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GB／T 40417-2021 电子特气 六氟丁二烯.pdf简介：

GB/T 40417-2021是中国国家标准，全称为《电子特气 六氟丁二烯》。这是一个关于电子特气行业中六氟丁二烯（Perfluorobutylene，简称PFBD）的技术标准。六氟丁二烯是一种无色、无味、无毒的气体，分子式为C4F8，主要用于半导体制造、液晶显示器、光伏电池等行业，作为清洗剂、刻蚀气体、扩散气体等。在电子特气应用中，它对提高生产过程的清洁度、改善材料的性能具有重要作用。此标准规定了六氟丁二烯的产品质量要求、测试方法、储存和运输等方面的要求，以确保其在电子特气行业的应用中达到安全、稳定和高效。

GB／T 40417-2021 电子特气 六氟丁二烯.pdf部分内容预览：

试验方法所用试剂和水在没有注明其他要求时，均指确认为分析纯的试剂和GB/T6682中规定的 三级水。试验方法所用标准溶液、制剂及制品，在没有注明其他要求时，均按GB/T601、GB/T603的 规定制备。

5.2.1 杂质总含量

CECS 210-2006 埋地聚乙烯钢肋复合缠绕排水管管道工程技术规程5.2.2六氟丁二烯纯度

六氟工二烯纯度按式（2)计算：

氧+氩、氮、二氧化碳、异丙醇、其他氟碳化合物

GB/T404172021

二烯中氧十氩、氮、二氧化碳、异内醇、其他氟碳 化合物含量。 允许采用其他等效的方法测定六氟丁二烯中氧十氩、氮、二氧化碳、异丙醇、其他氟碳化合物含量， 当测定结果有异议时，以本文件规定的方法为仲裁方法

长约0.6m，内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm~0.25mm的CST（一种改性碳 ）.或其他等效色谱柱

色谱柱I：长约2m、内径2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的5A分子筛，或其 他等效色谱柱。该柱用于测定氧十氩含量、氮含量， 色谱柱Ⅱl：长约4m、内径约2mm的不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的HayesepQ( 种高分子聚合物），或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳含量。 色谱柱Ⅲ：长约30m、内径0.32mm、内涂聚乙二醇的毛细柱，或其他等效色谱柱。该柱用于测定 异丙醇含量。 色谱柱IV：长约60m、内径0.32mm、内涂键合硅胶的毛细柱，或其他等效色谱柱。该柱用于测定 其他氟碳化合物含量

按GB/T5832.1的规定执行， 允许采用其他等效的方法测定六氟丁二烯中水含量。当以上测定结果有异议时，以GB/T58 定的方法为仲裁方法

5.5酸度（以HF计）的测定

使试样气化，鼓泡进人盛有水的多 本洗瓶中，吸收样品中的酸性物质，以漠甲酚绿为指示 氢氧化钠标准滴定溶液滴定，计算得到酸度（以HF计）

5.5.2 试剂、溶液

5.5.2.1氢氧化钠标准滴定溶液：c（NaOH）=0.01mol/L。

氢氧化钠标准滴定溶液：c（NaOH)=0.01mol) 溴甲酚绿指示液：5g/L

5.5.3.1取样钢瓶：316L不锈钢材质，500mL或1000mL。 5.5.3.2控制阀：316L不锈钢材质的两通阀。 5.5.3.3多孔式气体洗瓶：250mL。 5.5.3.4微量滴定管：2mL或5mL，分刻度为0.01mL。 5.5.3.5电子天平：最大称样量不小于3000g，感量为0.1g。

5.5.3.1取样钢瓶：316L不锈钢材质，500mL或1000mL。 5.5.3.2控制阀：316L不锈钢材质的两通阀 5.5.3.3多孔式气体洗瓶：250mL。 5.5.3.4微量滴定管2mL或5mL，分刻度为0.01mL。 5.5.3.5电子天平：最大称样量不小于3000g，感量为0.1g

