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DB11T 2080-2023 建设项目环境影响评价技术指南 集成电路制造.pdf简介：

DB11T 2080-2023 是北京市地方标准，名称为"建设项目环境影响评价技术指南—集成电路制造"，该标准主要针对集成电路制造这一特定类型的建设项目，提供了环境影响评价的技术依据和方法。集成电路制造通常涉及大规模的化学处理、高温工艺和大量能源消耗，其环境影响主要包括：

1. 大气污染：工艺过程中可能产生有害气体，如化学废气、粉尘等，对空气质量有影响。 2. 水污染：集成电路制造需要高纯度的水，生产废水处理不当可能导致水体污染。 3. 噪音污染：设备运行产生的噪音可能影响周边居民的生活环境。 4. 资源消耗：集成电路制造对电力、水资源、原材料的需求较高，资源管理不当可能导致资源浪费和环境压力。

该标准旨在指导建设单位在进行集成电路制造项目的环境影响评价时，充分考虑上述环境问题，提出科学、合理的环保措施，并确保项目的实施不会对环境产生不可接受的影响。通过遵循该标准，可以促进集成电路行业的绿色发展，实现经济效益与环境效益的和谐统一。

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下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款 日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包 GB18597危险废物贮存污染控制标准 GB20891非道路移动机械用柴油机排气污染物排放限值及测量方法 GB36886非道路柴油移动机械排气烟度限值及测量方法 GB39731电子工业水污染物排放标准 HJ2.1建设项目环境影响评价技术导则总纲 HJ2.2环境影响评价技术导则大气环境 HJ2.3环境影响评价技术导则地表水环境 HJ2.4环境影响评价技术导则声环境 HJ19环境影响评价技术导则生态影响 HJ169建设项目环境风险评价技术导则 HJ610环境影响评价技术导则地下水环境 HJ819排污单位自行监测技术指南总则 HJ884 污染源源强核算技术指南准则 HJ964环境影响评价技术导则土壤环境（试行） HJ1031排污许可证申请与核发技术规范电子工业 HJ1200排污许可证申请与核发技术规范工业固体废物（试行） HJ1253排污单位自行监测技术指南电子工业 HJ1259危险废物管理计划和管理台账制定技术导则 DB11/139锅炉大气污染物排放标准 DB11/307水污染物综合排放标准 DB11/501大气污染物综合排放标准 DB11/588埋地油罐防渗漏技术规范 DB11/T1195固定污染源监测点位设置技术规范 DB11/1631电子工业大气污染物排放标准

语和定义适用于本文件

DB11/T2080—2023

框架结构大学教学楼五层局部4层5000平米左右竞影响评价技术指南集成电路制

4.1环境影响评价工作分类应符合《建设项目环境影响评价分类管理名录》及北京市实施细化规定的 要求。 4.2应依据《建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行）》和HJ2.1的相关规定 开展工作。需设置专项评价的，应按照HJ2.2、HJ2.3、HJ169、HJ610开展专项评价工作。 4.3建设项目应符合“三线一单”生态环境分区管控、生态环境保护规划要求。 4.4建设项目所在产业园区已开展规划环境影响评价的，应说明其与规划环境影响评价结论及审查意 见的符合性：建设项目环境影响评价内容若简化，应说明依据和理由。

4.1环境影响评价工作分类应符合《建设项目环境影响评价分类管理名录》及北京市实施细化规定的 要求。 4.2应依据《建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行）》和HJ2.1的相关规定 开展工作。需设置专项评价的，应按照HJ2.2、HJ2.3、HJ169、HJ610开展专项评价工作。 4.3建设项目应符合“三线一单”生态环境分区管控、生态环境保护规划要求。 4.4建设项目所在产业园区已开展规划环境影响评价的，应说明其与规划环境影响评价结论及审查意 见的符合性：建设项目环境影响评价内容若简化，应说明依据和理由。

