标准规范下载简介
GB/T 20229-2022 磷化镓单晶.pdf简介:
GB/T 20229-2022 是中国国家标准,其全称是《磷化镓单晶(GaP Single Crystals)》。这是一项关于磷化镓单晶的规范,磷化镓(GaP)是一种重要的半导体材料,具有良好的光电子性能,广泛应用于光电子器件,如激光器、LED(发光二极管)和光电二极管等。
磷化镓单晶是指将镓(Ga)和磷(P)元素按照一定比例结合,经过特殊工艺制备出的单晶材料,其结构规则,性能稳定,纯度高。这种单晶材料在微电子和光电子领域有着重要的应用,如在太阳能电池、红外探测器、光通信器件等方面。
GB/T 20229-2022标准可能涵盖了磷化镓单晶的制备方法、性能要求、测试方法、检验规则以及相关的质量控制和安全管理等内容,以确保产品的质量和一致性。
GB/T 20229-2022 磷化镓单晶.pdf部分内容预览:
5.1磷化镓单晶锭特性
晶锭的电学性能应符合表
磷化单晶锭的晶向为《111
DBJT 45∕T 023.2-2021 四好农村路 第2部分:运营指南磷化镓单晶锭的位错密度应符合表2的规定
5.2磷化单晶研磨片特性
5.2.1电学性能、位错密度
磷化单晶研磨片的电学性能、位错密度应分别符合磷化镓单晶锭特性中5.1.1、5.1.3的要求, 提供对应磷化镓单晶锭的检验结果
麟化镓单晶研磨片的几何参数应符合表3的规定
1.1.1磷化镓单晶锭导电类型的检测按GB/T4326的规定进行。 1.1.2n型、P型磷化镓单晶锭电阻率、载流子浓度及迁移率的检测按GB/T4326的规定进行。 1.1.3半绝缘型磷化镓单晶锭电阻率的检测按SJ/T11488的规定进行。
磷化像单晶锭晶向的检测按GB/T 1555的规定进行
磷化镓单晶锭位错密度的检测按附录A的
磷化镓单晶锭位错密度的检测按附录A白
磷化镓单晶锭外观质量的检测采用在日光灯下目视检查
6.2磷化镓单晶研磨片
磷化镓单晶研磨片表面取向的检测按GB/T1555的规定进行。
5.2.2.1磷化镓单晶研磨片直径及允许偏差的检测用精度0.02mm的量具进行。 6.2.2.2磷化镓单晶研磨片厚度及允许偏差、总厚度变化的检测按GB/T6618的规定进行 6.2.2.3磷化镓单晶研磨片翘曲度的检测按GB/T6620的规定进行。 6.2.2.4磷化单晶研磨片总指示读数的检测按GB/T6621的规定进行
晶研磨片表面质量的检测按GB/T6624的规定
GB/T 202292022
1产品由供方或第方进行检验,保证产品质量符合本文件及订货单的规定。 2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件及订货单的规定不符时 收到产品之日起三个月内以书面形式向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,应由供需双 商确定。
7.2.1磷化镓单晶锭应成批提交验收。每批应由同一根磷化镓单晶锭组成。 7.2.2磷化镓单晶研磨片应成批提交验收。每批应由同一牌号,并可追溯生产条件的磷化镓单晶锭加 工的磷化傢单晶研磨片组成
7.3.1磷化镓单晶锭的检验项目及取样应符合
化镓单晶锭的检验项目及取样应符合表4的规负
表4磷化镓单晶锭的检验项目及取样
磷化单晶研磨片的检验项目及取样应符合表
表5磷化镓单晶研磨片的检验项目及取样
7.4.1磷化镓单晶锭电学性能、晶向、位错密度的检验结果中有任意一项不合格时,允许对该磷化镓单 晶锭另取双倍数量的试样,对不合格的项目进行重复检验。若重复检验结果仍有任一试样不合格,则判 该根磷化单晶锭为不合格。 7.4.2磷化镓单晶锭的外观质量检验结果不合格时,判该根磷化镓单晶锭不合格。 7.4.3磷化镓单晶研磨片表面取向、几何参数、表面质量的检验结果接收质量限应符合表5的规定,或 由供需双方协商确定
