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GB 51401-2019：电子工业废气处理工程设计标准（无水印，带书签）简介：

GB 51401-2019《电子工业废气处理工程设计标准》是中国电子工业领域的一项重要技术标准，它于2019年发布。这个标准的主要目的是为了规范和指导电子工业生产过程中产生的废气处理工程的设计与建设，以减少环境污染，保护生态环境，实现绿色生产。

该标准涵盖了电子工业废气的种类、来源、特性，以及废气处理的各种方法和技术，如物理法、化学法、生物法等，设计内容包括废气收集、预处理、深度处理、尾气处理和排放等各个环节。它规定了废气处理设施的选型、设计参数、运行管理等要求，同时对废气处理效率、安全防护、环保性能等方面提出了严格的标准。

此标准对于电子制造企业来说，是进行废气处理设施设计、建设和运行的重要参考依据，有助于企业遵守环保法规，提升生产过程的环保水平，实现可持续发展。同时，对于环境管理部门和相关监管部门，也有助于进行有效的环境监管和评价。

GB 51401-2019：电子工业废气处理工程设计标准（无水印，带书签）部分内容预览：

5.3.15处理设备及加药装置四周应设置围堰或防渗集液盘，并

5.3.17 处理设备及加药装置附近宜设置洗眼器、淋浴器

5.4.1排风管道法兰垫片应采用可耐受排风中碱物质化学腐蚀 性的垫片。

JB／T 8701-2018标准下载，4.1排风管道法兰垫片应采用可耐受排风中碱物质化学腐 主的垫片。

5.4.2排风管道宜顺气流方向设置坡度，低点应设置排

5.4.3布置在严寒、寒冷地区的加药管道、补液管道入

5.4.4室外安装的加药管道、循环管道、排液管道应采取抗紫外 线措施。

5.4.4室外安装的加药管道、循环管道、排液管道应采取抗紫外

6.1.1一般酸性废气系统的设计要求应按本标准第5章的相关 规定执行。

规定执行。 6.1.2氮氧化物废气、高浓度酸废气应单独设置废气处理系统 6.1.3 加药管道应符合下列规定： 1 室内部分应采用双层管道； 2室外部分宜采用双层管道。 6.2氮氧化物、高浓度酸及电镀废气 6.2.1含氮氧化物的酸性废气处理应符合下列规定： 宜采用多级喷淋处理方式； 2当二氧化氮（NO2）含量超出排放标准时，应采用还原 处理； 3当一氧化氮（NO)含量超出排放标准时，应采用氧化、还 原处理； 4 综合处理效率不应低于90%； 5 处理过程中产生的副产物排放浓度不应超过排放标准。 6.2.2高浓度酸废气处理应符合下列规定： 1宜在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置尾气处理设 备，处理后再进入中央酸废气处理系统； 2当不能设置尾气处理设备时，应独立设置废气处理系统 并应采取多级喷淋处理方式。

