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GB 50073-2013 洁净厂房设计规范(完整正版双页扫描、清晰无水印).pdf简介：

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GB 50073-2013是中国国家标准，全称为《洁净厂房设计规范》。这是中国关于洁净厂房设计的专业规范，适用于制药、食品、电子、生物技术、航空航天等对环境洁净度要求极高的行业的洁净室设计。该规范详细规定了洁净厂房的设计原则、分类、级别划分、空气净化系统、温度、湿度、压差控制、室内装饰材料选择、人流物流管理和卫生管理等方面的要求，旨在确保产品的质量和生产环境的稳定性。

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物品存放于专用的存外衣柜内。考虑到国内洁净厂房当前的管理 方式和习惯，外出服一般由个人闭锁使用，按在册人数每人一柜计 算是必要的；洁净工作服柜一般也可按每人一柜设计，但也有集中 将洁净工作服存放于洁净柜中的，置于洁净柜中更为理想。为避 免外出服污染洁净工作服，为此本条明确规定存外衣、更换洁净工 作服的房间应分别设置。 4手是交叉污染的媒介，人员在接触工作服之前洗手十分必 要。操作中直接用手接触洁净零件、材料的人员可以戴洁净手套 或在洁净室内洗手。 洗净的手不可用普通毛巾擦抹，因为普通毛巾易产生纤维尘， 最好的办法是热风吹干，电热自动烘手器就是一种较好的选择。 由于人员净化的净鞋措施、存外衣和更换洁净工作服房间的 分隔以及洗手设施的设置，均为了减少甚至消除洁净室工作人员 带人的污染物对产品质量的影响，所以本次修订将本条第1款、第 2款、第4款改为推荐性条文。 5工业洁净室设置空气吹淋室的理由是： 1)在一定风速、一定吹淋时间的条件下，空气吹淋室对清除人 员身上的灰尘有明显效果。 本规范编制组进行了“吹淋室效果的测定”的科研项目，对于 经吹淋与不经吹淋两种情况的人员散尘量作了大量的测试对比。 结果表明，吹淋室的吹淋效果，对大于或等于0.5μm的尘粒约为 10%~30%，对大于或等于5μm的尘粒约为15%～35%。 2)吹淋室具有气阐的作用，能防止外部空气进入洁净室，并使 洁净室维持正压状态。 3)吹淋室除了有一定净化效果外，它作为人员进入洁净区的 一个分界，还具有警示性的心理作用，有利于规范洁净室人员在洁 净室内的活动。 4)国内洁净厂房的现状是：在统计的38个洁净厂房中，约 80%设有空气吹淋室。

关于吹淋室的使用人数，主要取决于每人吹淋所需时间和上 班前人员净化的总时间。参考计算方法：假定洁净室自净时间为 30min，换鞋、更衣占去10min，上班人员总吹淋时间为20min。设 每人吹淋30s，另加准备时间10s，则一台单人吹淋室可供30人 使用。 当最大班使用人数超过30人时，可将两台或多台单人吹淋室 并联布置。 垂直单向流洁净室由于自净能力强，无紊流影响，人员产尘能 迅速被回风带走而不致污染产品，鉴于这种有利条件，也可不设吹 淋室而改设气闸室。 吹淋室旁设通道，可使下班人员和卫生清扫或检修人员的进 出不必通过吹淋室，起到保护吹淋设备的作用，同时也方便检修期 间设备、工具等进出。 洁净室（区）是否设置空气吹淋室，各洁净厂房做法不一，但在 原规范中规定：“空气吹淋室应设在洁净区人员入口处，并与洁净 工作服更衣室相邻。”因为本款作为强制性条款，在实施过程中， 些单位以为“所有洁净室均应设置空气吹淋室”。实际上本款规定 并不是要求所有洁净室均应设置空气吹淋室，只是要求当需设置 空气吹淋室时，应如何设置。为此，本次修订将本款改为推荐性 条款。 7，洁净区内设置厕所不仅容易使洁净室受到污染，还会影响 洁净区的压力控制。原规范规定洁净区内不宜设厕所，为了强调 洁净区内不得设厕所的要求，本次修订将“不宜”改为“不得”，但该 款条文仍为推荐性。人员净化用室内的厕所应设在盟洗室之前， 厕所设前室作为缓冲，前室还应放置供人员入厕穿用的套鞋。 4.3.4人员净化应当循序渐进，有一个合理的程序，在净化过程 中，避免已清洁部分被脏的部分所污染。根据目前国内洁净厂房 常用的人员净化程序，本规范提出了一次更衣（盟洗前存外衣）、 次吹淋的人员净化程序。由于本条第1款只是对洁净厂房中人流