8标志、包装、运输、购存和随行文件
8.1.1在检验合格的磷化单晶研磨片的包装片盒上应张贴标签,其上注明:
a)产品名称; b) 产品牌号; c) 产品批号; d) 产品数量; e) 其他。 8.1.2 产品包装箱外应贴有标签,其上标明: a) 供方名称、商标; b) 产品名称; c) 产品规格; d) 产品数量; e) 出厂日期: f) “小心轻放”“防潮”“防腐”“易碎”标志或字样; g) 其他。
8.2.1磷化镓单晶锭装入洁净的塑料袋内后,放入有凹槽的泡沫内,再置人包装箱内。 8.2.2磷化单晶研磨片装人洁净的包装片盒内,外用洁净的塑料袋及铝箔袋抽真空或充人氮气密封 包装,再置人包装箱内
产品应贮存在清洁、干燥的环境中
每批产品应附有随行文件,其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期 还宜包括下列文件。 a)产品质量证明书,内容如下: ·供方名称; 需方名称; 合同号; ·产品名称、规格、牌号; ·产品批号; ·产品数量; ·各项参数检验结果; ·技术监督部门印记和检验员盖章。 b)产品合格证内容如下,
每批产品应附有随行文件,其中除应包括供方 还宜包括下列文件。 a)产品质量证明书,内容如下: ·供方名称; 一 需方名称; 合同号; 产品名称、规格、牌号; ·产品批号; 产品数量; · 各项参数检验结果; ·技术监督部门印记和检验员盖章。 b)产品合格证,内容如下:
·检验项目及其结果; ·产品批号; ·检验日期; · 检验员签名或印章。 C) 产品质量控制过程中的检验报告及成品检验报告。 产品使用说明:正确搬运、使用、贮存方法等。 e)其他。
需方可根据自身的需要,在订购本文件所列 a)产品名称; b)产品规格; c)产品数量; d)本文件编号; e)本文件中要求在订货单中注明的内容; 适用的包装要求; g)其他
附录A (规范性) 磷化镓单晶位错密度的测试方法
些化学腐蚀液对晶体缺陷部分有择优 蚀作用,在晶体表面上的位错露头处腐蚀速度较快,进而形成具有特定形状的腐蚀坑。在显微镜下观 察并按一定规则统计这些腐蚀坑,单位视场面 腐蚀坑个数即为位错密度
A.2.1硝酸:质量分数69%71%,分析纯及以上, A.2.2氢氟酸:质量分数40%~49%,分析纯及以上。 A.2.3硝酸银溶液:称取1g硝酸银(质量分数不小于99.8%,分析纯及以上)置于烧杯中,加入249mL 去离子水,溶解,混匀。此溶液中硝酸银浓度为0.4%(质量分数)。 A.2.4去离子水:电阻率大于5 MQ·cm(常温)。
A.2.1硝酸:质量分数69%~71%《快速公共汽车交通系统规划设计导则 JT/T960-2015》,分析纯及以上。
将磷化镓单晶锭切割成表面取向(111)土5°的晶片后,经研磨、双面抛光后,使表面呈镜面状态 伤,之后用去离子水清洗、干燥
(111)磷面的腐蚀液为去离子水、硝酸银溶液、硝酸、氢氟酸的混合液,其体积比为H2O:AgN( NO. : HF=11 : 5 : 12 : 8.
将样品放入水浴加热至70C土2℃的腐蚀液内,腐蚀时间为10min~12min。腐蚀完成后将 出,用去离子水冲洗不少于5次,将样品表面的化学试剂洗净,吹干
A.4.4选择视场面积
将样品置于金相显微镜载物台上,选择放大倍数为100倍,扫描整个样品表面,估算位错密度。根 锯位错密度(N。),选取视场面积: a)Na≤10000,选用视场面积S≥0.001cm; b)10000 采用17点计数方法进行位错密度的测试。将晶片边缘去除3mm后,在晶片互成45°角的任意直 径上以D/10(D为晶片直径)为间距取测试点,如图A.1所示 NBT 34033-2016 家用太阳能热水器支架图A.117点计数位置