GB51136-2015标准规范下载简介

GB51136-2015 薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范.pdf简介：

GB51136-2015《薄膜晶体管液晶显示器工厂设计规范》是一部专门针对薄膜晶体管（TFT）液晶显示器工厂设计的国家标准。该规范旨在指导和规定 TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示）工厂的设计、建设、生产和维护过程，以确保工厂的生产效率、产品质量、环境友好以及员工安全。

该规范涵盖了工厂的总体布局、生产设备、生产工艺流程、电气与自动化系统、空气质量控制、消防安全、职业健康与安全、环境保护等内容。它旨在确保工厂设计符合国家的法律法规要求，同时考虑到行业最佳实践，以提升液晶显示行业的整体技术水平和管理水平。

通过遵循该规范，TFT-LCD工厂能够达到高效、稳定和可持续的运营，以满足日益增长的市场需求和技术发展。

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8.3.2特种气体供应储存分配系统设备应根据特种气体的性质 和储存数量布置在独立的建（构）筑物内或生产厂房的专用房间 内。

灾危险性的确定应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》 GB50016的有关规定

8.3.5新建工厂的大宗硅烷站应布置在独立建筑物或构筑物内

JG／T 574-2019标准下载准《特种气体系统工程技术规范》GB50646的有关规定。

1硅烧气瓶柜的排风换气次数不得低于1200次/h，且气瓶 柜的负压应连续监控； 2自燃特种气体的气瓶柜应设置紫外、红外火焰探测器及自 动灭火系统； 3可燃特种气体的气瓶柜应设置自动灭火系统； 4自燃、可燃特种气体的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢 板。

8.3.8特种气体系统吹扫氮气的设置应符合下列规定

1特种气体系统的吹扫氮气应与独立的氮气源连接，并不得 与公用氮气或工艺氮气系统相连； 2不相容性特种气体系统的吹扫氮气不得共用同一氮气源； 3吹扫氮气管线应设置止回阀。

8.3.9特种气体排气与废气处理的设置应符合下列规定

防止空气倒流造成污染和腐蚀； 2不相容性特种气体的排气不得接人同一排气主管； 3自燃、可燃、毒性、腐蚀性特种气体的排气应经过尾气处理 装置进行处理，确保达到国家规定的允许排放标准。 8.3.10生产厂房内的可燃和毒性特种气体管道应明敷，穿过牛 产区墙壁与楼板处的管段应设置套管，套管内的管道不得有焊缝， 套管与管道之间应采用密封措施。可燃、毒性、腐蚀性气体管道的 机械连接处应置于排风罩内。 8.3.11特种气体和吹扫气体的管道和管件应采用奥氏体超低碳 不锈钢无缝钢管，内表面应进行洁净和钝化处理。 8.3.12可燃、氧化性特种气体管道应设置静电泄导的接地设施。 8.3.13 室外布置的特种气体管道应架空布置。 8.3.14具有自燃、剧毒性、强腐蚀性的特种气体宜采用双套管设

8.3.11特种气体和吹扫气体的管道和管件应采用奥氏体超低碳

8.3.13室外布置的特种气体管道应架空布置。

8.4.1干燥压缩空气系统应满足生产工艺、供气量和供

8.4.1干燥压缩空气系统应满足生产工艺、供气量和供气品质的 要求，并应符合下列规定： 1干燥压缩空气系统的供气规模应按生产工艺所需实际用 气量及系统损耗量确定； 2供气设备可集中布置在生产厂房内的供气站或生产厂房 外的综合动力站； 3供气设备应选用能耗少、噪声低的设备，空气压缩机应选 用无油润滑空气压缩机

8.4.2风冷式空气压缩机及风冷式干燥装置的设备布置应防

光不锈钢管；当千燥压缩空气输送露点低于一40℃时，应采用不锈 钢管或热镀锌无缝钢管。

8.4.4压缩空气系统的管道设计应符合下列规定：

优 1压缩空气主管路设计宜布置成环状或支状系统； 2压缩空气主管道的直径应按全系统实际用气量进行设计， 主支管道的直径应按局部系统实际用气量进行设计，支管道的直 轻应按设备最大用气量进行设计； 3干燥压缩空气输送露点低于一40℃时，用于管道连接的密 封材料宜选用金属垫片或聚四氟乙烯垫片； 4采用软管连接时，宜选用金属软管。

8.5工艺真空和清扫真空

8.5.1：工艺真空系统的设计应符合下列规定： 1：工艺真空系统的抽气能力应按生产工艺所需实际用气量 及系统损耗量确定； 2供气设备应布置在生产厂房内的一个或多个供气站内； 3工艺真空设备应选用能耗少、噪声低的设备； 4工艺真空设备应根据工艺系统的实际情况选用水环式或 干式真空泵； 5工艺真空系统宜设置真空压力过低保护装置。 8.5.2工艺真空系统的管道设计应符合下列规定： 1工艺真空管路设计应布置成支状系统； 2工艺真空主管道的直径应按全系统实际抽气量进行设计； 主支管道的直径应按照局部系统实际抽气量进行设计，支管道的 直径应按设备最大抽气量进行设计； 3工艺真空系统的管道材料宜根据工艺真空系统的真空压 万及真空特性选用不锈钢管或厚壁聚氯乙烯管道； 4采用软管连接时，应选用金属软管。 8.5.3洁净室（区）宜设置集中式真空吸尘系统，洁净室内的吸尘 系统管道宜暗敷。

