GB 51343-2018标准规范下载简介

GB 51343-2018 真空电子器件生产线设备安装技术标准(完整正版、清晰无水印)简介：

GB 51343-2018《真空电子器件生产线设备安装技术标准》是一部由中国国家标准化管理委员会发布的国家标准，主要规定了真空电子器件生产线设备的安装、调试、验收以及运行过程中的技术要求和安全规定。真空电子器件广泛应用于通信、雷达、医疗、科研等领域，其生产线设备的安装质量直接影响到器件的性能和寿命。

该标准主要包括以下内容：

1. 设备的接收、检查与储存：对设备的包装、标识、数量、外观等进行检查，确保设备在运输过程中未受损伤，同时对设备进行妥善的储存，防止环境因素对设备造成不良影响。

2. 设备的安装：详细规定了设备的定位、固定、连接等步骤，确保设备安装的精确性和稳定性。

3. 设备的调试：对设备的通电、运行、功能测试等进行规定，确保设备运行正常，性能达到设计要求。

4. 设备的验收：明确了设备安装完成后，应进行的性能测试、安全检查等验收工作，只有验收合格后，设备方可投入运行。

5. 设备的运行与维护：对设备的日常运行管理、定期维护、故障处理等进行了规定，以保证设备的长期稳定运行。

6. 安全规定：包括设备安装、调试、运行过程中的人员安全、电气安全、防火防爆等内容，以防止安全事故的发生。

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GB 51343-2018 真空电子器件生产线设备安装技术标准(完整正版、清晰无水印)部分内容预览：

注入电子工业纯水或蒸馏水； 4）完成程控工作台的安装； 5）进行电气柜与主机间的电路铺设； 6）完成计算机控制、显示系统的安装； 7）连接保护气体气路。 高频感应针焊炉的安装应符合下列规定： 1）将设备主机及高频感应加热设备按照设备平面布置图 就位； 2）完成主机真空系统的安装： 3）完成高频感应加热线圈以及其传动系统的安装； 4）完成高频感应加热线圈与高频感应加热设备间的馈线 连接； 5）安装高频馈线防护罩； 6完成真空泵、高频感应加热设备以及高频感应加热线圈 等冷却水路的连接。 氢炉的安装应符合下列规定： 1）将设备主机及电气柜按照设备平面布置图排风罩下方 就位； 2）完成氮、氢等气体管路的连接； 3）完成炉体和加热电极冷却水路的连接； 4）主机与电气柜间的电路铺设。 排气台的安装应符合下列规定： 1)将排气台主机架按照设备平面布置图就位，安装地脚螺 栓对金属架进行调平调正，满足技术要求后紧固地脚 螺栓； 2)安装外真空系统钟罩； 3）安装内、外真空两组真空系统； 4)安装冷却水路管道； 5）连接排气台各气动元件压缩空气管路

6）电气控制柜应就位并完成设备各单元的电路铺设： 7应配动力电源线，按设备接线图完成配线

5.4.11老炼检测设备的安装应符合下列规定

电子管老炼设备的安装应符合下列规定： 1）按照设备平面布置图将变压器、调压器等电源大部件 就位； 2）将所有连线及引出线接头处理十净，要求无氧化层残留； 3完成电气线路的连接； 4将高压回路地线接入单独敷设的低电阻值地线： 5）安装产品专用支撑装置： 6）安装高电压部位的安全防护设施。 2电子管测试设备的安装应符合下列规定： 1）按照设备平面布置图将测试电源各单元就位； 2）完成电气线路及地线的连接： 3）安装电子管测试系统，备好相关的测试仪器； 4安装产品专用支撑装置： 5）按产品的冷却要求配备风机或冷却水路。 3微波电子管专用测试系统的安装应符合下列规定： 1按照设备平面布置图将测试电源各单元就位于相应的屏 蔽室； 2）电气线路的安装； 3）高压电气系统的地线应连接至单独敷设的地线； 4）完成微波测试系统的搭建； 5）宜配备好示波器、频谱分析仪、功率计等仪器； 6）完成屏蔽室与外部控制台电气控制电路和各类信号电路 的连接； 7）根据产品的冷却要求配备风机或冷却水路； 8）屏蔽室防护门外应有电磁辐射警告标志。