5.5.4.1酸度测定装置示意图见图1。 5.5.4.2在4个多孔式气体洗瓶（以下简称气体洗瓶）中各加入100mL水。 5.5.4.3准确称量装有六氟丁二烯样品的取样钢瓶和控制阀的初始质量m1。 5.5.4.4将六氟丁二烯样品于15min～20min内连续鼓泡通过4个气体洗瓶，放出约100g试样，停止 吸收。准确称量取样钢瓶和控制阀的终止质量m2。 5.5.4.5将第3个和第4个气体洗瓶中的溶液分别移入两个锥形瓶，各加人漠溴甲酚绿指示液1滴～ 2滴，第3个气体洗瓶对应的锥形瓶中指示液的颜色不得浅于第4个气体洗瓶对应的锥形瓶中指示液 的颜色，继续下述步骤，否则重做。 5.5.4.6将第1个和第2个气体洗瓶的溶液合并到另一锥形瓶中，并加人漠甲酚绿指示液2滴～4滴， 用氢氧化钠标准滴定溶液滴定至蓝色为终点，氢氧化钠标准滴定溶液的消耗量为V，（mL）。同时将第3 个和第4个气体洗瓶对应的锥形瓶中的溶液合并，作为空白试验溶液，氢氧化钠标准滴定溶液的消耗量 为V.（mL）。

酸度（以HF计）的质量分数Φ，，按式（3)计算

图1酸度测定装置示意图

氢氧化钠标准滴定溶液浓度的准确数值，单位为摩尔每升（mol/L）； VI——试料消耗氢氧化钠标准滴定溶液体积的数值，单位为毫升（mL)； V。一一空白试验消耗氢氧化钠标准滴定溶液体积的数值，单位为毫升（mL） M 氟化氢的摩尔质量的数值，单位为克每摩尔（g/mol)（M=20.01）

取两次平行测定结果的算术平均值为报告结果。两次平行测定结果的绝对差值与这两个测定 术平均值的相对值应符合表2要求

丽次平行测定结果的绝对差值与这两个测定值的单

5.5.7其他等效的方法

允许采用其他等效的方法测定六氟丁二烯中酸度。当测定结果有异议时，以本文件规定的方法为 仲裁方法。

6.1抽样、判定和复验

6.1.1同一生产线连续稳定生产的钢瓶装六氟丁二烯产品为一批。或以一贮槽、一槽车装产品为 一批。 6.1.2钢瓶装六氟丁二烯产品除酸度外的指标应逐一检验并验收，酸度每批次检一瓶。当逐一检验的 结果有任何一项指标不符合本文件技术要求时，则判该产品不合格。 6.1.3对于钢瓶装六氟丁二烯，当酸度检验结果符合本文件技术要求时，则判该批产品合格。当酸度 检验结果不符合本文件技术要求时，则应自同批产品中重新加倍随机抽样检验，若酸度检验结果符合本 文件技术要求时，则判除不合格的那瓶产品外，该批产品合格；若酸度检验结果仍不符合本文件技术要 求时，则判该批产品不合格。 6.1.4对于贮槽、槽车装六氟丁二烯产品，应逐一检验并验收。当检验结果不符合本文件技术要求时， 则判该产品不合格。

氟丁二烯的采样安全应符合GB/T3723中的相

寸，应有六氟丁二烯尾气处理措施，以防止六氟丁

7标志、包装、运输及购存

7.1.1六氟工二烯出厂时应有产品质量合格证，

产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号； 生产日期或批号，以及安全使用期或失效日期； 充装质量（kg）； 本文件号及六氟丁二烯的纯度。 7.1.2包装容器上应涂刷“电子级六氟丁二烯”字样。 7.1.3六氟丁二烯的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB/T7144的规定，标签应 符合GB15258、GB/T16804规定的要求。六氟丁二烯的安全信息见附录A

