GB／T 37959-2019 标准规范下载简介

GB／T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息简介：

GB/T 37959-2019是中国的一项国家标准，全称为《含工艺腔室类集成电路装备设计信息》。这项标准主要针对集成电路制造装备，特别是那些包含工艺腔室的装备，如光刻机、刻蚀机等，规定了这些装备在设计过程中的信息的建立、描述、交换和使用的一系列规则和要求。

信息是一种用计算机可理解的方式描述物理实体、系统或过程的方法。在集成电路装备设计中，信息可以提高设计效率，降低错误率，促进多学科设计的协同，有利于装备的全生命周期管理。

这个标准主要包括以下几个方面的内容：

1. 系统与装备的定义和分类：对含工艺腔室的集成电路装备进行定义和分类，明确信息应用的对象。

2. 信息的建立：规定如何构建装备的设计信息，包括的层次结构、元素的定义等。

3. 数据交换：规定了信息在设计、制造、维护等过程中如何进行数据交换，确保信息的一致性和完整性。

4. 验证：对信息的正确性、完整性和一致性进行验证，确保的有效性。

5. 使用要求：规定了信息在实际设计、制造和使用过程中的应用要求。

GB/T 37959-2019的制定和实施，对于提升我国集成电路装备设计的标准化、信息化水平，促进集成电路装备产业的发展具有重要意义。

GB／T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息部分内容预览：

特征值characteristic values

由仿真结果统计出的能反映设计性能的具有代表性的某些数值。 示例：最小值、最大值、平均值、偏差值等

DBJ41∕T 183-2017 河南省建筑节能工程施工质量验收规程数密度分布、电子能量分布、力、形变等

4.2含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台结构体

4.2.1软件平台架构

GB/T379592019

软件平台的架构、功能执行方式应如图 部分：用户端、平台端和模块端。三部分可 部署在一台物理机上，亦可部署于不同的物理机上 ，之间通过网络通信传输控制信息和数据。

图1含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计软件平台架构

用户端提供用户交互界面，使用户和平台端交互 其功能应包括：接受用户命令信息（如启动、保存等），收集用户设置信息（如参数、流程模板等），并 将上述信息向平台端传输：同时，用户端接收平台端的反馈信息，显示输出给用户

平台端连接用户端和模块端，是整个软件平台的核心控制部分。它的组成部分包括：系统调度管理 PI，数据库，数据存储，实验和优化。其中，系统调度管理API处于核心地位。 平台端的功能应包括：传输上（用户端）下（模块端）游数据、命令信号，控制仿真流程，数据库管理， 存储并传递模块间要传输的文件等。 仿真流程的控制是由仿真流程模板定义的。仿真流程模板是XML文件，该文件保存了一个仿真 流程的完整逻辑关系（包含软件模块、求解逻辑顺序和上下游传输的变量信息）。仿真流程模板可以定 副多个，分别定义不同的建模仿真设计过程， 本标准不限定平台端是否具有实验和优化部分，实验和优化部分旨在提高用户的设计效率，其存在 或使用与否，在功能上不会影响仿真设计系统的正常运行

模块端接受平台端调用，执行应用程序完成仿真流程中的各个步骤（如CAD建模、网格化分、计

求解等）。模块端是由各软件模块组成的，各软件模块的调用有一定的先后顺序，该顺序由平台端根据 仿真流程模板控制。 模块端的功能应包括：软件模块从平台端获得计算参数和所需文件，根据获得的计算参数更新定制 好的软件工具脚本中相关参数，启动软件执行脚本，并在执行结束后向平台端传递后续模块所需文件或 计算结果

含工艺腔室类集成电路装备建模仿真设计信息模

软件平台的核心控制部分 理，实现从上下游接收信息，以及向 传递信息的功能。平台端数据库需包含4个重要的数据集（即4个重要要素）：用户信息、产品 防真流程模板和仿真参数集。平台端数据库概念如图2所示，它阐述了信息各组件之间的 是本次发布的规范和未来相关规范的基础

