5.5.4.2在4个多孔式气体洗瓶（以下简称气体洗瓶）中各加人100mL水。 5.5.4.3准确称量装有氟甲烷样品的取样钢瓶和控制阀的初始质量m1。 5.5.4.4将氟甲烷样品于15min～20min内连续鼓泡通过4个气体洗瓶，放出约100g试样，停止吸 收。准确称量取样钢瓶和控制阀的终止质量mM2 5.5.4.5将第3个和第4个气体洗瓶中的溶液分别移人两个锥形瓶，各加人溴甲酚绿指示液1滴～ 2滴，第3个气体洗瓶对应的锥形瓶中指示液的颜色不得浅于第4个气体洗瓶对应的锥形瓶中指示液 的颜色，继续下述步骤，否则重做。 5.5.4.6将第1个和第2个气体洗瓶的溶液合并到另一锥形瓶中，并加入溴甲酚绿指示液2滴～4滴， 用氢氧化钠标准滴定溶液滴定至蓝色为终点，氢氧化钠标准滴定溶液的消耗量为V（mL）。同时将第 3个和第4个气体洗瓶对应的锥形瓶中的溶液合并，作为空白试验溶液，氢氧化钠标准滴定溶液的消耗 量为V.（mL）
酸度（以HF计）的质量分数Φ6，按式（3)计算：
图1酸度测定装置示意图
图1酸度测定装置示意图
V1 试料消耗氢 数值，单位为室升（mL）： V。一一空白试验消耗氢氧化钠标准滴定溶液体积的数值，单位为毫升（mL）； 一氟化氢的摩尔质量的数值，单位为克每摩尔（g/mol)（M=20.01）
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取平行测定结果的算术平均值为测定结果。两次平行测定结果的相对偏差应不大于40
5.5.7其他等效方法
允许采用其他等效的方法测定氟甲烷中的酸度。当以上测定结果有异议时，以本文件规定的方法 为仲裁方法。
6.1抽样、判定和复验
6.1.1同一生产线连续稳定生产的钢瓶装氟甲烧产品为一批；或以一贮槽、一槽车装产品为一批。 6.1.2钢瓶装氟甲烧产品除酸度外的指标应逐一检验并验收，酸度每批次检一瓶。当逐一检验的结果 有任何一项指标不符合本文件技术要求时，则判该产品不合格。5ZC 6.1.3对于钢瓶装氟甲烷，当酸度检验结果符合本文件技术要求时，则判该批产品合格。当酸度检验 结果不符合本文件技术要求时，则应自同批产品中重新加倍随机抽样检验，若酸度检验结果符合本文件 支术要求时，则判除不合格的那瓶产品外，该批产品合格；若酸度检验结果仍不符合本文件技术要求时， 则判该批产品不合格。 6.1.4对于贮槽、槽车装氟甲烷产品，应逐一检验并验收。当检验结果不符合本文件技术要求时，则判 该产品不合格
甲烷的采样安全应符合GB/T3723中的相关规
定时，应有氟甲烷尾气处理措施，以防止氟甲烷对
7标志、包装、运输及购存
，1.1氟甲烷出 少应包括： 产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号； 生产日期或批号，以及安全使用期或失效日期 充装质量（kg）； 一本文件号及氟甲烷的纯度， 7.1.2包装容器上应涂刷“电子级氟甲烷”字样。 .1.3氟甲烷的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB/T7144的规定，标签应符合 GB15258、GB/T16804规定的要求。氟甲烷的安全信息见附录A
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7.2包装、运输及购存
7.2.1包装氟甲烷的气瓶应符合GB/T5099（所有部分）、GB/T33145的规定。 7.2.2氟甲烷的充装及贮运应符合TSG23、TSGR0005、GB/T14193的规定，充装及贮运的安全管理 要求见《危险化学品安全管理条例》、《特种设备安全监察条例》。 7.2.3氟甲烷的最大充装量按式（4）计算：
m 气瓶内氟甲烷的质量，单位为千克（kg）； F. 氟甲烷的充装系数，F,=0.27kg/L（气瓶公称压力15MPa）、F，=0.30kg/L（气瓶公称压 力20MPa)； V 一一气瓶标明的内容积，单位为升（L）。 7.2.4宜使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本文件的要求。瓶阀出气口连接方式宜使 用DISS724CGA350。 7.2.5应防止泄漏和瓶口被污染。 7.2.6氟甲烷产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，不应暴晒，远离热源
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氟甲烧在常温常压下是一种易燃的高压液化气体。与空气混合能形成爆炸性混合物，遇高热和明 火能引起燃烧或爆炸。受热分解放出有毒的氟化物气体。蒸气比空气重，能在较低处扩散到远的地方， 遇火源会着火回燃和爆炸（闪爆）。 与氟甲烷接触可能造成低温灼伤或损伤。吸人高纯度的氟甲烷会有麻醉作用
A.3.1操作人员应经过专门培训，严格遵守操作规程， ，熟练掌握操作技能，具备应急处置知识。 A.3.2应远离热源、热表面、火花、明火和其他点火源。工作场所严禁吸烟。不应使用易产生火花的机 戒设备和工具 A.3.3所有管路系统及相关设备应接地。所有电气设备都应是防爆的
A.4紧急情况应对措施
A.4.1发生火灾时，切断气源。若不能切断气源，则不应熄灭泄漏处的火焰。消防人员应穿全身防火、 防毒服，佩戴空气呼吸器。在上风向灭火。喷水冷却容器，直至灭火结束。尽可能将容器从火场移至空 广处。 A.4.2灭火剂宜用雾状水、泡沫、干粉。 A.4.3如果误吸入氟甲烷，迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给氧。如呼吸 停止，立即进行人工呼吸JC∕T 2395-2017 霞石正长岩粉(砂)，就医。 A.4.4如果发生冻伤，将患部浸泡于保持在38℃～42℃的温水中复温。不应涂擦。不应使用热水或 辐射热。使用清洁、干燥的敷料包扎。如有不适感，就医
A.5.1消除所有点火源
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A.5.2根据气体的影响区域划定警戒区，无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。 1.5.3 应急处理人员应穿内置正压自给式呼吸器，穿防静电服。 A.5.4 如果是液化气体泄漏，还应注意防冻伤。 A.5.5 不应接触或跨越泄漏物。 A.5.6尽可能切断泄漏源
A.5.2根据气体的影响区域划定 A.5.3应急处理人员应穿内置正压自给式呼吸器，穿防静电服 A1.5.4如果是液化气体泄漏，还应注意防冻伤。 A.5.5不应接触或跨越泄漏物。 A.5.6尽可能切断泄漏源
A.6.1储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。 A.6.2采用防爆型照明、通风设施。设施设备应做好防雷、防静电。 1.6.3严加密闭，防止泄漏，工作场所提供充分的局部排风和全面通风。 A.6.4存储区应备有泄漏应急处理设备
处置前应参阅国家和地方有关法规JC∕T 1022-2007 中空玻璃用复合密封胶条，宜将剩余的和未回收的废弃物交给有资质的单位处理 处置废弃的氟甲烷时，不应直接排放，应符合相关法规和标准
.7.1处置前应参阅国家和地方
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