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真空技术与设备国家标准汇编（2017年版）简介：

"真空技术与设备国家标准汇编（2017年版）"是一本涵盖了我国真空技术与设备领域的最新国家标准、行业标准和企业标准的权威参考书籍。它汇集了自2017年以来，我国在真空技术及其相关设备制造、设计、使用、检验、维护等方面制定或修订的所有重要标准。

这本书的内容涵盖了真空系统的原理、设计、制造、安装、调试、维护、测试、安全、环保等多个方面，包括了真空泵、真空炉、真空包装机、真空测量设备、真空绝热材料等各类真空设备的标准。它对于真空技术的研究人员、工程师、标准化人员、设备制造商以及使用真空设备的行业用户来说，具有极高的参考价值和实用意义。

此外，该汇编也是我国真空技术和设备行业规范发展的重要标志，体现了我国在这个领域的技术进步和标准化进程。对于推动我国真空技术的发展，提升设备的性能和质量，促进国际间的技术交流与合作都具有不可替代的作用。

真空技术与设备国家标准汇编（2017年版）部分内容预览：

潘宁计Penninggauge

4. 4. 3.3.3

三极管真空计triodegauge

DB36∕T 1008-2018 混合梁斜拉桥混凝土超宽箱梁施工技术规范具有一般三极管结构的一种热阴极电离真空计。灯丝置于以栅极作为阳极的轴线 子收集极与阳极同心

4. 4.3. 4. 2

通过使用置于圆筒形栅极轴线上的细离子收集极丝来降低X射线极限值的一种热阴极 其阴极布置在栅极的外面。

4. 4. 3. 4. 4

抑制型真空计suppressorgauge

通过安装在离子收集极附近的抑制电极，使离子收集极发射的二次电子返回到它自身来 极限值的一种热阴极电离真空计。

4. 4.3.4. 6

分离型真空计extractorgauge

通过使用一个短而细金属丝做离子收集来降低X射线极限值的一种热阴极电离真空计。该收集 极置于圆筒形栅极外部轴线上的屏蔽罩内，用以收集来自电离区域的离子。 4.4.3.4.7 弯注型电离真空计bentbeamgauge 离子从电离区域拉出进人一个静电偏转极的一种热阴极电离真空计。 4.4.3.4.8 弹道型真空计orbitrongauge 注人电子沿轨道长距离飞行，以增加每个电子所产生离子数目的一种热阴极电离真空计。电子注 人发生在圆筒形离子收集和同轴细金属丝之间的静电场中。低的电子流降低了X射线效应和解析离 子效应

4. 4.3. 4.7

4. 4.3. 4. 10

质谱仪 mass spectrometer

区分不同质荷比电离粒子并测量其离子流的一种仪表

注：质谱仪可作为测量特定气体分压的真空计，也可以作为对特殊探索气体敏感的检漏仪或作为确定混合气体成 分百分数的分析仪。质谱仪根据分离离子方法的不同来分类

4.5.2带有一定形状电场的质谱计

射频质谱仪radiofrequencymassspectrometer 离子直线飞行，并通过一系列交替与射频振荡器连接的栅极而被加速，然后进入静电场，该静电场 只允许在射频场中加速的离子到达收集极的一种质谱仪，

四极质谱仪quadrupolemassspectrometer

轴向人射的离子进入由四个电极（通常为棒）组成的四极透镜系统，透镜加有成临界比的 电场，使得只有一定质荷比离子通过的 种质谱仪

单极质谱仪monopolemassspectrometer

L形电极以及与其对称布置的单柱，提供了相似于四极透镜一个象限形状的电场，离子从 附近入射，且只有一定质荷比（取决于电场）离子通过的一种质谱仪。 53带正交电磁场的质谱仪

4.5.3带正交电磁场的质谱仪

双策焦质谱仪doublefocusingmassspectrometer 通过径向静电场和扇形磁场的连续作用来分离离子，致使离子在两分析器中的速度分布相反并近 似相等的一种质谱仪

余摆线聚焦质谱仪trochoidalfocusingmassspectrometer 离子被正交电磁场分离沿不同的摆线路程依质荷比到达不同焦点上的一种质谱仪。

回旋质谱仪omegatronmassspectrometer 由相互垂直的射频电场和稳定磁场所提供的回旋加速谐振效应，离子按照半径逐渐增大的螺旋路 径被分离的一种质谱仪

飞行时间质谱仪timeofflightmassspectrometer 气体被脉冲调制电子束电离，每组离子加速飞向漂移空间末端的离子收集极，离子达到的时间差取 快于质荷比的一种质谱仪

标准真空计referencegauges 校准真空计时，用来做量值传递或量值参照的真空计

校准系统systemofcalibratio

校准系统systemofcalibration 校准真空计所用的真空系统。

GB/T 31632007

压差真空系统differentiallypumpedvacuumsystem 通过气体节流，使相互连接的各个室分别用单独的真空象抽（以达到维持压差（压降或压力梯段） 目的的一种真空系统。