5.1.1环境影响因素识别

5.1.2环境影响评价因子筛选

DB11/T 2080—2023

5.2建设项目工程分析

5.2.1建设项目概况

按照HJ2.1的规定并根据行业特点说明项目建设内容，包括项目概况、主体工程、辅助工程、公用 工程、环保工程、储运工程及依托工程等，并按照表A.1列表说明主要建设内容。 a）项目概况应给出建设地点、建筑面积、建设性质、四至范围、总投资与环保投资、建设计划 及主要经济技术指标等，说明劳动定员和工作制度。 b）主体工程应给出建设内容、功能分区、生产能力、生产规模，以及设备运行时间、产品用途、 圆片规格、特征线宽、封装形式等产品方案。 C） 辅助工程应给出纯水制备系统、冷却塔系统、冷冻水系统、空气净化系统、应急柴油发电系 统等工程情况。如自建锅炉，应给出锅炉建设位置、燃料、规模、使用时间。 d）公用工程应给出市政配套给水、排水、供热、供电、供气等相关工程情况，说明建设项目与 其依托关系。使用再生水的，应说明再生水来源、用量、用途及管网建设情况。 e）环保工程应给出废气、废水、噪声、固体废物等污染防治措施，以及环境风险防范措施和生 态保护措施等。 f）储运工程应给出主要原辅材料的储运情况，重点说明硅烷站、特种气体站、大宗气体站、化 学品存储用房等储运工程的规模、位置、原辅材料存储种类及输送方式。 g) ）依托工程应给出建设项目与其的依托关系，并说明依托工程的合规性和可行性。

5.2.1.2平面布置

按照HJ2.1的规定给出平面布置图，并遵守以下要求： a） 1 给出建设项目主体工程、辅助工程、公用工程、环保工程、储运工程等功能区平面布置，明 确生产厂房、动力厂房、化学品存储用房及办公等用房的平面位置； b） 1 给出薄膜制备、光刻、刻蚀、掺杂、金属沉积、化学机械研磨、封装等各生产单元在生产厂 房内的平面布局； C） 给出主要废气和废水处理设施、废气和废水排放口、事故应急池和雨水排放口、主要噪声源、 危险废物贮存场所等位置，

5.2.1.3主要设备、原辅材料及燃料

按照表A.2给出各生产单元的主要设备名称、数量等内容，按照表A.3给出建设项目主要原辅材料及 燃料的使用和消耗情况。主要生产单元、工序、设备及原辅材料等可参照附录B

5.2.1.4与项目有关的原有环境问题

改建、扩建及技改项目应说明与项目有关的现有工程情况，包括： a) 给出与现有工程的关系，分析阐明现有工程环境保护措施及处理效果、污染物排放及达标情 况、环境风险防范措施； b） 给出现有工程履行环境影响评价、峻工环境保护验收、排污许可手续等情况，明确存在的主 要环境问题及整改措施。

5.2.2.1绘制包含产排污环节的生产流程图，以及各生产单元主要工序的产排污节点图，按照生产单 元和主要工序给出主要原辅材料、产排污节点、主要污染物和排放去向，可参照附录C和附录D。 a）集成电路圆片制造项目，应根据产品用途及圆片规格、特征线宽等关键参数分析污染物产排 情况。 b）集成电路封装项目，应根据不同封装形式分析污染物产排情况。 5.2.2.2给出新鲜水、市政再生水、纯水等使用量，清洗水回收量，以及废水产生量与排放量等，明 确排水去向，给出水平衡图。核算工业用水重复利用率、纯水回用率。 5.2.2.3对含氯、氟、氨、磷、砷等物质和铜、镍、银等重金属的原辅材料，以及有机溶剂中的挥发 性有机物进行平衡分析并给出平衡图，明确在生产单元中的流向、使用量、污染物产生量、处理设施、 处理效率、排放量和去向等。