图2平台端数据库概念图

图2列出了四个要素以及要素和要素之间的关系。 四个要素包括用户信息、产品信息、仿真流程模 板和仿真参数集信息。要素与要素之间的关系称为公共关联参数集，主要指明四个要素之间互相关联 折需要的信息， 含工艺腔室类集成电路装备设计信息示例参见附录A

仿真参数集用于描述仿真过程相关的参数信息，应主要包括： a）仿真参数：几何、材料、物性； b）仿真过程参数：仿真边界条件、仿真过程设置条件、仿真输出结果参数； c）仿真过程相关性参数：所属仿真流程、所属产品、所属开发人

5.2.2仿真流程模板

仿真流程模板用于描述定制化的仿真流程信息，应主要包括！

GB/T379592019

仿真过程各模块逻辑关系信息； b) 仿真过程各模块设置参数信息； c) 仿真流程模板对应参数集信息； d) 仿真流程模板对应产品信息； e）仿真流程模板对应所属人信息

仿真过程各模块逻辑关系信息； b) 仿真过程各模块设置参数信息； c) 仿真流程模板对应参数集信息； d） 仿真流程模板对应产品信息； e）仿直流程模板对应所属人信息。

产品信息用于描述仿真过程所涉及的产品具体信息，应主要包括： a）产品层级信息：类别、型号、对应文件； b）零部件信息：规格，对应文件； c）产品所属开发人信息

用户信息用于描述用户相关信息，应主要包括： a）用户本身信息：个人信息、权限等级； b）用户与产品、流程模板的关联信息

要素之间的关系称为公共关联参数集，主要描述四个要素之间互相关联所需要的信息，同时还需要 在这些关联参数集之间建立好相应的接口，保证各要素通过关联集内的参数进行交互和沟通。应主要 包括： 用户信息和角色信息的关系、角色信息和权限信息的关系； 产品和零部件关系：一个产品包含多个零部件、一个零部件可挂在多个产品下； 零部件和流程模板关系：一个零件可选择多个流程模板； d） 流程模板和参数集关系：一个流程模板对应多个仿真参数集

5.4.2~5.4.6对信息元素对象进行了概念性描述，描述格式说明如下： a）名称：元素的描述性称谓。 D） 类型：数据元素的格式描述。类型包括了元素的最大长度。所有的域均需使用ISO10646规 定的国际字符集。下面是常用类型的含义描述： 1）ID一用来唯一标识一个对象的元素 2）IDRef=对一个ID的引用 3）String（n）=描述性元素 4）Integer=整型元素 5）DATE=日期元素 备注：关于该元素的其他描述信息

4.2产品数据及其信息描述

产品信息描述如表1所示

零部件信息描述如表2所示

5.4.3仿真流程数据及信息描述

流程模板描述如表3所示。

流程模板描述如表3所示。

表3流程模板信息描述

参数集设置信息描述如表

表8仿真参数集设置信息描述

真参数信息描述如表9月

表9仿真参数信息描述

输人参数信息描述如表10所示

表10输入参数信息描述

GB/T379592019

输出参数信息描述如表11所示

表11输出参数信息描

工作信息描述如表12所示。

输出结果信息描述如表13所示

表13输出结果信息描述

5.4.5用户数据信息描述

用户信息描述如表14所示。

角色信息描述如表15所示。

权限信息描述如表16所

DB32∕T 3705-2019 住宅区和住宅建筑内光纤到户通信设施工程建设标准GB/T379592019

含工艺腔室类集成电路装备设计信息示例

表A1流程模板结构信息

表A.2各模块的参数

图A.1基本分析界面

图A.2优化分析界面

图A.3优化分析结果

CJJ∕T 126-2022 城市道路清扫保洁与质量评价标准GB/T379592019