标准规范下载简介

GB／T 11094-2020 水平法砷化镓单晶及切割片.pdf简介：

"GB/T 11094-2020 水平法砷化镓单晶及切割片" 是一项由中国国家标准管理机构制定并发布的国家标准。这个标准主要规范了水平法生产砷化镓（GaAs）单晶及其切割片的工艺、技术要求、检测方法、检验规则和包装、标记等方面的内容。砷化镓是一种重要的半导体材料，被广泛应用于光电子、微电子、太阳能电池等领域。

"GB/T" 是"国家标准/行业标准"的简称，表示该标准适用于中国的工业生产和贸易活动，具有强制性或推荐性。2020年的版本更新，可能是为了适应技术发展和提高产品质量，对原有标准进行了修订和完善。

这份标准详细规定了砷化镓单晶的生产过程中的各个环节，包括原材料选择、晶体生长、切割、质量控制等，以确保产品的性能稳定和一致性。它对产品尺寸、形貌、缺陷、纯度、电阻率等关键参数都做出了明确的规定，是砷化镓单晶生产和质量控制的重要依据。

GB／T 11094-2020 水平法砷化镓单晶及切割片.pdf部分内容预览：

GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件

砷化镓单晶及切割片的牌号按照GB/T14844的规定进行表示。如有特殊要求，由供需双方 在订货单（或合同）中注明

4.2.1碑化镓单晶按导电类型分为n型和p型。

GB 50011-2010 建筑抗震设计规范 英文版方工艺保证。如需其他生长方向的砷化单晶由供需双方协商确定

神化镓单晶的电学性能应符合表1的规定

镓单晶按位错密度分为2级，应符合表2的规定

5.1.4.1砷化镓单晶侧面如图1所示。砷化镓单晶截面为D形，一端或两端应按需方

4.1砷化镓单晶侧面如图1所示。砷化傢单晶截面为D形，一端或两端应按需方要求的晶面切 整的基准面，如图2所示

图1砷化家单晶侧面示意图

GB/T110942020

图2砷化镓单晶基准面示意图

合表3的规定。砷化镓单晶厚度应均匀 + z mm

化镓单晶表面不应有气孔、裂纹、明显的小坑和弯

砷化镓切割片的电学性能、位错密度应符合5.1.2、5.1.3的规定，由供方保证。如有特殊 需双方协商并在订货单（或合同）中注明

GB/T 11094—2020

砷化镓切割片的厚度为170um～650um，厚度的允许偏差为15um～30um。常见的切割片厚 许偏差为210μm±20μm、280μm±20μm、320μm±20μm、350μm±15μm420μm±15μm

砷化切割片的晶向偏离及其允许偏差应符合表4的规定。如有特殊要求，由供需双方协商并 货单（或合同）中注明

表4晶向偏离及允许偏差

5.2.5参考面取向和长度

5.2.5.1化镓切割片的参考面取向应符合表5的规定

5.2.5.1砷化镓切割片的参考面取向应符合表5的规定

GB/T 110942020

3主参考面垂直于V型槽的参考面取向示意图

图4主参考面垂直于燕尾槽的参考面取向示意图

5.2.5.2砷化镓切割片的参考面长度及其允许偏差应符合表6的规定。

表6参考面长度及允许偏差

砷化镓切割片表面应平整，不应有锯纹、裂纹、崩边、沾污、李晶线等。

6.1砷化镓单晶生长方向的测试按GB/T1555的规定进行。 5.2砷化单晶电学性能的测试按GB/T4326的规定进行。 6.3化镓单晶位错密度的测试按GB/T8760的规定进行。 6.4砷化单晶外形尺寸的测量用分度值不大于0.02mm的游标卡尺测量，其中基准面法线与生长方 向夹角β通过测量砷化镓单晶长度L与厚度后计算得出。 6.5化镓单晶表面质量的检查在良好照明下目视进行。 6.6砷化切割片直径的测量用分度值不大于0.02mm的游标卡尺进行。 6.7碑化镓切割片厚度的测量用分度值为0.001mm的千分尺进行。 6.8砷化切制片晶向偏离的测试按GB/T1555的规定进行。 6.9砷化镓切割片参考面取向的测试按GB/T13388的规定进行。 5.10砷化切割片参考面长度的测量用分度值不天于0.02mm的游标卡尺进行，

7.1.1产品应由供方质量检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准规定，并填写产品质量证明书。 7.1.2需方应对收到的产品按照本标准的规定进行检验。检验结果与本标准、订货单（或合同)的规定 不符时，应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。对外形尺寸、表面质量有异议时，应在收到产 品之日起一个月内提出，属于其他性能的异议，应在收到产品之日起三个月内提出。如需仲裁，仲裁取 样应由供需双方共同进行

GB/T110942020

别、相同外形尺寸的砷化镓单晶组成；对于砷化镓切割片，每批应由同一根砷化镓单晶加工成的相同直 经、相同厚度的砷化镓切割片组成

每批产品的检验项目及取样应符合表7的规定

验项目及取样应符合表

7.4.1.1砷化镓单晶电学性能、位错密度的任一项检验结果不合格时，允许再次取样对不合格项目进行 重复检验，若重复检验结果仍不合格，允许再次取样直到砷化镓单晶长度小于本标准规定的尺寸为止 最后一次检验不合格，判该根碑化镓单晶不合格， 7.4.1.2砷化镓单晶外形尺寸、表面质量的任一项检验结果不合格时，判该根砷化镓单晶不合格

7.4.2砷化镓切割片

4.2.1碑化镓切割片的直径、厚度、晶向偏离、参考面取向和参考面长度的接收质量限由供需 商。 4.2.2砷化镓切割片的表面质量检验结果不合格时，判该片切割片不合格

8标志、包装、运输、购存和质量证明书

8.1.1砷化镓单晶表面贴上标签，注明单晶牌号

《老年人居住建筑设计规范（征求意见稿）GB XXXXX-201X》GB/T 11094—2020

8.2.1将做好标志的砷化镓单晶用海绵包裹，然后用透明胶带捆扎，装人包装纸箱内，箱内垫衬软性材 科，以防损伤， 8.2.2每一片砷化镓切割片放入一个纸质包装袋中，然后放入塑料包装盒中，每10个～30个纸袋装 盒，包装盒的底部和表面垫衬软性材料，然后用胶带将包装盒扎紧。将装有砷化切割片的塑料包装 盒，装入包装纸箱中，箱内垫衬软性材料，以防损伤

产品在运输过程中应防止碰撞、受潮和化学唇

产品应存放在干燥、无腐蚀性气氛中

9.1订购碑化镓单晶的订货单（或合同）应包括

a) 产品名称； b) 牌号及掺杂剂； c) 载流子浓度范围； d) 位错密度范围： e) 外形尺寸； f) 重量或长度； g) 本标准编号； h) 其他。 .2 订购砷化镓切割片的订货单（或合同）应包括以下内容：

a）产品名称； b）牌号； 载流子浓度范围； d）位错密度范围； e）几何尺寸、晶向偏离、参考面取向及长度； f）片数； g）本标准编号； h)其他。

a）产品名称； b）牌号； 载流子浓度范围； d）位错密度范围； e）几何尺寸、晶向偏离、参考面取向及长度； f)片数； g）本标准编号； h) 其他

川03G401-预应力钢筋混凝土多孔板图集GB/T110942020