GB／T 25915.9-2018 标准规范下载简介

GB／T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级简介：

GB/T 25915.9-2018是中国的一项国家标准，全称为《洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级》。这一标准主要规定了在洁净环境中，如何依据空气中的粒子浓度来评定和划分表面的洁净度等级。

洁净室，通常用于需要高度控制环境条件的领域，比如制药、电子制造、生物技术等。在这个环境中，空气中的粒子数量和尺寸对生产过程和产品质量有重大影响。因此，对洁净度的控制和评估是至关重要的。

GB/T 25915.9-2018标准将表面洁净度等级划分为多个级别，通常是根据每平方英寸（或每平方厘米）表面上的颗粒数量来定义。级别越低，代表表面的洁净度越高，颗粒数量越少。标准中还可能包括对不同粒径颗粒的考虑，因为不同大小的颗粒可能对不同的生产过程有不同的影响。

此标准旨在为洁净室的设计、建设和运行提供明确的指导，确保环境的洁净度满足特定的生产要求，保证产品的质量和一致性。同时，它也为评估和验证洁净室的运行效果提供了统一的依据。

请注意，具体细节可能需要参照完整标准文档，因为标准可能包含了更详细的规定、测量方法和解释。

GB／T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级部分内容预览：

在原区域之外进行粒子评定的样本应接如下包装： a）应由穿着正确洁净服的人员在原区域内进行样本准备工作。 应由双手佩戴新的清洗过的洁净室用丁睛手套或乳胶手套的人员运送样本。 当采用了清洗工艺（工序）后，基本要求是使样本冷却并干燥后，再置于包装内或袋中。

使用在洁净室中生产的镀金属聚酯袋，应比样本的预期要求至少高一个洁净级别。其最小厚 度宜为80μm，以防撕裂。 1 每个样本都应使用d)中所述型式的内、外两个袋子分隔包装。 f) 也可使用如晶片盒或真空热塑成型容器等定做的密封盒，它们也要比样本高出一个洁净级别。 g） 每个样本宜使用d)中说明的袋子，单独包装并放人定做的盒子中，防止因摩擦或接触而丢失 粒子。 h) 内袋宜折叠并用胶带密封，以防随后剪开时有粒子丢失，其外部还应贴一识别标签。 i) 外袋宜密封并压焊以防受损。宜贴上适当的标签，以防其在受控环境之外开启。 J) 如采用f)中描述的那类定做的包装盒，则还要求有如d)中所述洁净度的两个聚乙烯薄膜外 袋。内薄膜袋可用胶带封住或用压焊，外薄膜袋宜压焊住。

D.2.5.2从包装中取出样本

外袋应在即将进入受控测试环境时取下。 内袋不应在进人受控测试环境前取下。 在处理内包装时应穿戴全套洁净室工作服《变频调速专用三相异步电动机绝缘规范 GB/T21707-2008》，包括头套和面罩。 检验样本时应使用新清洗过的洁净室用工睛手套或乳胶手套

有此用中，特别是 进行自检日能就是够了。可用简单的物 动工具，如带有标线板或带反差照明的放大镜，协助肉眼目检，可记录下25um的粒子。对复杂的部件 可进行快速的定性检验，用这种方法得不到粒径及其分布方面的定量信息。

D.2.6.2光学显微镜

D.2.7其他测量系统

D.2.7.1斜光、掠光和侧光测量系统

与使用光学显微镜相同，可在具备所要求的放大倍率的数码相机上描绘表面的图像。如采用平行 光斜入射表面，使表面自身的结构只是被最低限度照亮。这种情况下，只有少量光线被表面所散射并进 人相机，洁净表面呈暗色。但如表面上有粒子，它们就会被斜人射光线所完全照亮，并产生相应量的散 射光。在相机图像中，可看到暗背景上的亮点，可用简单的图像分析算法来分析点的形态（貌）

D.2.7.2扫描电子显微镜（SEM

如光学显微系统的分辨率无法满足要求、表面又特别粗糙时，可用SEM。SEM在高放大倍数时的 景深小，对粗糙表面的研究（探测）超过光学显微系统的限度。不过，由于表面遭受电子束轰击时会带 电，结果使图像变形，用SEM难于检验非导电表面。为避免此问题，应先在非导电表面溅射一层（多数 情况是金属的）薄膜使其导电。这里存在一个风险，即表面境况会改变。另外，电子束会使粒子带电，并 18

