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GB／T 28855-2012 硅基压力传感器.pdf简介：

"GB/T 28855-2012 硅基压力传感器"是中国国家标准，全称为《硅基压力传感器技术规范》。此标准主要规定了硅基压力传感器的设计、制造、检验、测试和性能指标的要求。硅基压力传感器通常指的是使用硅材料作为敏感元件，用于测量气体、液体或固体介质的压力，其特点是精度高、稳定性好、抗腐蚀性较强。

该标准涵盖了压力传感器的尺寸、结构、材料选择、制造工艺、检测方法、性能参数（如测量范围、精度、稳定性、线性度等）以及包装和标志等方面，旨在确保产品的质量和一致性，以便于在工业、科研、航空航天等领域的广泛应用。

发布日期为2012年，这意味着自那时起，所有在中国生产或销售的硅基压力传感器都必须符合这个标准，以符合国家的技术要求。

GB／T 28855-2012 硅基压力传感器.pdf部分内容预览：

传感器不合有源器件时，直接测量其输出端的阻抗，结果应符合*.3.2的规

GB/T28855—2012

专感器包含有源器件时，可采用以下方法： 保持输人的压力值不变GB∕T 3*025-2017 施工升降机用齿轮渐进式防坠安全器，分别测量压力传感器在输出开路和并联R，负载下的输出电压， 2)计算。结果应符合 *.3. 2 的规定。

输出阻抗值，单位为千欧(kQ)； YkL——输出端开路时的输出电压，单位为伏(V)； YL—带RL负载时的输出电压，单位为伏(V)； 并联负裁电阻，单位为于欧（kQ2）：推荐使用10kQ电阻。

Z.*. 3 绝缘电阻

在被测传感器不施加激励电源的条件下，用绝缘电阻测试仪或相应仪表，给传感器施加产品技术条 件（详细规范）规定的直流电压，测量传感器引出线（应与外壳无连接）与壳体之间的绝缘电阻，结果应符 合*.3.3的规定。

在被测传感器不施加激励电源的条件下，用绝缘强度测试仪在传感器引出线与壳体之间，施加产品 技术条件（详细规范）规定的交流电压，持续时间为1min或按详细规范的规定，应无击穿和飞弧现象， 结果应符合*.3.*的规定。

传感器在符合7.2规定条件下，给传感器施加不少于3次的满量程压力预压，使被测传感器压力升 到测量上限值，待压力稳定后降压至测量下限值。然后在传感器测量上、下限的全量程范围内选择均匀 分布的5个～11个试验点，测量与输人压力点对应的传感器输出，并且重复三次或三次以上的升、降压 循环。 通过上还试验获得的数据，按附录A的计算方法可确定下列静态性能指标

7. 5. 2琴点输出

对绝压传感器，应在输人绝对真空压力时测量传感器的输出值。也可输人不大于10Pa的绝对压 力代替真空，但实际输入的压力应不大于传感器测量允许基本误差绝对值的1/5。否则，应对输出值进 行修正，按公式（3）计算零点输出，结果应符合*、*.1的规定

Y。一 零点输出，单位为伏（V）； Y。一一输人绝对压力不大于10Pa时的输出值，单位为伏（V)； b一一校准特性曲线的端点连线的斜率，单位为伏/帕（V/Pa)； 输人的绝对压力值，单位为帕（Pa）。 对差压传感器，在高压端和低压端同时通大气时，测量传感器的输出值，结果应符合*.*.1的规定。

零点输出，单位为伏（V)； 输人绝对压力不大于10Pa时的输出值，单位为伏（V）； 校准特性曲线的端点连线的斜率，单位为伏/帕（V/Pa)； 输人的绝对压力值，单位为帕(Pa）。 差压传感器，在高压端和低压端同时通大气时，测量传感器的输出值，结果应符合*.*.1的规

定计算，结果应符合*.*.2的规定，

7.5.*灵敏度输出对称性

在传感器双测量结构的两端，如差压传感器的高压端和低压端分别测试灵敏度输出，或者使用单组 件结构进行正反两个方向压力测量时，分别测量传感器的正压段和负压段灵敏度输出，按公式（*)进行 计算，结果应符合*.*.3的规定，

FS(n) 式中： pd 灵敏度输出对称性； Yrs(h) 高压端(或量程正压段)灵敏度输出值； Yes(I) 低压端(或量程负压段)灵敏度输出值

式中： pd 灵敏度输出对称性； Yrs(h) 高压端(或量程正压段)灵敏度输出值； Yrs(I) 低压端（或量程负压段）灵敏度输出值

胺附录A.*的规定计算传感器非线性结果应符合*.*.*的规

按GB/T18*59—2001中3.9规定计算传感器符合度，当参比曲线为刻度方程时，按附 算符合度，结果应符合*.*.5的规定。

录A5的规定计算传感器的迟滞，结果应符合

胺按附录A.*的规定计算传感器的重复性，结果应符合**.7的规守

7. *. 1 零点漂移

按产品技术条件（弹细规范）规定的条件，在不加载荷的条件下，每隔1h记录一次传感器的零点输 出，试验时间从*.5.1中选取，按附录A.8的规定计算零点漂移结果应符合*.5.1的规定

7.*.2零点长期稳定性

按产品技术条件（详细规范）的规定的条件，对传感器施加电压激励，每天通电不少于2h，在规定 时间周期内均匀选取不少于5个间隔点，每个间隔点进行一次8h的试验，试验前应恒温通电1h，记录 间隔为1h，试验期间工作温度应保持在20℃士2℃。按附录A.9的规定，计算传感器零点长期稳定 性，结果应符合*.5.2的规定。

