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GB／T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求.pdf简介：

GB/T 25915.12-2021，中文名称为《洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求》，是中华人民共和国国家标准之一。该标准主要针对洁净室及相关受控环境中纳米粒子（通常指粒径在1-100纳米范围内的颗粒物）的浓度监测提供技术指导。

在洁净室和受控环境中，纳米粒子的浓度直接影响到产品质量、生物安全、电子设备的可靠性和医疗设备的精度等。这个标准规定了纳米粒子浓度的测量方法、采样设备的选择、数据处理和报告要求，以及监测的频率和范围等。它旨在确保这些环境的粒子污染控制在可接受的范围内，以满足特定应用领域的洁净度要求。

该标准适用于各类需要严格控制纳米粒子浓度的洁净室，如制药、半导体、电子设备制造、医疗设备生产等。企业、研究机构和政府部门在设计、建设和运行洁净室时，应参考此标准进行纳米粒子浓度的监测和控制。

GB／T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求.pdf部分内容预览：

GB/T25915是采用ISO14644系列国际标准，各部分设置与国际标准保持一致，拟由15个部分 购成。 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级。目的是区分粒子污染程度 一第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测。目的是指导监测粒子污染，以避免可能产生的污染 风险。 第3部分：检测方法。目的是指导对洁净室内各种污染和相关环境要素的检测。 第4部分：设计、建造、启动。目的是指导洁净室的设计、建造、启动。 第5部分：运行。目的是指导洁净室的运行。 第6部分：词汇。目的是统一规范技术术语 一第7部分：隔离装置（洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境）。目的是提出洁净室用隔离装置的基 本要求。 第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度（ACC)等级。目的是区分空气化学污染程度。 一第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级。目的是区分表面粒子污染程度。 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级。目的是区分表面化学污染程度。 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。目的是提出纳米级别的粒子污染的检测 要求。 第13部分：达到粒子和化合洁净度要求的表面清洁。目的是提出洁净室内表面的清洁要求以 避免可能产生的粒子和化学污染的风险。 第14部分：按粒子污染浓度评估设备适用性。目的是通过对相关设备可能在洁净室产生粒子 污染的测试，确定设备的适合性。 第15部分：接化学污染物浓度评定设备及材料的适合性。目的是通过对相关设备可能在洁净 室产生化学污染的测试，确定设备的适合性。 第16部分：提高洁净室和空气净化装置能效。目的是节约洁净室运行的能源消耗。 洁净室及相关受控环境将污染物控制在适当的水平，以便完成对污染敏感的活动。航空航天、微电 子、制药、医疗器械、食品、医疗卫生等行业的产品和工艺受益于对悬浮污染物的控制。 GB/T25915.3一2010仅限于粒径大于100nm的粒子分级。但在这个文件中包含小于100纳米粒 的资料性内容，且将小于100nm的粒子称为超微粒子，而不是本文件所称的纳来粒子。 纳米技术是最近才形成的领域，一般涉及大约1nm～100nm尺寸范围的物质。为改善产品的性 能，其特征尺寸越来越小成为其趋势，如微电子及与健康有关的许多工业，现已生产纳米尺度的产品。 有关粒径特性的背景性文献见参考文献1~18

15.122021/ISO14644

DB42∕T 1746-2021 超高性能混凝土钢桥面铺装体系技术规程洁净室及相关受控环境第12部分：

本文件给出了监测粒径限值不超过0.1μm(100nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。 本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。 注1：本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上（纳米片）、2维上（纳米纤维)或3维上（纳米粒子)具有纳米 尺度的纳米物质。 注2：请注意，洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。 注3：本文件未考虑健康与安全事项

本文件没有规范性引用文件

洁净室cleanroom 空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间，其设计、建造到运行均使进人、产生、滞留于房间的粒子 受控。 注1：规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。 注2：也可对影响洁净度等级的其他因素，如空气中化学物、微生物或纳米尺度粒子浓度等，以及影响表面洁净度 等级的其他因素，如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等，作出规定并进行控制， 注3：温度、湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数，也可按要求受控， [来源:GB/T 25915.1—2021,3.1.1] 3.1.2 洁净区cleanzone 空气悬浮粒子计数浓度受控并分级的限定空间。其建造和运行便进入、产生和滞留于空间的粒子 受控。 注1：空气悬浮粒子浓度的级别已确定， 注2：也可以对影响洁净度等级的其他因素，如空气中化学物、微生物或纳米尺度粒子浓度等，以及影响表面洁净 度等级的其他因素，如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等，作出规定并进行控制

注3：洁净区可以是限定于洁净室内的空间，也可用隔离装置实现。隔离装置既可设在洁净室内也可在洁净室外 注4：温度、湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数，也可按要求受控。 [来源:GB/T25915.1—2021,3.1.2]

纳米尺度nanoscale(nanometerscale

动态operational 洁净室（3.1.1)或洁净区（3.1.2）设施按议定方式运行，且有规定数量的人员按议定方式工作的 状态。 [来源:GB/T25915.1—2021,3.3.3]

动态operational 洁净室（3.1.1)或洁净区（3.1.2)设施按议定方式运行，且有规定数量的人员按议定方式工作的 状态。 [来源:GB/T25915.1—2021,3.3.3]

