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SN／T 3480.3-2016 进口电子电工行业成套设备检验技术要求 第3部分：平板显示器制造专用设备.pdf简介：
"SN/T 3480.3-2016"是中国国家质检总局发布的一项关于进口电子电工行业成套设备检验技术要求的国家标准，特别针对平板显示器制造专用设备。该标准的第三部分详细规定了这类设备在进口时的质量、性能、安全、环保等方面的技术要求，以确保进口的平板显示器制造专用设备符合国内的质量标准和使用要求。
这个标准可能包括的内容有：设备的精度和稳定性、材料和组件的质量、设备的能效和环保指标、安全操作规程、设备的兼容性和互操作性、以及设备的使用寿命和维护等。它旨在保护消费者和企业的利益，确保平板显示器制造过程中的设备性能稳定，产品质量可靠，同时也推动了行业的健康发展。
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SN/T3480.32016
SN/T3480.32016
SN/T3480《进口电子电工行业成套设备检验技术要求》共分为4个部分： 第1部分：印刷线路板表面贴装设备； 第2部分：电线电缆制造专用设备； 一第3部分：平板显示器制造专用设备； 一第4部分：半导体封装测试设备。 本部分为SN/T3480的第3部分。 本部分按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本部分由国家认证认可监督管理委员会提出并归口。 本部分起草单位：中华人民共和国厦门出人境检验检疫局、中华人民共和国江苏出人境检验检 疫局。 本部分主要起草人：颜伟民、钟碧菊、黄滢涵、姜克、游聚民、曾志峰、魏或展、陈靖源、蓝振毅、甘露 朱黄鑫。
4.2.2电气安全要求
4.2.2.1应符合SN/T37002013中4.2.3的要求。 4.2.2.2热处理设备金属炉壳的接地或接零保护装置应符合GB5959.1一2005中11的要求。 4.2.2.3 化学气相淀积（CVD)设备对地绝缘电阻应≥5MQ，电磁兼容性应符合GB/T17626.1的 要求。 4.2.2.4磁控溅射设备应有防止触电的保护设施，且应符合GB/T3797一2005中4.12.1.2的要求；介 电强度应符合GB/T3797—2005中4.8的要求；绝缘电阻应符合GB/T3797—2005中4.8的要求；应 有专用的铜缆接地装置；电控柜的安全接地保护应符合GB/T3797一2005中4.10.6的要求。 4.2.2.5曝光机的绝缘电阻≥2MQ；初级电路与机壳之间的耐压测试应能承受1500V交流电压，测 试时间1min[广东]8m高支模仓库专项安全施工方案，测试漏电流设定1.0mA，不得发生击穿和放电现象。 4.2.2.6晶片压着机和软性电路板压着机的接地电阻<5Q。
4.2.3安全防护装置、警示方式要求
3.1应符合SN/T3700—2013中4.2.4的要求。 3.2化学气相淀积（CVD)设备应具备温度偏差报警提示功能、流量偏差报警提示功能、反应 )压力异常报警提示及安全防护措施、停水报警及联锁措施、防止误操作的安全保护措施。
4.2.4非机械安全要求
4.2.4.1应符合SN/T3700—2013中4.2.5的要求， 4.2.4.2化学气相淀积（CVD)设备应具备超温报警及安全防护措施、断偶报警及安全防护措方
4.2.5物质和材料安全要求
4.2.5.1应符合SN/T3700—2013中4.2.6的要求。 4.2.5.2化学气相淀积（CVD)设备反应残余气体应使用强排风装置排出净化间，如果反应气体为有毒 有害等危险气体，或者反应生成物中包括粉尘、有毒有害等危险物质，则应加装报警和尾气处理装置。 反应气体断开时，安全保护气体（如N2）应畅通，冷却水应畅通。 4.2.5.3磁控溅射设备应设有水流报警装置。 4.2.5.4等离子清洗设备的真空系统、气路系统、反应仓和管路的密封性应良好。 4.2.5.5干刻机的真空系统中机械泵、扩散泵性能稳定、可靠、运行正常，无异常振动、噪音。真空管路 整齐、清洁，联接牢固可靠，密封性好，无泄漏。高温腔体必须有保护外罩。 4.2.5.6显影设备在进行显影、漂洗和烘干时，每道工序的基片周围均应有氮气保护设施；应具有氮气 欠压保护功能。当氮气压力低于设备的设定值时，设备应立刻报警，并停止工作。应具有真空保护功 能。当真空度压力高于设备设定值时，设备应立刻报警，并停止工作。显影、烘干处应设置防尘罩。 4.2.5.7特殊气体供应及管道系统和化学品供应及管道系统应符合《中华人民共和国特种设备安全法》 《特种设备安全监察条例》和GB/T20801的相关要求
4.2.6人类工效学要求
应符合SN/T3700一2013中4.2.7的要求，
4.2.7使用信息要求
应符合SN/T3700—2013中4.2.8的要求
合SN/T3700一2013中4.2.8的要求，
4.2.8其他相关要求
4.3.1应符合SN/T37002013中4.3的要求。 4.3.2废水应达三级排放标准：化学需氧量≤300mg/L，氟化物≤20mg/L，阴离子表面活性剂 <350mg/L，总磷≤3.0mg/L，氨氮≤35mg/L。 4.3.3废气应达二级排放：氟化物≤7mg/m²，二氧化硫≤440mg/m²，氯化氢≤80mg/m²，非甲烷总 经≤100mg/m，氮氧化物≤1.5mg/m²。 4.3.4厂界噪声应达三级排放标准：叠间≤65dB(A)，夜间≤55dB(A)
4.4卫生健康项目要求
4.4.1应符合SN/T3700—2013中4.4的要求。
4.4.1应符合SN/T3700—2013中4.4的要求。 4.4.2化学气相淀积(CVD)设备作业场所噪声<70dB(A）
5.1检验项目分为重点检验项目和一般检验项目。重点检验项目应视作必检项目DB33∕T 1168-2019 装配式内装工程施工质量验收规范，一般检验项目可视 实际情况选择检验。 5.2平板显示器制造专用设备检验应按照表1规定的检验项目、检验依据和检验方法，在相应的检验 阶段实施检验
表1检验项目、检验依据和检验方法
注1：“A"装运前检验；"B"现场安装调试检验；"C"现场试运行检验 注2：“★"重点检验项目，“/”选择项。
液晶平板显示器主要制造专用设备中英文对照见表B.1
附录B （资料性附录） 液晶平板显示器主要制造专用设备
B.1液晶平板显示器主要制造专用设备中英文
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