《城建档案业务管理规范 CJJT158-2011》4X射线管专用测试系统的安装应符合下列规定：

1）按照设备平面布置图将管子电源各单元就位于铅屏 蔽室； 2）完成电源各单元的电路连接： 3）完成地线的连接，高压电路的地线宜单独敷设； 4）准备伦琴计等仪器； 5）安装冷却水管路； 6）完成屏蔽室与外部控制台电气控制电路和测试信号电路 的连接； 7）各管、线安装需穿过铅屏蔽室壁板时，可在壁板的适当位 置开洞，开洞作业不得划伤或污染需保留的壁板内部的 铅材料表面，开洞直径应与安装件直径相符； 8）铅屏蔽室射线防护门外应有电磁辐射警告标志。 真空开关管老炼、测试设备的安装应符合下列规定： 1)X射线实时成像检测系统、真空开关管工频老炼设备、电 流老炼设备、真空度测试设备、工频耐压测试检测设备 接触电阻测试设备、雷电冲击耐压测试设备等应按照设 备平面布置图直接就位； 2）真空开关管工频老炼设备、电流老炼设备、真空度测试设 备、接触电阻测试设备、工频耐压测试检测设备如纳入自 动化生产线，应按本标准第6.4.6条规定成连线安装； 3）真空开关管工频老炼设备、工频耐压测试检测设备、雷电 冲击耐压检测设备等属高压设备安装区域，应考虑与相 邻物体保持足够的耐压距离应设置专门的地线。

6.5.1二次配管配线应在确认真空电子器件生产线设备安装工 程施工工艺条件全部满足后，以及解体设备零部件重新组装后 进行。

6.5.1二次配管配线应在确认真空电子器件生产线设备安装工

次配管配线技术规范》SJ/T11672的有关规定。 6.5.3二次配线施工完成后，应填写《真空电子器件生产线设备 配管配线质量验收记录》和《真空电子器件生产设备压力试验验收 记录》，其内容和格式应符合本标准附录B规定。

1加载试运行应选用成熟产品的成熟工艺，其工艺参数均在 设备的技术指标涵盖范围之内：加载样品材质应与正式产品材质 相同：加载样品预先经过的各种处理应与正式产品相同； 2加载试运行的工艺程序应由设备供货方配合建设单位编 制人工操作程序或自动运行程序，工艺规程应与正常产品的生产 程序相同或相近。 7.1.7调试、试运行结果应填写《真空电子器件生产线设备调试 记录》和《真空电子器件生产线设备试运行记录》，内容和格式应符 合本标准附录B规定

7.1.7调试、试运行结果应填写《真空电子器件生产线设备调试

清洗、镀覆设备调试与试运行

7.2.1 碱液去油设备调试与试运行应符合下列规定

1清洗工位配置及各工位工作参量指标应满足技术协议 要求； 2传动系统应运行平稳，定位系统应准确可靠； 3管路部分应确认循环泵运行正常无噪声，各阀门灵活可 靠，管路系统无泄漏； 4F 电气系统应采用五线制，零、地分置； 5 安全防护装置功能应可靠运行： 6 经过去油的零件水膜试验应满足要求。 7.2.2 酸洗设备调试与试运行应符合下列规定： 1 清洗通风柜应设有可封闭的推拉门； 2 排风量应达到设计要求； 各类用水应配备齐全，阀门应灵活可靠； 4 上下水路应密封良好、无泄漏； 5 电炉盘应设置绝热板。 7.2.3 镀银设备调试与试运行应符合下列规定： 1 电镀场所排风量以及电镀槽口设置的吸风口风压应达到 设计要求； 2水洗槽应配备齐全； 3各类用水应配备齐全，阀门应灵活可靠； 4上下水路管道连接应良好、无泄漏； 5电镀电源电压及功率应满足设备技术说明书要求，电源线 连接点应做防腐处理； 6应配备废电镀液沉淀池。 7.2.4 镀镍设备调试与试运行应符合下列规定： 1电镀场所排风量以及电镀槽口设置的吸风口风压应送到 设计要求； 2水洗槽应配备齐全； 3各类用水应配备齐全，阀门应灵活可靠； 4上下水路管道连接应良好、无泄漏；