“品技木条件（详细规范）规定的条件，在规定时间周期内均匀选取不少于5个间隔点，按规定 隔记录传感器的满量程输出，按附录A.10的规定，计算规定时间内满量程输出的最大差值相

满量程输出的百分比，结果应符合*.5.3的规完

将传感器放入高、低温试验箱，分别在室温、补偿温度范围下限温度、补偿温度范围上限温度各恒温 产品技术条件（详细规范）规定的时间，记录各温度点的零点输出值，按附录A.11的规定，计算热零点 漂移，结果应符合*.*.1的规定

7.7.2热满量程输出漂移

将传感器放人高、低温试验箱，分别在室温、补偿温度范围下限温度、补偿温度范围上限温 产品技术条件（详细规范）规定的时间，记录各温度点的满量程输出值，按附录A.12的规定 量程输出漂移，结果应符合*.*.2的规定。

在试验的大气条件下，按产品技术条件（详细规范）规定施加过载负荷，保持时间不少于1min，然 后卸载至零负荷，重复3次，恢复5min，然后按产品技术条件（详细规范）规定的检验项目进行检测，结 果应符合*.7的规定。 当单组件传感器用于双向压力测量时，应对传感器的负向和正 注注得热设

7.9. 1 双向静压

7.9.1最大静压（静压）

7.9.1.2零点静压误差

对差压传感器的高压端和低压端都通大气，测量传感器的输出值。 将产品技术条件（详细规范）规定的静压压力源，同时施加到传感器高压端和低压端，保持5min 测量传感器的输出值。零点静压影响按公式(5)计算，结果应符合*.8.1.2的规定

式中： po 零点静压影响； Y。（p）施加静压时的零点输出值； Y。 一一试验前无静压时的零点输出值 Yrs 一静态校准的满量程输出值

po 零点静压影响； Y。（p）施加静压时的零点输出值； Y。 一一试验前无静压时的零点输出值； Yrs 一静态校准的满量程输出值

7.9.1.3量程静压误差

量程静压误差是指在给定静压下，量程输出变化量相对于满量程输出值的百分比。试验 感器的测量范围下限输出值和测量范围上限输出值，其差值为满量程输出值。对传感器两端

GB/T288552012

的测量范围下限压力和测量范围上限压力，其差值为最大静压压力影响下的满量程输出值。满量程静 压影响按公式（*）计算。 对传感器两端同时施加产品技术条件（详细规范）规定的50%的静压压力，保持5min。在此基础 上在传感器高压端分别施加传感器的测量范围下限压力和测量范围上限压力，其差值为50%静压压力 影响下的满量程输出值。满量程静压影响按公式（*）计算。 取两种静压压力对应的计算结果的最大值，结果应符合*.8.1.3的规定，

对差压传感器高压端施加产品技术条件（详细规范）规定的止向静压压力，保持5min。卸载 10min后，按7.5.2的规定，进行零点输出试验。结果应符合*.8.2的规定。 再对低压端施加产品技术条件（详细规范）规定的负向静压压力，保持5min。卸载10min后，按 7.5.2的规定，进行零点输出试验。结果应符合*.8.2的规定。

7. 10. 1 试验方法

7. 10. 1. 1瞬态激励法

将传感器与激波管或快速开后 负压传感器用爆破膜片发生器产生一个负的阶跌压 力信号，以上阶跃压力的上升时间应是传 被预测的上升时间的三分之一或更短。当激励装置产生 一个阶跃压力信号时，用瞬态记录仪器记录传感器的响应波形

7.10.1.2正弦激励法

对于5kHz以下的频率，10MPa以下的峰值动态压力，可用正弦压力发生器直接测得传感器的频 率响应，如果传感器本身的谐振频率在正弦压力发生器的频率范围之内，还可得到压力传感器的谐振频 率、阻尼比和响应时间等。采用正弦激励法时，一般采用相对比较法进行测试，即在正弦压力发生器上 安装标准传感器，其动态性能指标要高于被测压力传感器动态性能指标的5倍～10倍。 激波管动态压力试验方法，正弦压力校准检定方法的详细操作按JJG*2*一2005的规定。 通过上述试验方法，可确定下列动态性能

在规定的被测量频率范围内，对加在传感器上的正弦变化的测量来说，输出量与被测量幅值之比及 输出量和被测量之间相位差随频率的变化为频率响应。结果应符合*.9.1的规定，

7. 10.3 谱振频率

在产品技术条件（详细规范）规定的压力下，被测传感器具有最大输出幅值时的频率为该 谐振频率。结果应符合*.9.2的规定。

7.10.*自振（振铃）频率

7. 10. 5阻尼比

实际阻尼系数与临界阻尼所对应的阻尼系数之比为阻尼比。当传感器的动态特性可以迁 由度二阶线性系统时，按JJG*2*一2005中7.3.*.3和附录A规定方法计算出阻尼比，结 *.9.*的规定。

《防火门监控器 GB 293**-2012》7. 10.*上升时间

由于被测量（压力）的阶跃变化，传感器输出从稳定值的10%上升到稳定值的90%持续

7. 10.7 时间常数

于被测量（压力)的阶跃变化，传感器输出上升到最终值的*3%时所需要的持续时间为时 桔果应符合*.9.*的规定，

7. 10. 8 过冲量

工程造价与工程造价管理7. 11. 1 低温试验