8.5.1工艺真空系统的设计应符合下列规定：

9供暖、通风、空气调节与净化

9.1.1洁净室（区）的空气洁净度等级以及洁净室形式应根据生 产工艺对生产环境的要求确定。 9.1.2洁净室（区）的气流组织应根据洁净度等级以及生产T.艺 要求确定。

要求确定。 9.1.3净化空调系统分开设置的原则除应符合现行国家标准《电 子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定外，还应符合下 列规定： 1 温、湿度基数差别大的洁净室应分开设置净化空调系统： 2 温、湿度允许波动范围差别大的洁净室应分开设置净化空 调系统。 9.1.4 洁净室内的新风量应取下列两项中的最大值： 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和； 保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于40m。 9.1.5 洁净室与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应符合 下列规定： 不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa； 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa； 3 洁净室与室外的静压差不应小于10Pa。 9.1.6 布暨在阵列彩膜成广房核心生产区的风管水管应采

9.1.3净化空调系统分开设置的原则除应符合现行国家标准《电 子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定外，还应符合下 列规定： 1温、湿度基数差别大的洁净室应分开设置净化空调系统： 2温、湿度允许波动范围差别大的洁净室应分开设置净化空 调系统。 0注净完内的新例是应险下列两预山的是大值

子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定外，还应符合

1温、湿度基数差别大的洁净室应分开设置净化空调系统； 2温、湿度允许波动范围差别大的洁净室应分开设置净化空 调系统。

1补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和； 2 保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于40m3 9.1.5 洁净室与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应符合 下列规定： 不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa； 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa； 洁净室与室外的静压差不应小于10Pa。 9.1.6 布置在阵列、彩膜、成盒厂房核心生产区的风管、水管应采 取减振措施

9.2采暖、通风与废气处理

9.2.1严寒及寒冷地区各动力站房及管廊应根据技术要

1严寒及寒冷地区各动力站房及管廊应根据技术要求设置

防冻采暖设施，其他房间的采暖设计应符合现行国家标准《工 筑供暖通风与空气调节设计规范》GB50019的有关规定。

9.2.2洁净室（区）内不应采用散热器采暖。

甲限品牌材料品牌清单（重庆2019）9.2.4排风系统的设计应符合下列规定：

1等离子体增强化学气相沉积和十法刻蚀设备的尾气应设 就地处理装置。 2酸、碱、有毒和有机废气应分开设置排风系统，并应设置备 用风机和应急电源。 3阵列、彩膜、成盒厂房一般排风系统应设置备用风机。 4有冷凝液产生的工艺设备局部排风管宜设置坡度和排液 口，冷凝液应排至相应的废水管网中，且风管系统应采取防液体渗 漏措施。 5有毒排风系统的风管应采用内涂聚四氟乙烯的不锈钢板 制作。 6有毒和有机排风应采取防爆措施。 7酸、碱、有毒和有机排风系统的风管不应穿过防火墙或防 火分隔物。若必须穿过时，不得设置熔片式防火阀。 8酸、碱、有毒和有机排风系统的废气处理设备应设在排风 机的负压端。 9有毒排风系统的风管应在便于观察的位置设置透明观察 口，其管内风速不应小于10m/s。 10工艺设备局部排风系统的室外风管应根据当地气象条件 设置防结露保温措施。 11布置在阵列、彩膜、成盒厂房核心生产区内的排风管道， 其管内风速不应大于12m/s。 12洁净室的排风系统应设置防止室外气流倒灌的措施。 h

9.2.5废气处理系统的设计应符合下列规定：

1等离子体增强化学气相沉积和十法刻蚀设备尾气宜设置 两级就地处理装置，对硅烷和二氧化硅的去除率不应小于98% 对其他有害物的处理效率不应小于99%。 2有毒废气处理系统应针对酸、碱、粉尘综合处理。 3酸、碱、有机、有毒废气处理系统宜设置备用处理设备。 4酸、碱、有机、有毒废气不得采用固定床吸附剂方式处理。 5酸、碱、有毒废气宜采用淋洗方式处理，处理设备的填料层 数、厚度和喷淋药液循环量应根据有害物入口浓度、排放标准等因 素计算确定。处理设备的加药、补水和排污应采用自动方式；处理 设备宜就近设置月用药箱。 6处理设备的排水应进入废水处理系统。 7有机废气宜采用沸石转轮吸附、浓缩，并应经楚烧炉氧化 方式处理：焚烧后高温气体排入大气前宜设置两级热回收装置。 8剥离设备有机废气进入沸石转轮处理设备前宜进行预处 理。 9废气处理设备采用的级数应根据有害物的种类、初始浓 度、当地的排放标准、处理设备的效率等因素确定。 10两台及两台以上废气处理设备并联运行时，应在每台设 备的入口设置电动或气动密闭风阀。 9.2.6酸、碱、有机、有毒废气经处理后应经排气简排入大气，排 气简高度应符合现行国家标准《大气污染物综合排放标准》 GB16297和环境评估报告的有关规定，排气筒出口处风速不宜小 于18m/s。 9.2.7酸、碱、有毒和有机排风系统宜在排气简内设置在线监测 取样传感器。 9.2.8一般排风系统的排风宜作为洁净室的回风使用。 AMM言

9.2.9换鞋间应设置不低于10次/h的全室排风系统，排风口宜

GB∕T 39485-2020 燃气燃烧器和燃烧器具用安全和控制装置 特殊要求 手动燃气阀设置在下部：换鞋柜宜设置局部排风措施：一次更衣间宜设置不低 于5次/h的全室排风系统

9.3.1净化空气调节系统的新风应集中进行热、湿、净化