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SJ／T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范.pdf简介：

SJ/T 11763-2020《半导体制造设备人机界面规范》是中国半导体行业协会和国家标准化管理委员会联合制定的一份技术标准。这份标准主要针对半导体制造过程中使用的设备，对人机界面（Human-Machine Interface, HMI）的设计、功能、操作、显示和交互等方面提出了详细的要求和规范。

其主要内容可能包括：

1. 界面设计：规定了HMI的布局、颜色、字体、图标等视觉元素的设计原则，以确保操作人员易于理解和使用。

2. 操作流程：明确了设备操作的步骤和流程，包括启动、停止、调整参数等，以保证设备操作的标准化和安全性。

3. 信息显示：规定了设备运行状态、报警信息、故障提示等的显示方式，以帮助操作人员实时监控设备运行情况。

4. 用户交互：要求HMI设计应考虑到用户习惯，提供直观、便捷的交互方式，如触摸屏、语音控制等。

5. 安全防护：强调了HMI在防止操作失误、保护操作人员安全方面的重要性，如设置安全锁定机制、操作权限管理等。

6. 可维护性：HMI应易于维护和升级，提供详细的用户手册和技术支持。

总的来说，这个规范旨在提高半导体制造设备的人机交互效率，降低操作风险，提升生产效率和设备的使用寿命。

SJ／T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范.pdf部分内容预览：

本章内容均以下列标签进行标记： 【描述】一一提供背景信息以及为随后的规定设置上下文； 【应执行的要求】—应具备并且符合本标准规定的要求； 【有条件的要求】当设备具有某项功能时，应符合本标准相应规定的要求；

3. 2 基本显示对象

2017版一级建造师建设工程项目管理讲习宝典3.2.1通则【描述】

3.2.1.1本条规定用户界面中基本显示对象的整体外观和行为。这些基本显示对象包括按钮、突出显 示区和对话框，其他类型的显示对象（选择列表、数据显示和数据输入区域、滚动条等）也可使用。 3.2.1.2显示对象分为两种类型：可选择性显示对象和不可选择性显示对象。可选择性显示对象可被 用户触发或执行某一动作。不可选择的图形或用户界面元素（如管道和文本标签）仅能被读取，无法触 发或执行某一动作。

3.2.2.1按钮大小【应执行的要求】

设备，按钮尺寸应确保目标按钮能够被方便、准确

3.2.2.2按钮尺寸【建议】

按钮的最短边长应大于1.5cm。当尺寸更小时，按钮之间的间距应加大，以避免造成选择错误。当 安装装置中的键盘、鼠标、光笔或其他点击输入设备可用时，在导航面板和命令面板中的按钮尺寸可以 销小一些（大约1cm～1.25cm），以便信息面板的尺寸可以适当增大。

3.2.2.3按钮行为【应执行的要求】

.2.2.3.1一种按钮行为是瞬间的，用户对按钮的选择导致按钮呈现短暂的按下状态（被选择），紧 妾着立即呈现弹起状态（不被选择）。另一种按钮行为是双态模式，即当用户选择按钮后，按钮保持在 安下状态。当用户再次选择该按钮，或选择另一按钮时，按钮恢复弹起状态。在某些情况下，软件自身 子控制按下状态或恢复弹起状态，而无需用户交互。 .2.2.3.2对于二维按钮，按下状态应呈现出阴影、十字阴影或其他不妨碍按钮标识的状态。

3.2.2.4按钮文本【应执行的要求】

结尾时除外；当单词的习 贯用法不是大写时除外。按钮中的标 更重要的按钮。

3.2.2.5图形化按钮【应执行的要求】

应能反映出按钮的功能描述，图形和文字不应互相

3.2.3突出显示区【有条件的要求】

3.2.4对话框【描述】

3.2.4.1对话框是辅助窗

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3.3.3带有子导航的导航模型

图5基本导航模型示意图

图6导航模型制表符子导航示意图

图7导航模型 按钮子导航示意图

3.3.4显示布局【描述】

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量示布局的设计位便 史用键盘或是其他点击设备米捕助输人。 过将屏幕分成不同的矩形面板，可提供信息显示和输入，这些信息是作业人员在工艺管理和控制、设备 维护和维修以及其他相关工作过程中需要完成的

