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名称：《用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范 GB/T 29844-2013》
编号：GB/T 29844-2013
发布日期：2013年11月12日
施行日期：2014年04月15日
发布：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

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