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GB／T 20230-2022 磷化铟单晶.pdf简介：

GB/T 20230-2022 是中国国家标准中的一个技术标准，全称为《磷化铟（InP）单晶生长工艺及质量要求》，该标准主要针对磷化铟单晶的生产和制备过程设定了技术规范和质量控制标准。磷化铟（Indium Phosphide, InP）是一种重要的化合物半导体材料，常用于光电子学、微电子学和通信技术领域，如激光器、发光二极管（LED）、太阳能电池和光电探测器等。

InP单晶的生长通常采用先进的晶体生长技术，如分子束外延（MBE）或金属有机化学气相沉积（MOCVD）等。这个标准涵盖了单晶生长的工艺流程、设备要求、环境条件、生长参数控制、晶圆表面质量检查、物理和化学特性测试等方面，以确保生产的InP单晶具有高度的一致性、良好的电学性能和光学性能。

遵循GB/T 20230-2022，可以确保磷化铟单晶的质量可控，满足各种高端电子和光电子应用的需求。

GB／T 20230-2022 磷化铟单晶.pdf部分内容预览：

磷化铟单晶锭的牌号表示方法如下

表示晶向 表示导电类型，括号内用元素符号表示掺杂剂 表示磷化钢单晶锭 表示单晶的生长方法

示例： 长的n型掺硫、晶向为（100》的磷化钢单晶锭

4.2磷化钢单晶抛光片

金属线槽安装施工工艺标准磷化钢单晶抛光片的牌号表示方法如下

5.1磷化铟单晶锭特性

磷化钢单晶锭的电学性能应符合表1的规定。

磷化钢单晶锭的晶向为<100》

磷化钢单晶锭的位错密度应符合表2的规定，

磷化钢单晶锭的表面应无裂纹、无夹杂、无微孔

5.2.1电学性能、位错密度

磷化钢单晶抛光片的电学性能、位错密度应分别符合磷化钢单晶锭特性中5.1.1、5.1.3的要求 方提供对应磷化钢单晶锭的检验结果

5.2.2表面取向及基准标记

也光片的表面取向及基准标记应符合表3的规定

磷化钢单晶抛光片的几何参数应符合表4的规定。

磷化钢单晶抛光片正表面应无李晶、无划痕、无橘皮、无凹坑、无雾、无沾污、无崩边或裂纹等异常。

磷化钢单晶抛光片正表面的颗粒应符合表5的规定。

注：需方如对磷化铟单晶抛光片的表面颗粒有特殊要求，由供需双方协商确定

6.1.1.1磷化钢单晶锭导电类型的检测按GB/T4326的规定进行。 6.1.1.2n型、P型磷化钢单晶锭载流子浓度、迁移率以及n型磷化钢单晶锭电阻率的检测按GB/T4326 的规定进行。

钢单晶锭晶向的检测按GB/T1555的规定进行

磷化钢单晶锭位错密度的检测接附录A的规定进行，计数方式的选取由供需双方协商确定

6.2磷化铟单晶抛光片

6.2.1表面取向及基准标记

GB/T20230—2022

6.2.1.1磷化钢单晶抛光片表面取向的检测按GB/T1555的规定进行。 6.2.1.2磷化钢单晶抛光片主参考面取向及切口基准轴取向的检测按GB/T13388的规定进行 6.2.1.3磷化钢单晶抛光片副参考面取向的检测采用满足准确度要求的角度尺进行

6.2.2.1磷化钢单晶抛光片直径、主参考面长度、副参考面长度的检测用精度为0.02mm的量具进行 6.2.2.2磷化钢单晶抛光片厚度的检测按GB/T6618中规定的分立点式测量方法进行。 6.2.2.3磷化钢单晶抛光片切口尺寸的检测按GB/T26067的规定进行。 6.2.2.4磷化钢单晶抛光片总厚度变化、翘曲度、总指示读数的检测按GB/T32278的规定进行

6.2.2.1磷化钢单晶抛光片直径、主参考面长度、副参考面长度的检测用精度为0.02mm的量具进行

因单晶抛光片表面质量的检测按GB/T6624的规

磷化钢单晶抛光片表面颗粒的检测按GB/T199

7.1.1产品由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定， 7.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件及订货单的规定不符时， 应在收到产品之日起三个月内以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，应由供需双方 协商确定

7.2.1磷化钢单晶锭应成批提交验收。每批应由同一根磷化铟单晶锭组成。 7.2.2磷化铟单晶抛光片应成批提交验收。每批应由同一牌号，并可追溯生产条件的磷化钢单晶锭加 工的磷化钢单晶抛光片组成

7.3.1磷化钢单晶锭的检验项目及取样应符合表6的规定

表6磷化铟单晶锭的检验项目及取样

7.3.2磷化铟单晶抛光片的检验项目及取样应符合表7的规定

7.3.2磷化铟单晶抛光片的检验项目及取样应符合表7的规定。

表7磷化铟单晶抛光片的检验项目及取栏

7.4.1磷化钢单晶锭电学性能、晶向、位错密度的检验结果中有任意一项不合格时，允许对该磷化钢单 晶锭另取双倍数量的试样，对不合格的项目进行重复检验。若重复检验结果仍有任一试样不合格，则判 该根磷化钢单晶锭为不合格。 7.4.2磷化铟单晶锭的外观质量检验结果不合格时，判该根磷化钢单晶锭不合格。 7.4.3磷化钢单晶抛光片表面取向及基准标记、几何参数、表面质量及表面颗粒的检验结果接收质量 限应符合表7的规定，或由供需双方协商确定

8标志、包装、运输、贮存和随行文件

供方名称、商标； b) 产品名称； c) 产品规格； d) 产品数量； e) 出厂日期； f) “小心轻放”“防潮”“防腐”“易碎”标志或字样； g) 其他。

JGJ／T 231-2021 建筑施工承插型盘扣式钢管脚手架安全技术标准 附条文说明.pdfGB/T20230—2022

3.2.1磷化钢单晶锭装入洁净的塑料 袭内后，放入有凹槽的泡沫内，再置人包装箱内。 8.2.2磷化钢单晶抛光片装人洁净的包装片盒内进行单片包装，外用洁净的塑料袋及铝箔袋抽真空或 充入氮气密封包装，再置人包装箱内

产品应贮存在清洁、干燥的环境中

每批产品应附有随行文件，其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂日期或包装日期 外，还宜包括下列文件。 a）产品质量证明书，内容如下： ·供方名称； ·需方名称； · 合同号； ·产品名称、规格、牌号； 产品批号； ·产品数量； ·各项参数检验结果； ·技术监督部门印记和检验员盖章。 b）产品合格证DB11∕1343-2016 建筑内外墙涂料施工及验收规程，内容如下： ·检验项目及其结果； ·产品批号； ·检验日期； ·检验员签名或印章 产品质量控制过程中的检验报告及成品检验报告。 d 产品使用说明：正确搬运、使用、贮存方法等。 e）其他

需方可根据自身的需要，在订购本文件所列产品的订货单内，列出如下内容： a）产品名称； b）产品规格； c）产品数量； d）本文件编号； e）本文件中要求在订货单中注明的内容； f）适用的包装要求； g)其他。

附录A （规范性） 磷化铟单晶位错密 度的测试方法