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JJF(沪) 59-2018 微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范.pdf简介：

"JJF(沪) 59-2018 微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范.pdf" 是一份由上海市计量技术研究院发布的技术规范文档。该规范主要针对微纳米尺度台阶的高度（深度）测量进行校准，目的是为了确保这类精密测量设备的准确性和一致性。台阶高度（深度）在微纳米级别是非常重要的测量参数，广泛应用于纳米科技、材料科学、电子显微镜等领域。

该规范详细规定了校准的方法、步骤、要求和程序，包括校准设备的选择、校准环境条件、校准操作流程、校准结果的报告和记录等。它为微纳米台阶高度（深度）测量设备的校准提供了标准化的操作指南，有助于提高测量结果的可靠性，确保科研和工业生产中的精确度。

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微纳米台阶高度（深度）标准样板校准规范

本规范适用于高度在5nm到1000nm之间的微纳米台阶高度（深度）标准样板的 校准，对于高度不超过6000nm的台阶高度（深度） 照本规范执行。

GB/T3505一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语、定义及表 面结构参数 GB/T10610一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构 的规则和方法 GB/T19067.1一2003产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第 1部分：实物测量标准 GB/T19067.2一2004产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准 第2部分：软件测量标准 注：凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件路桥施工计算手册， 其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。

GB/T3505一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法术语、定义及表 面结构参数 GB/T10610一2009产品几何技术规范（GPS）表面结构轮廓法评定表面结构 的规则和方法 GB/T19067.1一2003产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准第 1部分：实物测量标准 GB/T19067.2一2004产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法测量标准 第2部分：软件测量标准 注：凡是注明日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文件 其最新版本（包括所有的修改单）适用于本规范。

器通过系列样板测得的台阶高度（深度）量值与样板校准值的比较，从而对被测仪器 的垂直位移特性进行评定

5.1样板的台阶高度（深度）

台阶高度（深度）是通过对样板有效测量区域内不同位置的多次测量结果的平均 直进行评定。台阶高度（深度）技术要求如表1所示。

表1台阶高度（深度）标准样板计量特性技术要求

样板台阶高度（深度）的均匀性是通过对样板有效测量区域内不同位置的多次测 量结果的实验标准差s进行评定。样板的均匀性技术要求如表1所示

校准过程中环境条件见表2。

校准室内应无影响测量的振动源。

6.2测量标准器及其他设备

交准过程中使用的测量标准器及其他设备！

校准证书应至少包括以下内容： a）标题：“校准证书”； b）实验室名称和地址； c）进行校准的地点： d）证书或报告的唯一性标识（如编号），每页及总页的标识； e）客户的名称和地址： f）被校对象的描述和明确标识； g）进行校准日期，如果与校准结果的有效性应用有关时，应说明被校对象的接 收日期： h）如果与校准结果的有效性和应用有关时，应对抽样程序进行说明； i）对校准所依据的技术规范的标识，包括名称及代号： j）本次校准所用计量标准的溯源性及有效性说明； k）校准环境的描述： 1）校准结果及测量不确定度的说明： m）对校准规范的偏离的说明； n）校准证书或校准报告签发人的签名、职务或等效标识： o）校准结果仅对被校对象有效的声明； D）未经实验室书面批准，不得部分复制证书的声明

微纳米台阶高度（深度）标准样板校准结果的测量不确定度评

C.1.1测量方法：在计量型原子力显微镜上进行扫描测量。 C.1.2环境条件：实验室温度（20土3）℃，室温的变化≤0.5℃/h，湿度≤65%RH。 C.1.3测量装置：计量型原子力显微镜（以下简称原子力显微镜）。 C.1.4被测样品：选用高度值分别为100nm和940nm的两块台阶高度样板作为被测 样品进行测量。

由于台阶高度值是通过测量直接计算得到的，因此

y一一台阶高度的测量结果； h一一通过测量直接计算得到的数值。 综合分析对测量结果会产生影响的每个误差来源，列出了如下的分量： 1）多次测量及样板不均匀引入的测量重复性的不确定度分量us。 2）所用激光干涉仪波长误差引入的不确定度分量u入。 3）Z轴激光干涉仪轴向运动误差引入的不确定度分量ucos 4）干涉仪非线性引入的不确定度分量unl。 5）图像倾斜校正引入的不确定度分量ue； 6）测量时温度变化对测量过程的影响引入的不确定度分量ut

C.3各输入量的标准不确定度的评定

C.3.1测量重复性引入的标准不确定度分量

对选用的台阶高度样板分别连续重复测量n次，计算测量结果的实验标准差，采 用A类方法进行不确定度评定。 单次测量的实验标准差为：

采用平均值的实验标准差作为输入量的标准不确定度：

表 C.1测量重复性数据表

3.2所用激光于涉仪波长误差引入的不确

所用激光在考虑空气折射率、干涉仪光学系统布局、阿贝误差、死程误差后，其 平均波长值的最大相对变化量为1×10"，台阶高度测量中Z方向测量范围为微纳米 级，因此激光波长误差引入的不确定度分量可以忽略不计。 C.3.3Z轴激光干涉仪轴向运动误差引入的不确定度分量 Z轴激光干涉仪轴向运动角度偏差最大不超过0.005°。按均匀分布处理，包含 因子k=V3，估算相对不确定度为20%，采用B类方法进行评定

Z轴激光干涉仪轴向运动角度偏差最大不超过0.005°。按均匀分布处理，包含 因子k=V3，估算相对不确定度为20%，采用B类方法进行评定

C.3.4涉仪非线性引入的不确定度分量

干涉仪测量微小位移时的非线性误差对测量结果的影响是十分明显的，根据干涉 义非线性误差的特点，通过修正可以将非线性误差控制在一定的范围内，干涉仪修正 后的残余非线性误差在土0.5nm范围内，按均匀分布估计，其标准不确定度为：

C.3.5图像倾斜校正引入的不确定度分量

样板摆放于标准器原子力显微镜样品台上时，会产生倾斜，必须对测量数据进 行消倾处理，在倾斜角度小于5°的条件下，由于图像倾斜校正引入的测量标准不 确定度为0.2nm。

3.6样板热变形引入的标准不确定度分量

由于本校准微纳米台阶标准样板高度为100nm和940nm，材料为硅，热膨胀系 数为6×10*℃"，考虑校准时温度变化控制在土0.5℃，因此由样板热变形引入的标 准不确定度分量可以忽略不计。

C.4合成标准不确定度评定

C.4.1合成标准不确定度u.的计算

C.4.2标准不确定度汇总表

uc=us?+ucos?+un+ug

《通信光缆机械性能试验方法 第1部分：护套拔出力 YD/T3022.1-2016》表C.2标准不确定度汇总表

C.4.3扩展不确定度的评定

取k=2，扩展不确定度为：

C.5扩展测量不确定度的报告与表示

JC∕T 2463-2018 水泥窑用耐火材料挂窑皮性静态试验方法台阶高度的测量结果的扩展不确定度为：

U= k u. = 2u.

表C.3标准不确定度汇总表