6.1.2氮氧化物废气、高浓度酸废气应单独设置废气处理系统。

6.2氨氧化物、高浓度酸及电镀废气

1宜在产生高浓度酸废气的工艺设备附近设置尾气 备，处理后再进入中央酸废气处理系统； 2当不能设置尾气处理设备时，应独立设置废气处理 并应采取多级喷淋处理方式。

6.2.3电镀工艺产生的废气系统设置应符合下列规定：

溶液（镀）槽宜采用槽边排风罩、吹吸罩等有效的排

措施； 2排风管道宜采用耐腐蚀、耐温的不燃或难燃材质制作； 3易产生沉淀物的排风管道应设观察窗及检修口； 4各废气处理系统的冷凝废液应排至电镀废水处理系统

措施； 2排风管道宜采用耐腐蚀、耐温的不燃或难燃材质制作； 3易产生沉淀物的排风管道应设观察窗及检修口； 4各废气处理系统的冷凝废液应排至电镀废水处理系统

7挥发性有机物废气系统

7.1.1当采用吸附、吸附浓缩、催化氧化或蓄热氧化工艺处理挥 发性有机物废气时，应控制待处理气体的颗粒物浓度。吸附、吸附 浓缩处理气体的颗粒物浓度应低于1mg/m°，催化氧化或蓄热氧 化处理气体的颗粒物浓度应低于10mg/m3（T=293K，P= 101.325kPa)。 7.1.2当采用吸附、吸附浓缩等工艺处理挥发性有机物废气时 待处理废气的温度不宜高于40℃，相对湿度不宜大于80%。 7.1.3挥发性有机物废气处理系统的设计寿命应与工艺生产设 备的剩余寿命相适应，且不宜小于10年。 7.1.4除低沸点挥发性有机物外，当入口浓度不小于100mg/m 时，挥发性有机物的处理效率不应低于95%，当入口浓度小于 100mg/m时，出口浓度不应大于5mg/m。 7.1.5处理设备的防火、防爆设计应符合现行国家标准《建筑设 计防火规范》GB50016、《爆炸危险环境电力装置设计规范》GB 50058的有关规定。

7.1.6当采用转轮浓缩处理挥发性有机物废气时，浓缩后的挥

1宜采用憎水型的保温材料； 2不锈钢管道和设备的保温材料氯离子含量应小于 25ppm; 3保温材料材质应根据温度确定。 7.1.8风机进出口应设置软连接。

7.1.8风机进出口应设置软连接

7.2废气收集、排风管道系统

7.2.1排风系统应配置备用风机，且排风机应按一级负荷供电， 使用一级负荷供电的风机风量应大于系统排风量的50%。 7.2.2经处理后的工艺设备排出的挥发性有机物废气不应循环 使用。 7.2.3 设计排风管路系统时，应避免风管内挥发性有机物蒸汽 积聚。

7.2.1排风系统应配置备用风机，且排风机应按一级负

7.2.4设置自动喷淋系统的排风管，应避免喷淋排水回流到

7.2.4设置自动喷淋系统的排风管，应避免喷淋水回流到工艺 设备，风管支撑系统应能承载喷淋时风管系统的重量。 7.2.5挥发性有机物废气排风管的设计不宜选用易出现气体泄 漏的管道密封形式或管件

7.3.1挥发性有机物废气的末端处理方式应符合下列规定 1浓度在50mg/m²（甲烷计）以下时，可采用活性炭吸附法； 2浓度不高于1000mg/m时，宜采用转轮浓缩和热氧化 工艺； 3 浓度高于1000mg/m时，宜采用热氧化工艺。 7.3.2 活性炭吸附系统应符合下列规定： 1 吸附剂与气体的接触时间宜为0.5s～2s； 2 所用活性炭的四氯化碳吸附率质量分数宜大于60； 活性炭颗粒直径不宜大于3mm； 4 设备进出口应设置压差报警装置； 5 应设置消防措施； 6 当采用固定床方式时，活性炭吸附剂连续工作时间不应少 于3个月。

7.3.3转轮浓缩系统应符合下列规定：

系统应由转轮吸附浓缩设备和自动控制系统等组成

理，处理系统应符合下列规定：

系统应主要由冷凝过滤设备和自动控制系统组成； 冷却器内的冷水供水温度不宜大于8℃； 3 冷却器出风温度不应大于12℃； 4冷却器后应设置除雾器； 5 液体应排放至指定的安全容器内： 末端过滤段应针对小于10um雾滴进行处理

7.4处理设备 7.4.1 活性炭吸附设备设置应符合下列规定： 1 当废气中颗粒物浓度大于1mg/m时，宜设置预过滤器； 2活性炭过滤风速宜为0.2m/s～0.6m/s，设备阻力不宜大 于1000Pa； 3 活性炭应设置滤料温度检测及超温报警装置； 设备壳体及框架的材料应与所处理气体成分相适应； 5 设备强度应能满足承压要求； 6 吸附设备的基本性能应符合现行行业标准《环境保护产品 技术要求工业废气吸附净化装置》HJ/T386的有关规定。 7.4.2车 转轮浓缩设备的设置应符合下列规定： 1 吸附区的设计面风速不宜大于3m/s，转轮厚度不宜小 于400mm; 2转速宜为2转/h6转/h； 3车 转轮应分为吸附区、脱附再生区和冷却区三个区域； 4 吸附区、脱附区和冷却区之间应密封隔离，漏风率不应大 于1%。 7.4.3热氧化及热回收设备的设置应符合下列规定： 1废气热氧化温度应控制在730℃850℃，滞留时间不宜 小于0.75s； 2热氧化设备应设置绝热措施，并保证炉体外表面温度不应 高于60℃； ·22·

