标准规范下载简介

GB／T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁.pdf简介：

GB/T 25915.13-2022是中国国家标准，全称为《洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁简介》。这项标准主要针对的是在洁净室和受控环境中，对于表面清洁度的要求和指导。

洁净室是需要维持极低粒子和微生物污染水平的特殊环境，如制药、电子、半导体等行业的生产场所。对于这些环境，表面清洁度是非常关键的，因为它会直接影响到产品的质量、生产过程的稳定性和设备的使用寿命。GB/T 25915.13-2022规定了以下几点：

1. 不同级别的洁净室（如Class 100, 10, 1等）对表面粒子和污染物的允许浓度有严格的标准。 2. 表面清洁程序，包括清洁剂的选择、清洁方法（如擦拭、洗涤、蒸汽清洁等）、清洁工具的使用和存储等。 3. 清洁后的验证方法，如粒子计数器检测、化学污染物测试等。 4. 储存和运输洁净表面的注意事项，以防止重新污染。

遵循此标准，可以确保洁净室环境中工作的人员和设备的表面达到预期的洁净度，防止污染物引入，保证产品质量和生产效率。

GB／T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁.pdf部分内容预览：

原理：使用砂轮或高速砂带去除表面污染。打磨可以有效地去除鳞屑、氧化物、锈迹、涂层、油漆等 强黏附污染物。应注意，打磨时，基材也会或多或少受到磨损。 应用：砂轮是用黏接材料将碳化硅、金刚石等硬质砂粒黏接成的，砂粒和黏接材料的选择至关重要。

B.3.1洗涤、漂洗、干燥

WW／T 0049-2014标准下载B.3.1洗涤、漂洗、干燥

原理：借助液体的清洁通常包括：洗涤、漂洗、干燥。洗涤指的是去除物体表面已分离和被乳化的污 14

染物，以及溶剂清洁剂本身的活性成分（例如：物体表面上的表面活性剂和乳化剂)，此举可防止洗涤污 染物转移到下一个清洁步骤或在随后的冲洗或干燥中造成的再次污染。 漂洗的作用是去除洗涤过程中不需要的残留物。 干燥通常是最后一步。干燥去除前道工序残留的清洁介质。干燥无法清除前道工序的污染物。 应用：漂洗主要用于提高液体清洁后的洁净度。

B.3.2压缩气体吹扫

原理：经过喷嘴的高速气流喷吹物体以清洁表面。气体射流对粒子施以空气动力学的力。当颗粒 所受空气动力学的力克服了颗粒和表面的黏附力，颗粒就会脱离，并被气流带走。特别地，这项技术可 以有效去除干燥、黏附松散的污染物，如灰尘。用高速气体射流去除微米级颗粒效果欠佳。悬浮在气体 中的颗粒物可能会沉降到其他位置。 应用：仅涉及干燥污染物时，对大于5微米的颗粒具有良好的清洁效果。当使用文丘里喷嘴等高压 吹扫时，可以部分去除液体或糊状污染物

原理：吸尘口放在待清洁表面的上方，风机产生负压，抽力使气流离开物体表面。颗粒污染物受到 空气拖拽力。若拖拽力大于颗粒物与表面间的黏附力，则颗粒物从表面脱离并被气流带走。吸尘特别 适用于去除灰尘等干燥污染物。这项技术不适合用于去除微米级颗粒物。 应用：吸尘用于受控环境和难以触及的区域。

B.3.4.1超声波清洗

原理：超声波清洁时，待清洁物体悬浮在充满合适清洁液的浴槽中。振荡壁面上的超声波纵向传给 清洗槽中清洁液。内爆空化气泡产生约10*Pa高压，使表面污染物振落，然后溶解或分散在清洁液中 清洁后，表面需要冲洗和干燥。 超声波对难以清洁的内表面也很有效。 应用：超声波清洁可以在很短的时间内获得极高的清洁效果，甚至可以对形状复杂的物体、缝隙和 孔洞进行清洁。一般说来，超声波清洁是一种温和的清洁技术，它可以清洁易损敏感的表面而不产生 破坏。

B.3.4.2兆声清洗

原理：兆声清洗也属于声波清洗。兆声（800kHz~2000kHz)的频率比超声波（20kHz~500kHz)高 因此产生的气泡少，对清洁表面造成的损伤也少。清洗液中声波产生压力变化消除表面污染。只有面 向传感器的对象表面才能被清洁。 应用：医疗植入物、平板和芯片制造或工业零件清洗。

原理：高压使清洗液进人清洗环境（腔室)。加入水中的清洁剂有很多种。这种清洁的特点是： 具有高冲击力、工作介质始终为新介质。在喷淋清洁器中，移动待清洁对象物体或移动喷嘴，从而 寸象的所有表面。 应用：喷淋清洗用途广泛。

携带强力吹扫的介质分为：气体、液体。 强力吹扫清洁只适用于坚固的表面。

B.4.2.1压缩空气吹扫

原理：压缩空气中携带各种工质，工质以匀速或波动速度到达待清扫表面，进行表面清洁。这种方 法用途广泛，可去除污染物、残屑、腐蚀、鳞屑（与上面一致)、油漆。强力吹扫工质传递的高动能冲击可 能伤害表面。 应用：适用于清洁各种尺寸和类型的部件和结构，只能清洁与强力吹扫介质直接接触的区域。

B.4.2.2湿压缩空气吹扫

原理：此方法与压缩空气强力吹扫类似，区别是，强力喷射流中包含水和工质。 应用：适用于清洁各种尺寸和形状的表面和结构。强力吹扫后的表面覆有浆液，清洁完工前，要用 空气射流或清水射流去除泥浆。

GBT 28043-2019利用实验室间比对进行能力验证的统计方法B.4.2.3颗粒干冰清洁

原理：一80C左右的颗粒干冰(粒度在毫米级)被加速至接近音速（300m/s)。表面的快速冷却导 致表皮脆化。CO2升华时，易于清除表面附着的污染物。对表面的磨损比加压流体强力吹扫小。 应用：几乎适用于所有材料。由于该方法具有研磨特性，某些“软”表面可能会肉眼可见地变粗糙。

B.4.2.4加速CO雪清洁

原理：加速CO2雪清洁是一个干燥且无溶剂的过程。随着二氧化碳迅速膨胀，从液态CO2变成固 态CO2（干冰）和气态CO2的混合物。干冰喷吹到待清洁表面，纯氮气加速了清洁过程。CO2雪清洁是 颗粒干冰清洁的改进。在对表面的磨损方面，CO2雪清洁比颗粒干冰清洁更小。 应用：CO2雪清洁用途广泛，从精准清洁到大面积清洁。它可以用于高敏感的表面，不仅可以清除 颗粒污染物，也可以清除油膜、油脂、指纹、焊剂残留。

B.4.3液体强力吹扫

B.4.3.1高压液体强力吹扫

原理：高压液体经喷嘴射向待清洁表面。可在液体中掺人固体强力吹扫材料，以提高磨蚀效果。理 想情况下，甚至可以清除单层涂层。冲洗后的表面覆有浆液，完工前，要用空气射流或清水射流去除 泥浆。 应用：适用于所有尺寸和形状的清洁表面和结构；仅与冲击介质直接接触到的区域才会被有效 清洁。

B.4.3.2含低压水强力吹扫

原理：类似于压缩空气强力吹扫T∕CECS G：D85-05-2019 公路用轴组式称重系统技术规程，喷嘴前的空气中混人很少量的水。不同于纯压缩空气强力吹扫 用这种方法清洁的表面是湿的。