进气系统gas admittance system

进气系统gas admittancesystem

在规定的和控制的条件下，能将气体或气体混合物放入真空系统的一种装置

GB/T3163—2007

5.2.1 抽气装置的抽速volumeflowrateofapumpingunit 在抽气装置进气口处测得的抽速。 5.2.2 抽气装置的抽气量throughputofapumpingunit 流经抽气装置进气口处的气体流量。 5.2.3 真空系统的放气率degassing（outgassing）throughputofavacuumsystem 由真空系统内部所有表面解吸气体所产生的气体流量。 注：在真空系统内部经常出现一种漏气假象。这种情况叫做“虚漏”。 5.2.4 真空系统的漏气率leakthroughputofavacuumsystem 由于漏气渗人到真空系统中并影响真空容器中压力的气体流量。 5.2.5 真空容器的升压率rateofpressureriseofavacuumchamber 在温度保持不变时，抽气系统关闭后，在给定时间间隔内，真空容器的压力升高量除以该时间间隔 之商。该商有可能不是恒定的。 5.2.6 极限压力 ultimatepressure 泵在工作时，空载干燥的真空容器逐渐接近、达到并维持稳定的最低压力。 5.2.7 残余压力 residualpressure 经过一定时间的抽气之后或真空过程结束之后还存在于真空容器中的气体或气体混合物（残余气 体）的全压。在某些情况下残余压力等于极限压力。 注：在真空技术中，“气体”一词按广义的理解，即可适用于非冷凝性气体也可应用于蒸气， 5.2.8 残余气体谱 青residualgas spectrum 真空容器中残余气体的质谱。 5.2.9 本底压力（真空系统）basepressure 在真空容器中可以开始实施工艺时的压力。 5.2.10 工作压力（真空系统）workingpressure 在真空容器中为满足实施应用工艺要求所必需的压力。 5.2.11 粗抽时间 roughingtime 前级真空泵或前级真空抽气机组从大气压抽至本底压力或抽至在较低压力下工作的真空泵的启动 压力所需要的时间。 5.2.12

将真空系统的压力从大气压降低到一定压力，例如降到本底压力所需要的时间

真空系统时间常数timeconstantofavacuumsysten 将真空容器中的压力降低到初始压力的1/e所需要的 和险以地气系炫的地沛组山之商

真空系统时间常数timeconstantofavacuumsystem

器中的压力降低到初始压力的1/e所需要的 统的抽速得出之商

真空系统进气时间ventingtime

真空容器：真空室 vacuumchamber

GB/T31632007

连接在两个不同压力空间之间的真空室。它具有能与这个或那个相接的空间相适应压力的连接装 置和能将物件从这个空间输送到那个空间而在这些空间中压力不发生干扰性变化的开孔（全部或部分 可以关闭）。一般来说这些装置和开孔用于将物件从大气送入到真空容器中或从真空容器中取出到大 气中

真空冷凝器：蒸汽冷凝器 device for condensing vapours

内部带有冷却面，设置于真空室和抽气系统之间用于冷凝大量水蒸气的一种真空容器。通常它有

一个可闭锁的冷凝液收集罐，能在不中断真空过程情况下排出液体冷凝物。

永久性真空封接permanentseal

玻璃分级过渡封接gradedseal

由具有不同热膨胀系数的各种玻璃组成的一种永久性真空封接。因此避免了在各连接元件内不希 望有的大应力（所谓麦杆式封接）。

放置于两个零件之间的一个可拆卸的真空连接件，用其进行密封的一种可变形的构件。在某些场 合借助于支承架（例如垫圈密封），材料的选择要视所要求的真空范围而定，通常用弹性体或金属

GB/T3163—2007

真空密封圈vacuumringgasket

GB/T 31632007

漏孔leaks 在真空技术中，在压力或浓度差作用下，使气体从壁的一侧通到另一侧的孔洞、孔隙、渗透元件或 个封闭器壁上的其他结构。 6.1.2 通道漏孔channelleak 可以把它理想地当作长毛细管的由一个或多个不连续通道组成的一个漏孔。 6.1.3 薄膜漏孔membraneleak 气体通过渗透穿过薄膜的一种漏孔

分子漏孔molecular leak

漏孔的质量流率正比于流动气体分子质量平方根的倒数的一种漏孔

HG／T 20638-2017标准下载GB/T31632007

探索（示漏）气体searchgas 用来对真空系统进行检漏的气体

GB/T 31632007

荧光检漏fluorescenceleakdetection 将被检零件浸入荧光粉的有机溶液（三氯乙烯或四氯化碳）中，漏孔处将留有荧光粉，用紫外线照身 荧光粉发光来确定漏孔位置。

皖2005J209 自粘橡胶沥青防水卷材(BAC.BS-P型)和SPU防水涂料防水建筑构造真空镀膜 vacuum coating

在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法