3.3.5基本布局应执行的要求）

增强型布局（见3.3.6）

3.3.5.2所有面板应边邻着边平铺构成视图窗口，在本标准中仅指定面板的相对位置。面板的可视化 边框可以显示，也可以不显示。对于主界面（通常位于设备的前端，但不一定总位于设备的前端)，应隐 藏或关闭具有改变窗口大小、关闭窗口或是定位功能的窗口外边框，以避免用户由于误操作而“丢失 窗口，“丢失”窗口可能导致危险状况的发生。必要时，只有具有足够权限的登录用户可以改变主窗口 大小，但不能最小化或是关闭主窗口。二级界面（例如，显示在维护模式的窗口，或是显示在远程网点 的窗口）可以示并启用外窗口边框

3.3.6增强型布局【建议】

图9增强型布局命令面板左右定位

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3.3.7标题面板【描述】

3.3.7.1标题面板位于信息面板和命令面板界面的最上方的水平区域，标题面板应保持始终显示并且 包含主机通讯状态（如果支持主机通讯）、日期/时间、登陆/注销按钮（如果支持权限控制）、消息显 示区域以及当前视图的名称。标题面板也可以包含公司标识或徽标、关键参数、可视的警铃静音按钮、 定向图形、信号塔以及其他确保有效操作的显示项。

3.3.8标题面板基本信息

图10是带有强制性显示对象的标题面板。标题面板顶部的左侧为日期/时间，其右侧为当前视图的 名称，信息区域位于顶部的下方，其相对位置是固定的。

3.3.9.2标题面板登录/注销按钮 【有条件的要求】

3.3.9.2标题面板登录/注销按钮

用户登陆前，登陆/注销按钮的标签应是“登录”；在用户登录后，此按钮应一直显示登录的用户 名直至该用户注销。用户点击“登陆/注销”按钮应弹出一个对话框供用户输入用户名和密码；已经登 录后，点击此按钮将会注销。需要时，点击弹出登录对话框后，界面上包括导航面板在内的所有其他功 能将被禁用。

3.3.10带有附加信息的标题面板【建议】

12是一个包含推荐显示对象及其相对位置的标题面

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3.3.10.1标题面板的报警按钮【建议】

图12带有附加信息的标题面板示意图

3.4.1导航按钮应有一个文本标识符，此外，它也可以带有 时，按钮的标识符应居中。如果有图标，标识符应在图标下并居中。导航按钮应沿导航面板底部水平排 列，并总是处于可见状态。

3.4.2要求的导航面板功能【应执行的要求】

航面板，用户应该总能具有能够访问确保设备安全运行的界面的权限。只有当受到操作系统或者其他工 具的限制时，比如一个对话框不能在导航之后重新显示或维护，可以通过显示另一个对话框来完成，这 个新的对话框应完全覆盖前一个对话框。当新的对话框被撤消后，原来的对话框会重新显示，并与之前 的状态相同（即在给定的限制内，不强制采用导航面板提供访问）。立即访问意味着用户在执行需要的 访问时，不需要释放或者交互当前对话框而直接可以进行导航访问。当用户导航返回或者从其他访问返 回时，之前选择的视窗连同所有的对话框都以原来的状态显示出来。如果没有对话框，则显示上一次选 择的视图。 3.4.2.2在登录或注销时，所需的登录/注销的对话框或者操作界面例外