5电镀电源电压及功率应满足设备技术说明书要求，电源线 连接点应做防腐处理； 6 镀液管道加热器密封应良好、安全可靠： 应配备废电镀液沉淀池。 7.2.51 电泳设备调试与试运行应符合下列规定：

1机械传动装置应运行平稳、无噪声：； 2电泳电源应达到设备技术说明书指标要求，各仪表指示 工作正常，并应处于仪表校准的有效期内；

7.2.6真空溅射镀覆设备调试与试运行应符合下列规定：

1具空系统中各具空泵应运行平稳、无异常噪声，真空建立 时间、系统极限真空度应达到设备技术说明书指标要求； 2电气系统中各仪表、指示灯应工作正常并处于校准的有效 期内，各控制元件、联锁装置功能应处手正常状态； 3机械传动系统的工件架转动应平稳、无明显噪声，炉门应 灵活且密封良好； 4烘烤加热系统的烘烤温度范围、保温功能应达到技术协议 书要求； 5充气系统中的自动压强控制系统应工作正常，各项指标达 到设备技术说明书指标要求； 6真空室内应洁净无杂物。

装配、焊接和排气设备调试与订

7.3.1真空针焊炉（一次封排炉）验收应符合下列规定：

：3.真空针痒炉（一次均排发验收应付合下列规定： 1真空炉在空载和满载条件下，最高工作温度、真空系统 极限压强、真空建立时间等技术指标应满足技术说明书指标 要求。 2真空系统各单元和管道连接应牢固且密封良好，各真空泵 应运行正常、平稳，各真空阀门应操作灵活且密封良好

3电气系统应符合下列规定： 1电源开关应灵敏可靠，指示齐全，仪表应在校准的有效 期内； 2）加热系统的控制系统应灵敏可靠，可采用手动控制或比 例一积分一微分（PID）调节器控制： 3)电炉丝与隔热屏应绝缘良好； 4）应接地良好，标志明显。 4供水供气管路应密封良好、无泄漏。 5快冷系统应工作正常并达到技术要求，产品出炉应无氧化 现象。 .3.2 X射线实时成像检测系统调试与试运行应符合下列规定： 设备加电后各仪表应显示正常、无报警。 2设备的机械性能应进行下列检查： 1产品承载台可上下调节及360旋转； 2）承载台旋转速度可调； 3停位应准确，停位误差应达到技术指标要求。 3成像清晰度、层次性、图像分辨率均应达到技术指标要求。 4 故障报警和急停装置操作应可靠。 5 应确认自动扫描功能良好。 6 设备的软件功能应达到设备技术说明书要求。 .3.3 激光焊接机调试与试运行应符合下列规定： 1单脉冲最大输出能量、脉冲宽度调节范围、脉冲频率可调范 围、发散角、功率不稳定度等激光器指标应满足技术说明书要求： 2光学系统的光斑直径范围应满足技术说明书要求，光路应 显示清晰，调节应灵活； 3工作台的三维行程和旋转轴的定位精度、重复精度应达到

DBJ 19-2011 生活垃圾卫生填埋场运行监管标准7.3.3激光焊接机调试与试运行应符合下列规定：

1单脉冲最大输出能量、脉冲宽度调节范围、脉冲频率可调范 围、发散角、功率不稳定度等激光器指标应满足技术说明书要求： 2光学系统的光斑直径范围应满足技术说明书要求，光路应 显示清晰，调节应灵活； 3工作台的三维行程和旋转轴的定位精度、重复精度应达到 技术说明书要求，且移动平稳自如； 4可实现微机控制操作与手动操作自由切换。 7.3.4氩弧焊机调试与试运行应符合下列规定

7.3.4氩弧焊机调试与试运行应符合下列规定：

1设备内（外）真空系统极限真空度、真空建立时间、烘箱加 热温度范围等主要技术指标应送到设备技术说明书要求： 2烘箱钟罩应升降平稳，限位应准确可靠； 3真空系统的阀门起团应灵活，并应密封良好； 4电气系统的各电气开关应灵敏可靠，仪表应处于校准的有 效期内，烘箱加热系统应处于正常工作状态，且比例一积分一微分 (PID)调节器性能完好：

2017甬DX-02 宁波老小区、城中村截污纳管改造技术要求及验收标准路冷却水应连接良好、无泄漏

7.4老炼设备调试与试运行