凝结粒子计数器 condensation particle counter;CPC 测量气溶胶（3.3.3)粒子数量浓度的仪器

15.122021/ISO14644

注1：探测的粒径一般介于几纳米到几百纳米之间， 注2：CPC可与差分电迁移率分析仪（DEMC)一起使用的探测器。 注3：在某些情况下，凝结粒子计数器也可称为凝结核计数器（condensationnucleuscounter，CNC）。 [来源：ISO15900:2009,2.5] 5.2 计数效率 countingefficiency 给定粒径范围内读出的粒子浓度与实际粒子浓度之比。 [来源:GB/T25915.3—2010,3.6.5］

就测量而言，唯一重要的粒子特性是其“当量直径”

与测试条件的文件来验证的。见GB/T25915.2一2021中附录A，它规定了以预期使用的风险评估为 衣据的监测计划的要求。所获得的数据提供了洁净室与纳米粒子浓度有关的性能的佐证

为监测空气中的纳米尺度粒子，用CPC对空气中纳米尺度粒子计数最有效。使用CPC进行监测 的标准方法见附录A。按纳米尺度粒子监测空气洁净度的方法，应给出系统性的计划、良好定义了的步 骤、阐明评估如何实施。一般来说，设施的告警值和行动值依据的是风险评估。如果供方和需方有要 求，则可协商定立限值。 计数方法的标准内容应包括： 待测的纳米尺度粒径； 采样和分析对时间的相关性； 采样量； 采样点位置； 样本数量； 一工艺/产品的关键性； 一洁净区设计/平面图。 至少与CPC测量具有可比性能的其他方法和仪器也可做出规定。如若没有规定的或商定的其他 替代方式，则使用此标准方法。 应使用校准过的仪器实施符合性验证测试

每个洁净区的检测结果应记录下来并以综合报告提交。数据总结要包括不良趋势监测数据的审 核，运行水平，与4.2规定的监测计划相符的调查要求。 检测报告应包括如下内容： a）检测机构的名称、地址和检测日期： b）本文件编号，如GB/T25915.12—2021：

5915.122021/ISO1464

以凝结粒子计数器进行监测的参照方法

指定的采样位置，测定空气中大于或等于规定粒

该仪器应具有显示或记录空气中悬浮纳米尺度粒子数量的手段，其粒径分辨能力使其可对适当 范围内的纳米尺度粒子的总浓度进行检测

A.2.2凝结粒子计数器（CPC)

该仪器对被采集到的、因超饱和蒸气凝结在粒子核上而形成的全部液滴进行计数，生成大于或等于 PC粒子下限的粒子浓度累计值。凝结粒子计数器的技术条件示例见表A.1。仪器的技术条件应由供 应商提供并被用户认可

表A.1凝结粒子计数器技术条件

A.3粒子计数效率和分割粒径

粒子计数效率和分割粒径方面的内容见附录B

15.122021/ISO14644

检测之前宜验证洁净区或相关受控环境保持其整体密闭性的各个方面都是完整的，其功能符合 能技术条件。GB/T25915.3一2010提及到这类验证，举例来说包括下列数据： a）气流测试（例如风量、风速、单向流均匀度）； b） 空气压差测试： C 整体密封性检漏； d）已安装过滤器检漏

A.4.2预检测设备设置

按生产商的说明设置设备。实施检测前，验证CPC的流量和零计数符合表A.1的技术条件

A.5.1设定采样位置

采样点位置要由供、需双方商定

A.5.2CPC采样步骤

A.5.2.1按生产商的说明设置粒子计数器（A.2），其工作条件与生产商的要求相符。实施这一步骤的 人员宜经过仪器使用培训。 A.5.2.2采样管的位置要朝向气流。若被采样的气流方向不受控或无法预知（如非单向流），采样管的 入风口应呈垂直向上状态。 A.5.2.3如必要的话，在环境条件稳定后再进行采样，按A.4.2所述方法确定每个采样点的最小空气采 样量。 选择确能有效输送带电粒子的采样管，且采样管的长度尽可能短。 A.5.2.4如三种占用状态之一时，在多个采样点实施采样，某特定采样位置的单个采样结果异常的高， 可在该位置进行更多采样以检查间题，并确定该位置是否符合用户要求。在需要纳来尺度粒子浓度稳 定性的信息时.按供方和需方商 斤3次或更多的测量

选择确能有效输送带电粒子的采样管，且采样管的长度尽可能短。 .2.4如三种占用状态之一时，在多个采样点实施采样，某特定采样位置的单个采样结果异常的 在该位置进行更多采样以检查问题，并确定该位置是否符合用户要求。在需要纳米尺度粒子浓度 生的信息时，按供方和需方商定的时间间隔在所选择的位置进行3次或更多的测量

A.6每个采样点粒子平均浓度的记录

《全国民用建筑工程设计技术措施 建筑产品先用技术（建筑·装修）（第二部分）》1.6.1接对应于用户技术要求的每

位置i上的平均粒子数量，可代表任何位置： i.1 +*+i." 每个样本的粒子数量； 71 位置i上的总样本数量。 .6.3按公式（A.2)计算每立方米的浓度值C；。

C,=x;X1000/V .(A.2

15.122021/ISO14644

式中： ：———位置讠上的平均粒子数量，可代表任何位置； V. 单个样本采样量，单位为升（L)

若每个采样位置上测得的、以每立方米粒子数量表示的平均粒子浓度，未超过需方设定的或供方 商定的浓度限值，则认为洁净区符合规定的监测要求

DLT 838-2017 燃煤火力发电企业设备检修导则附录B （资料性） 粒子计数效率和分割粒径