7.2包装、运输及购存

7.2.1包装六氟丁二烯的气瓶应符合GB/T5100的规定。 7.2.2六氟丁二烯的充装及贮运应符合TSGR0005、TSG23、GB/T14193的规定，充装及贮运的安全 管理要求见《危险化学品安全管理条例》、《特种设备安全监察条例》。 7.2.3六氟丁二烯的最大充装量按式（4）计算：

式中： m一一气瓶内六氟丁二烯的质量，单位为千克（kg）； F.一六氟丁二烯的充装系数，F，=1.00kg/L； 一气瓶标明的内容积，单位为升（L）。 7.2.4宜使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本文件的要求。瓶阀出气口连接方式宜使 用DISS724、CGA350。 7.2.5应防止泄漏和瓶口被污染。 7.2.6六氟工二烯产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内.不应暴晒.远离热源

式中： m一一气瓶内六氟丁二烯的质量，单位为千克（kg）； F.一六氟丁二烯的充装系数，F，=1.00kg/L； 一气瓶标明的内容积，单位为升（L）。 7.2.4宜使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本文件的要求。瓶阀出气口连接方式宜使 用DISS724,CGA350。 7.2.5应防止泄漏和瓶口被污染。 7.2.6六氟工二烯产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内.不应暴晒.远离热源

用DISS724、CGA350。

立防止泄漏和瓶口被污头

A.1.1名称：化学式：C,F

GB/T40417202

A.2.1六氟丁二烯是一种易燃、毒性、无色、无味的低压液化气体。与空气混合后，浓度达到7%时，有 燃烧和爆炸危险。 A.2.2与液态六氟工二烯接触会导致冻伤

3.1操作人员应经过专门培训，严格遵守操作规程，熟练掌握操作技能，具备应急处置知识。 3.2应远离热源、热表面、火花、明火和其他点火源。工作场所严禁吸烟。不应使用易产生火花白 设备和工具 3.3所有管路系统及相关设备应接地。所有电气设备都应是防爆的

GB∕T 21152-2007 土方机械 轮胎式机器 制动系统的性能要求和试验方法1.4紧急情况应对措施

A.4.1发生火灾时，切断气源。若不能切断气源，则不应熄灭泄漏处的火焰。消防人员应穿全身防火、 防毒服，佩戴空气呼吸器。在上风向灭火。喷水冷却容器，直至灭火结束。尽可能将容器从火场移至空 广处。 A.4.2灭火剂宜用雾状水、泡沫、干粉。 A.4.3如果误吸入六氟丁二烯，迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给氧；如 呼吸停止，立即进行人工呼吸，就医， A.4.4如果发生冻伤，将患部浸泡于保持在38℃～42℃的温水中复温。不应涂擦。不应使用热水或 辐射热。使用清洁、干燥的敷料包扎。如有不适感，就医

4.1发生火灾时，切断气源。若不能切断气源，则不应熄灭泄漏处的火焰。消防人员应穿全身防 毒服，佩戴空气呼吸器。在上风向灭火。喷水冷却容器，直至灭火结束。尽可能将容器从火场移至 处，

A.5.1消除所有点火源。 A.5.2 根据气体的影响区域划定警戒区，无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。 A.5.3 应急处理人员应穿内置正压自给式呼吸器，穿防静电服。 A.5.47 有液化气体泄漏，应注意防冻伤。 A.5.5不应接触或跨越泄漏物

A.5.1消除所有点火源。

A.5.6尽可能切断泄漏源。

A.6.1储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。 A.6.2采用防爆型照明、通风设施。设施设备应做好防雷、防静电。 A.6.3严加密闭，防止泄漏，工作场所提供充分的局部排风和全面通风。 A1.6.4存储区应备有泄漏应急处理设备

处置前应参阅国家和地方有关法规，宜将剩余的和未回收的废弃物交给有资质的单位处理 2处置废弃的六氟丁二烯时，不应直接排放，应符合相关法规和标准

《室外排水设计规范》GB 50014-2006(2016年版)解读GB/T404172021