路线的原则性规定，本次修订改为推荐性条文。 4.3.5、4.3.6关于人员净化用室建筑面积控制指标，主要参考了 有关资料提出的面积指标和部分洁净厂房实际采用的指标，并进 行统计后得出的。人员较多时，面积指标采用下限，人员较少时， 面积指标采用上限。 近年来，国内设计、建造的洁净厂房，一般是根据产品生产工 艺要求或洁净厂房的布局情况按相邻洁净室（区）的洁净度等级确 定洁净工作服更衣室的空气洁净度等级，还有一些洁净厂房虽然 没有对洁净工作服更衣室、洁净工作服洗涤室提出空气洁净度等 级要求，但室内采用高效空气过滤送风系统，或将洁净室内的净化 空气部分地引入更衣室、洁净工作服洗涤室。为此，本次修订时对 洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁净区1级2 级和“洁净服洗涤室的空气洁净度等级不宜低于8级”的规定取 消，修改为将更衣室与洁净工作服洗涤室对空气净化要求的相关 内容的规定合并在一条内：“宜根据产品生产工艺要求和相邻洁净 室（区）的空气洁净度等级确定”。不再规定具体的“等级”或“等级 范围”。 4.3.7鉴于本条有关物料净化的规定主要涉及影响空气洁净度 或产品生产过程的可能被污染，且在原规范实施过程中一些行业 的洁净厂房设计、建造中执行本条规定难度较大，为此本次修订改 为推荐性条文。

4.4.1洁净室的噪声一般不算高，但数据差额较大，相差近10dB (A)。国内关于噪声对健康影响的研究表明，低于8OdB(A)的一 般工业噪声，对健康的影响不太大。因此，洁净室噪声标准的制 订主要考虑噪声的烦恼效应、语言通讯干扰和对工作效率的影 响。 国外洁净室噪声标准的研究工作开始于20世纪60年代。 63

对国内几个行业不同气流流型洁净室的静态和动态噪声所进 行的分析表明，不同气流流型的静态噪声有较大差异。非单向流 洁净室的静态噪声实测值在41dB(A)～64dB(A)范围内，平均为 54dB(A)；单向流、混合流洁净室的静态噪声实测值在51dB(A)~ 75dB(A)范围内，平均为65dB(A）。非单向流洁净室比单向流洁 净室的静态噪声平均值约低11dB(A)。 由于噪声控制要求是确保人员健康的重要条件，本条为强制 性条文。 4.4.3~4.4.6控制设备噪声首先要从声源上考虑，设计时应选 用低噪声设备。在某些情况下，由于技术或经济上的原因而难以 做到时，则应从噪声传播途径上采取降噪措施，如把高噪声工艺设 备迁出洁净室或隔离布置于隔声间内。有些由于与生产联系密 切，必须置于洁净区内的高噪声设备，亦可采用隔声罩隔绝噪声。 国内现有洁净厂房中，不少洁净室将机械泵一类高噪声设备 置于洁净室外套间或技术夹道内，洁净室内噪声有明显降低。 洁净室的静态噪声主要来源于净化空调系统和局部净化设备 运行噪声，静态噪声的大小与洁净室气流流型、换气次数等因素有 关。但关键在于净化空调系统的布置及合理的降噪措施，不合理 的设计方案必然导致较高的静态噪声。 关于降低洁净室净化空调系统噪声的措施，国内外有关资料 提出了一些有效的措施： 如《现代洁净室概念》一文中强调“选择那种能满足气流要求 的噪声最低的风机，还应该采用弹性减振基础”。关于消声器的使 用，文中说：“管道消声器在中额和高频范围内降低噪声是有效的 当风管敷设长度在50ft以内时，就应考虑采用消声器”。关于风 管的连接，文中又说：“通风机和送风管道与回风管道之间，应采用 柔性连接管隔开”。还要求“将通风机外壳、静压箱和管道等加上 衬里”。如北京某大学微电子研究所回风管道在未处理前噪声高 达83.5dB(A)，经过加设衬垫处理后噪声降到66.2dB（A)，使光

刻间的室内环境噪声平均下降了7dB(A)～9dB(A)。由此可见， 只要对风道系统采取消声和防止管道固体传声等措施，洁净室噪 声可以大幅度降低。 国内还有不少洁净室，由于系统设计合理，并采取了降噪措 施，室内噪声得到有效控制。 排风系统噪声对洁净室影响极大，以集成电路生产为例，在生 产过程中，外延、扩散、腐蚀、清洗等多种工序都需设排风系统。近 年来，洁净厂房排风系统的噪声治理日益受到重视CJJ／T290-2019标准下载，要注意选用低 操声风机等。 由于洁净室内的工作环境要求比较安静，洁净室的密封性能 较好，噪声不易衰减。按规定限制风管风速，既减小了净化空调系 统的阻力，降低了风机压头和转速，减弱了风机的噪声，又防止了 风速过大而产生附加噪声。 如上所述，第4.4.3条～第4.4.6条的规定均为洁净厂房设计 中，从平面和空间设计到各类设备、系统及其附属设备等的选择都应 充分考虑噪声控制措施，以确保达到洁净厂房要求的噪声控制值。原 规范中将第4.4.3条、第4.4.4条规定为强制性条文，但在实施中各单 位认为规定过严，可操作性也不强，为此本次修订改为推荐性条文。

4.5.1有微振控制要求的洁净厂房，设计应考虑建筑结构的选型 及地面（楼面)的构造做法，如增加基础及上部结构垂直及横向刚 度，增加地面（楼面）刚度，能有效减小振动影响。此外，还应考虑隔 振缝设置及其有效的构造措施，壁板与地面及顶棚采用柔性连接等， 均能减小振动传递。即减小了对精密设备、仪器仪表的振动影响。 在洁净厂房设计中，应首先考虑对强振源采取隔振措施，以减 小强振源对精密设备、仪器仪表的振动影响，在此基础上，精密设 备、仪器仪表再根据各自的容许振动值采取被动隔振措施，就大致 能够达到预定目的。