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DL／T 2310-2021 电力系统高压功率器件用碳化硅外延片使用条件.pdf简介：

DL/T 2310-2021 是中国电力行业标准，标题为《电力系统高压功率器件用碳化硅外延片》，它主要规定了碳化硅（SiC）外延片在电力系统高压功率器件中的应用条件。以下是简介：

1. 环境条件：碳化硅外延片应能在各种环境下稳定运行，包括但不限于高温、低温、湿度、尘埃等，应具有良好的抗电磁干扰和抗辐射能力。

2. 电气特性：外延片应具备高的电导率、低的电阻率和良好的热导率，以确保在高压、大电流下的良好性能。同时，它需要具有良好的绝缘性能和机械强度。

3. 功率密度：由于是高压应用，外延片需要有高的功率密度，能承受大功率的负荷。

4. 稳定性：需要长期稳定运行，无明显的热、电性能退化。

5. 可靠性：应有较高的可靠性，包括抗过电压、过电流、过热等保护能力，以及耐磨损、耐腐蚀等机械性能。

6. 一致性：批量生产的外延片在性能上应具有良好的一致性，以保证在电力系统中的整体性能。

7. 制造工艺：外延片的制备工艺应符合标准，以保证产品质量和一致性。

8. 安全规范：在安装、使用和维护过程中，应遵循相关的安全操作规程，确保人身和设备安全。

总之，DL/T 2310-2021 是为了规范和指导电力系统中碳化硅外延片的选型、使用、安装和维护，确保其在高压功率器件中的高效、安全运行。

DL／T 2310-2021 电力系统高压功率器件用碳化硅外延片使用条件.pdf部分内容预览：

DL/T23102021

引用文件 定义· 求· 法 标志、运输、储存

范围· 规范性引用文件 术语和定义· 技术要求 测试方法 包装、标志、运输、储存

DL/T23102021

本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规 定起草。 请注意本标准的某些内容可能涉及专利。本标准的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件规定了电力系统高压功率器件用碳化硅外延产品的各项技术指标。 本文件由中国电力企业联合会提出并解释。 本文件由中国电力企业联合会电力系统用电力电子器件标准化技术委员会（CEC/TC08）归口。 本文件起草单位：全球能源互联网研究院有限公司、芜湖启迪半导体有限公司、中国电子科技集 团公司第五十五研究所、东莞市天域半导体科技有限公司、瀚天天成电子科技（厦门）有限公司、国 网经济技术研究院有限公司、国网浙江省电力公司。 本文件主要起草人：钮应喜、杨霏、李赞、张新河、冯途、孙国胜、陈志霞、王翼、石岩、 杨勇。 本文件为首次发布。 本文件在执行过程中的意见或建议反馈至中国电力企业联合会标准化管理中心（北京市白广路二 条一号《光通量的测量方法 GB/T 26178-2010》，100761）。

DL/T23102021

压功率器件用碳化硅外延片使月

本文件规定了电力系统高压功率器件用碳化硅外延材料的各项技术指标。 本文件适用于高电压功率器件应用的碳化硅外延材料，适用于电力系统高压功率器件应用的，直 径为100mm和150mm的碳化硅外延材料

DL/T23102021

本文件规定外延片的直径尺寸可分为100mm和150mm，直径尺寸应符合GB/T3065 30866的规定。

外延片按导电类型可分为n型和p型。

电阻率、翘曲度、厚度、弯曲度、微管密度应符

4.5.1外延层厚度及其允许偏差应符合表2

外延层厚度及其允许偏差应符合表2的规定。

表2外延层厚度及其允许偏差

DL/T23102021

DL/T23102021

4.5.2外延层厚度最大相对标准偏差 计算，且应符合表3的规定

表3外延层厚度最大相对标准偏差

4.6.1n型外延层掺杂元素为氮，p型外延层掺杂元素为铝。 4.6.2外延层掺杂浓度允许偏差应符合表4的规定。

4.6.1n型外延层掺杂元素为氮，p型外延层掺杂元素为铝。

表4外延层掺杂浓度允许偏差

DL/T23102021

DL/T2310202

表5外延层掺杂浓度最大相对标准偏差

表6外延片表面缺陷极限值

4.8外延片表面粗糙度

外延片表面粗糙度应符合表7的规定。

表7外延片表面粗糙度

4.9n型外延片原生少子寿命

n型外延片原生少子寿命应符合如表8的规定。

DL/T2310—2021

DL/T23102021

表8n型外延片原生少子寿命

4.10外延片翘曲、弯曲度、总厚度变化

外延片翘曲、弯曲度、总厚度变化应符合表9的

对各种金属离子污染浓度的限制要求见表10

特殊规定，应由供需双方

DL/T23102021

5.5外延片表面粗糙度测试应采用原子力显微镜方法进行，或由供需双方商定。 5.6外延片少子寿命测试应采用微波反射光电导衰减法进行，或由供需双方商定。 5.7外延片翘曲度、弯曲度、总厚度变化的测试应符合GB/T32278的规定。 5.8外延片金属污染测试应采用全反射X光荧光光谱法进行，或由供需双方商定。 6 包装、标志、运输、储存

5.5外延片表面粗糙度测试应采用原子力显微镜方法进行，或由供需双方商定。 5.6外延片少子寿命测试应采用微波反射光电导衰减法进行，或由供需双方商定。 5.7外延片翘曲度、弯曲度、总厚度变化的测试应符合GB/T32278的规定。 5.8外延片金属污染测试应采用全反射X光荧光光谱法进行【河北图集】J14J138：ISP钢丝网架珍珠岩夹芯板墙构造，或由供需双方商定。 6包装、标志、运输、储存

6包装、标志、运输、储存

6.1.1碳化硅外延片应在洁净室内装入专用的包装盒，外用洁净的塑料袋充氮气或真空封装。每个片 盒应贴有产品标签，标签内容应包括产品名称、规格、片数、批号等信息；或采用供需双方商定的包 装方法。

6.1.3每批次产品应附产品质量证明书，并应泪

a）供方名称； b）产品规格和名称； c）产品批号； d）产品数量； e）产品晶向； f）各项检验结果； g）采用标准编号； h）出厂日期。

2.1产品运输中应轻装轻卸、勿挤勿压，并有防

产品运输中应轻装轻卸、勿挤勿压GB／T 39483.2-2020 橡胶塑料注射成型机 接口 第2部分：数据交换接口.pdf，并有防振 产品应储存在洁净干燥的环境中。