7.4.1活性炭吸附设备设置应符合下列规定： 1 当废气中颗粒物浓度大于1mg/m时，宜设置预过滤器； 2活性炭过滤风速宜为0.2m/s～0.6m/s，设备阻力不宜大 于1000Pa; 活性炭应设置滤料温度检测及超温报警装置： 4 设备壳体及框架的材料应与所处理气体成分相适应； 5 设备强度应能满足承压要求； 6 吸附设备的基本性能应符合现行行业标准《环境保护产品 技术要求工业废气吸附净化装置》HJ/T386的有关规定。

1吸附区的设计面风速不宜大于3m/s，转轮厚度不宜小 于400mm； 2转速宜为2转/h6转/h； 3 转轮应分为吸附区、脱附再生区和冷却区三个区域； 4 吸附区、脱附区和冷却区之间应密封隔离JC／T 2439-2018标准下载，漏风率不应大 于1%。 7.4.3 热氧化及热回收设备的设置应符合下列规定： 1 废气热氧化温度应控制在730℃～850℃，滞留时间不宜 小于0.75s； 2# 热氧化设备应设置绝热措施，并保证炉体外表面温度不应

7.4.3热氧化及热回收设备的设置应符合下列规定：

1废气热氧化温度应控制在730℃～850℃，滞留时间不宜 小于0.75s; 2热氧化设备应设置绝热措施，并保证炉体外表面温度不应 于60℃；

3换热器宜采用管壳式

7.4.4蓄热氧化设备的设置应符合下列规定： 1 废气热氧化室温度宜控制在780℃～880℃，滞留时间不 宜小于0.75s； 蓄热层的面风速宜为1.1m/s~1.5m/s； 蓄热材料的高度宜为0.8m~1.6m； 4 切换阀门泄漏率不应大于0.5%： 5蓄热氧化设备应设置保温，并保证炉体外表面温度不应高 于60℃； 7 蓄热氧化设备应设置自动控制。 7.4.5 旋转蓄热氧化设备的设置应符合下列规定： 宜划分为6个以上的偶数区； 吹扫风量不应小于总风量的1/6； 3 其余要求应符合本标准第7.4.4条的第1款～第7款 规定。 7.4.6 催化氧化设备的设置应符合下列规定： 催化温度宜控制在350℃～500℃，滞留时间不宜小 于0.75s; 2催化区域的面风速宜为1.3m/s； 3 设计出口温度不应大于550℃； 4 催化设备启动时，预热时间不宜少于2h； 5当挥发性有机物废气中的浓度、成分不稳定时，加热系统 应设置自动调温设备，并维持出口温度不应大于550℃； 6 催化氧化系统应设热回收设备。 7.4.7 蓄热催化氧化设备设置应符合下列规定： 1燃烧室温度宜控制在280℃～500℃，滞留时间不宜小 于0.75S；

2 催化区域的面风速宜为1.3m/s； 设计出口温度不应大于550℃； 4 催化设备启动时，预热时间不宜少于2h； 当挥发性有机物废气中的浓度、成分不稳定时，加热系统 应设置自动调温设备，并维持出口温度不应大于550℃； 催化氧化系统应设热回收设备。 7.4.7 蓄热催化氧化设备设置应符合下列规定： 1 燃烧室温度宜控制在280℃～500℃DZ／T 0276.29-2015标准下载，滞留时间不宜小 于0.75s; 2其余要求应符合本标准第7.4.4条的第2款～第7款和