3.4.3有条件的导航功能【有条件的要求】

3.4.3.1即使对话框显示在当前视窗，导航面板对于用户来说也应直可用，除非操作系统禁止或者 是执行限制。这使得用户从用户界面直接或立即访问任何功能区域成为可能。直接访问意味着用户在执 行需要的访问时，不需要解除或与任何对话框进行交互。当用户导航返回至一个功能区时，最后一次选 择的视窗连同所有的对话框应以原来的状态显示。 3.4.3.2在登录或注销时，所需的登录/注销的对话框或者操作界面例外。

3.4.4导航面板布局【应热行的要求】

3.4.4.1如图13所示，导航面板中应有三个“预留”按钮，这三个按钮可以根据界面的特殊需要进行 替换，或者在软件版本更新或增强时使用。导航面板的按钮应不超过10个。 3.4.4.2导航面板的按钮应按照使用频率从左至右依次递减的顺序排列。使用频率最高的导航按钮应 置于导航面板的最左边，使用频率最低的按钮应置于最右边。 3.4.4.3主界面设计应简洁，各项功能不累赞重复。软件设计保护，保证任何误操作都不会对个人造 成伤害，对设备造成损坏。

3.4.5导航面板报警和帮助按钮

导航面板报警和帮助按钮 【有条件的要求】

图13导航面板示意图

报警按钮和帮助按钮的位置不遵循上述按钮排列规则（3.4.4.2），应分别置于近邻右边和最右边 的位置。该位置可确保即使在界面更改或者增加新按钮时，报警按钮和帮助按钮的位置也不会改变。报 警按钮与两侧按钮的间隔应该比一般间隔稍大，以便于准确迅速地选择。

3.4.7.1在同一时间应只有一个导航按钮显示为按下状态。导航按钮可根据不同用途以不同的颜色突 出显示： a） b） 表示功能区域有未完成的、未在当前显示的任务（典型的如打开的对话框）（蓝色突出显示）， 通知用户存在新的或未确认的“警告”和“警示”（分别用深黄色突出显示或是深红色突出显 示）。警告和警示突出显示仅在警示导航按钮上显示。例如，如果用户在任务功能区域已经打 开一个对话框，然后选择配方导航按钮，那么配方导航按钮就会呈现为按下（向下）状态并以 蓝色突出显示，任务导航按钮则显示为弹起（向上)状态并以蓝色突出显示（见图14)，以提醒 用户在任务功能区域有一个打开的对话框。可以有多个导航按钮显示为未完成任务的状态。 3.4.7.2按钮也可显示绿色以通知用户设备“准备加载”、“准备卸载”、“准备运行”或者其他类 似的状态以提醒用户至任务功能区域。当用户导航至界面其他功能区域时这是非常有效的。如果存在尚 未完成的任务，即使用户已经注意到也会持续以蓝色突出显示。

图14导航按钮突出显示示意图

图15警告突出显示示意图

3.4.8子导航【有条件的要求】

子导航【7层】2000平米七层框架住宅施工组织设计及工程量清单（含建筑、结构图，平面图，网络图），在子导航面板上应排列成一行选项卡或控

3.4.8.2子导航布局设计A—选项卡

图16警报突出显示示意图

图17是两种采用选项卡的子导航设计（命令面板在右手边或左手边）。该设计在同一功能区域需要 察看多个窗口的情况下是有优势的。用户选择一个选项卡，选项卡即出现在前面，并显示其信息和命令 面板，并允许用户访问其显示对象。在使用每一个功能区域选项卡时，应与整个界面保持一致，即使在 某一功能区内只有一个视窗，也即只有一个选项卡。

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,4.8.3. 2 的按钮数辽2015J401 平屋面，并且减少或者消除了对多列按 安钮会改变信息面板的长宽比。如果一个信息 面板和其他面板的长宽比不同，当导航和转换信息面板时，面板内容可能出现“跳”至一侧的情况。把 子导航从命令分离实现了两个重要目的： a）用户不必在从命令中分辨子导航而迷惑。 b在所有的功能区域内的视窗在信息面板上长宽比保持一致