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将其驱离表面。因为进行SEM测试，需： 置于高真空中，所以要注意确保部件在真 空中不会改变或损坏。如SEM与图像分析装置组合使用，可对表面进行自动检验

3能量色散测量法(EI

粒子材料的元素构成可用波长色散（WDX)或EDX测量法测定。如EDX与校准复合物一起使用， 不仅可获得定量信息，还可获得定性信息，

D.2.7.4光学粒子计数

引导介质（空气、气体和液体)流过激光束，如介质中存在粒子，粒子通过激光束时会产生散射光 教射光可被光探测器记录下来并进行分析。由散射光的强度能够导出触发光脉冲粒子的粒径，依据圆 形乳胶粒子获得的校准曲线可推导出这些粒径。但得到的直径等于散射光脉冲（强度），而非实际粒径， 则量结果给出在规定测量容积内的粒径分布情况。在空气和气体中进行测量，可用不同的传感器测量 小至0.05μm、大至2500μm(2.5mm）的粒子。传感器的测量范围由其光学设计所决定。用凝聚核计 数器（CNC)可以记录较小的粒子。在测量前，粒子因凝聚了液体而被扩大。用CNC可记录小至 .005μm的粒子。但因凝聚有液体，所以不能测定粒子的分布。在使用CNC测量液体中的粒子时，粒 径探测限值为>0.05 um。一般情况下,对离散粒子使用 OPC进行测量

D.2.7.5消光粒子计数

检测粒子的两种方法（ 自光法对大天于 或等于1um的粒子有用。 用此方法 经过光束时其“影子”的大小

D.2.7.6散射光表面扫描装置

散射光扫描仪专门用于检验粗糙度非常低的表面（如硅晶片、玻璃）。聚焦的激光以规定的光束角 扫描部件表面。从表面直接反射的光被导入光陷阱并消失。在表面上存在的粒子引起激光的漫散射， 散射光被光电倍增器记录下并被放大。依据检测出的散射光强度和散射光的大小，用随后的分析用电 子器件，可导出粒子的粒径和形状。使激光的实际位置与散射光同步，以确定表面粒子的分布情况。散 射光扫描仪的探测粒径限值为>0.05um

D.2.7.7称重测定法

表面上的或被测物体上的粒子负荷由分析过滤器的质量增量来测定（差重）。为此，在分析过滤器 过滤冲洗液之前和之后，分别用精密天平为分析过滤器计重。称重测定法提供粒子负荷的总质量，但不 说明分析过滤器上粒子粒径的分布情况。为实施这种精密的计重程序，应对分析过滤器进行非常认 真的准备和干燥。为防止环境的变化影响结果，环境温度、湿度、空气洁净度和操作步骤都应保持恒定， 用规定的方法实施操作步骤。用称重测定法无法记录单一的粒子，所以这种方法主要用于测定大尺 寸或形状复杂的部件上的粒子负荷。每个分析过滤器的测量限值约为0.1mg。

D.2.7.8用原子力显微法进行分析（AFM

时限值高1000倍以上。AFM由一根微尺度悬臂构成，其端部为一个锐利的尖针（探头）JC 514.2-1993 铸石制品 铸石直管，用于扫描样 本表面。当尖针接近到样本表面附近时，尖针和样本之间的力造成悬臂偏转。一般以悬臂顶部反射到 光电二极管阵列的激光点来测量该偏转。最后得到该区域的形态图来反映样本的形态

D.2.7.9测量结果分析

当需方和供方相互商定任务（测量范围)或结果后，待实施的采样方法和测量方法应由需方和供

共同规划、同意、分析、记录在案。应接照以粒子浓度水平划分表面洁净度的方法对表面进行分级，特别 是当与其他的位置和系统进行比较或与类似的测量方法（气溶胶、水溶胶）进行测量结果比较、需要涵盖 更多方面的内容时数据中心综合布线系统工程改造之规划与施工，更是如此。

D.3按粒子浓度划分表面洁净度的文件编制

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