5.2.3污染源源强核算

5.2.3.1按照HJ884和HJ1031的规定核算废气、废水、噪声、固体废物的污染源源强。 5.2.3.2核算方法可采用类比法、实测法、物料衡算法、产污系数法、排污系数法等，重点说明核算 过程。 a）优先采用类比法或物料衡算法，采用类比法的应从产品用途、圆片规格、特征线宽、封装形 式、生产工艺、工程规模、污染控制措施等方面说明可类比性。 b）现有工程优先采用实测法。已取得排污许可证的，可将排污许可证及执行报告作为现有工程 回顾性评价和污染源源强核算的主要依据。 5.2.3.3重点产污环节应按照以下要求分析： a）采用尾气处理设备的，应识别在预处理过程中是否产生二氧化硫、氮氧化物、二英类等其 他污染物，并单独分析废气及特征污染物产排情况； b）分别核算含氨、含氟和含各类重金属等废水的主要污染物产排情况，给出各类废水处理工艺、 处理规模、处理效率及排放去向。 5.2.3.4参照附录E，给出污染源源强核算结果

5.3.1 根据建设项目特点，可能产生的环境影响和区域环境特征，识别现状调查与评价的重点环境要 素、环境保护目标

坏境保护目标。 5.3.2依据《建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行）》，以及HJ2.2、 HJ2.4、HJ19、HJ610、HJ964等规定，开展大气、地表水、声、生态环境、地下水、土壤 状调查与评价

DB11/T 2080—2023

5.4.1.1依据《建设项目环境影响报告表编制技术指南（污染影响类）（试行）》开展各环境要素环 境影响及环境保护措施分析。 5.4.1.2重点说明拟采取的废气、废水、噪声、固体废物等污染防治措施，以及环境风险防范措施和 生态保护措施等，包括工程措施和管理措施，估算环保投资。 5.4.1.3未采用污染防治可行技术指南、排污许可技术规范中可行技术或未明确规定为可行技术的 应简要分析其可行性。

5.4.2废气环境影响及防治措施

4.2.1说明废气的收集方式、收集效率，处理设施的处理工艺、处理能力、去除效率和备用情 及旁路等管理要求

a) 1 薄膜制备、光刻、刻蚀、掺杂等生产单元产生的特种废气； b）刻蚀、金属沉积、封装等生产单元产生的酸性废气； c）光刻、刻蚀、封装等生产单元产生的有机废气； d）光刻等生产单元产生的碱性废气； e）各生产单元涉及清洗工序产生的废气。 5.4.2.3重点说明尾气处理设备的处理工艺及排放去向。含砷及其化合物废气处理后如汇入其他废气 应明确汇入前取样口设置情况。 5.4.2.4结合污染源源强、排放标准、污染治理措施等，分析达标排放情况及环境影响《起动用铅酸蓄电池 第1部分：技术条件和试验方法 GB/T 5008.1-2013》，并说明非正 常工况排放情况及污染控制措施。 5.4.2.5按照DB11/1631说明挥发性有机物无组织排放的控制措施。

5.4.3废水环境影响及防治措施

5.4.3.1说明废水的主要收集方式、处理工艺、处理能力、去除效率等。 5.4.3.2分别论证含氨废水、含氟废水、含磷废水、研磨废水、酸碱废水、有机废水、含铜废水、含 氰及其他含金属废水的防治措施，重点给出含砷、镍和银等一类污染物的废水分类收集、分质处理措施。 5.4.3.3分析废水达标排放情况及环境影响。

5.4.3.1说明废水的主要收集方式、处理工艺、处理能力、去除效率等。

5.4.4噪声环境影响及防治措施

5.4.4.1给出噪声源、产生强度、降噪措施、排放强度、持续时间。 5.4.4.2分析厂界和环境保护目标达标的可行性。

5.4.5固体废物防治措施

5.4.5.1给出固体废物产生环节、名称、属性（一般工业固体废物、危险废物等）和产生量，明确收 集、贮存和处置利用方案。 5.4.5.2按照GB18597的规定，分析危险废物收集贮存情况，明确危险废物的包装、贮存设施的规模 位置、运行和管理要求

DLGJ 159.3-2001 电力勘测设计专业间联系配合制度5.4.6地下水与土壤环境保护措施