GB/T 21636-2021 微束分析 电子探针显微分析(EPMA) 术语.pdf

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GB/T 21636-2021 微束分析 电子探针显微分析(EPMA) 术语.pdf简介:

GB/T 21636-2021《微束分析 电子探针显微分析(EPMA) 术语简介》是一部标准,它为电子探针显微分析(EPMA, Electron Probe Microanalysis)这一领域提供了一系列专业术语的定义和解释。EPMA是一种高精度的元素分析技术,主要用于微观尺度上的元素分布和定量分析,广泛应用于地质、矿物学、材料科学、考古学等多个学科领域。

在这部标准中,可能包括以下术语的定义:

1. 电子探针:一种精密的电子显微镜,其核心是电子束源,通过控制电子束的强度和能量,对样品进行非破坏性分析。 2. 微束分析:使用电子探针对样品进行点或线扫描,取得指定区域的元素分布信息。 3. 样品制备:对样品进行预处理的步骤,如切片、抛光、镀膜等,以确保电子束能准确地分析样品的表面。 4. 元素激发:通过电子束与样品原子相互作用,使样品原子产生X射线或俄歇电子,这些信号可用于元素的识别和分析。 5. 信号检测:通过探测器测量产生的X射线或俄歇电子,将其转化为电信号,然后进行数据处理和分析。 6. 分析模式:EPMA的不同工作模式,如Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence(WDXF)或Energy Dispersive X-ray Fluorescence(EDX)等,用于不同的元素检测和定量分析。 7. 精度和准确度:EPMA测量结果的可靠性和一致性,通常通过校准和质量保证程序来确保。

这部标准的发布,旨在统一和标准化EPMA领域的技术语言,提高科研人员之间的沟通效率,促进技术共享和应用。

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研究物质researchmaterial

试样稳定性specimenstability 《一般定义》试样在常温常压下,长期储存过程中物理化学性能保持不变的特性。 6.5.11 试样稳定性specimenstability 在电子束轰击下,试样化学成分(对应的特征X射线强度)保持不变的特性 6.5.12 阻止本领校正 stoppingpowercorrection 对由于束电子穿越试样发生能量损失而引起X射线产额变化进行的基体校正。

GB/T216362021/ISO23833.2013

6.5.13 不确定度uncertainty 表征合理地赋予被测量之值的分散性,与测量结果相联系的参数。 6.6 分析试样specimentobeanalysed 用EPMA测定成分和显微结构的试样。 6.6.1 块状试样bulkspecimen 试样尺寸超过所有可能产生X射线(由电子束产生初级X射线和由特征、连续X射线产生二次荧 光X射线)源的范围,不会由于X射线穿过试样底部或边缘非正常逃逸而受到损失。 6.6.2 荷电charging 由于缺少足够的对地导电路径,当试样受人射电子束轰击时其表面发生电荷积累的现象。 注:绝缘材料的高电阻可使导电路径不能建立,即使对诸如金属的导体材料,若不用导线或导电胶等建立试样到地 的导电路径,荷电仍可发生。 6.6.3 导电镀层 conductivecoating 镀层coating 一种覆盖到绝缘试样表面的低电阻材料(例如:铝,金,碳,铬等)薄涂层(一般厚度2nm~20nm), 以提供电子束轰击时可能在表面积累的电荷的接地通道。 6.6.3.1 镀层假象 coatingartifact 由镀层材料特性所引起的试样结构和/或X射线谱的改变,这些改变可能干扰对真实试样细节的 解释。 6.6.3.2 导电层conductivelayer 分层试样中区别于其他非导电层或半导电层的高电导率层状区域。 6.6.4 污染contamination 试样表面由于所处环境、制样过程或暴露在试样室残余气体中而附着的外来物质。 6.6.4.1 碳污染carboncontamination 由于电子轰击试样表面污染物和/或真空系统的残余气体,碳和含碳物质在试样表面上的进行性 累积。 6.6.4.2 污染层contaminationlayer 沉积在试样上的外来物薄层。 665

6.5.13 不确定度uncertainty 表征合理地赋予被测量之值的分散性,与测量结果相联系的参数。 6.6 分析试样specimentobeanalysed 用EPMA测定成分和显微结构的试样。 6.6.1 块状试样bulkspecimen 试样尺寸超过所有可能产生X射线(由电子束产生初级X射线和由特征、连续X射线产生二次荧 光X射线)源的范围,不会由于X射线穿过试样底部或边缘非正常逃逸而受到损失。 6.6.2 荷电charging 由于缺少足够的对地导电路径,当试样受人射电子束轰击时其表面发生电荷积累的现象。 注:绝缘材料的高电阻可使导电路径不能建立,即使对诸如金属的导体材料,若不用导线或导电胶等建立试样到地 的导电路径,荷电仍可发生。 6.6.3 导电镀层 conductivecoating 镀层coating 一种覆盖到绝缘试样表面的低电阻材料(例如:铝,金,碳GB 50937-2013 选煤厂管道安装工程施工与验收规范,铬等)薄涂层(一般厚度2nm~20nm), 以提供电子束轰击时可能在表面积累的电荷的接地通道。 6.6.3.1 镀层假象 coatingartifact 由镀层材料特性所引起的试样结构和/或X射线谱的改变,这些改变可能干扰对真实试样细节的 解释。 6.6.3.2 导电层conductivelayer 分层试样中区别于其他非导电层或半导电层的高电导率层状区域。 6.6.4 污染contamination 试样表面由于所处环境、制样过程或暴露在试样室残余气体中而附着的外来物质。 6.6.4.1 碳污染carboncontamination 由于电子轰击试样表面污染物和/或真空系统的残余气体,碳和含碳物质在试样表面上的进行性 累积。 6.6.4.2 污染层contaminationlayer 沉积在试样上的外来物薄层,

几何效应geometriceffects 由于试样尺寸与形状引起的试样X射线产生与/或传播的改变,而导致与成分变化无关的X射线 强度的变化。 6.6.7 均匀度homogeneity 试样不同采样点成分一致性的程度。 6.6.8 质量效应masseffect 在分析颗粒物时,由于电子束策贯穿颗粒物边界而引起的X射线强度变化的几何效应。 6.6.9 基体效应matrixeffect;interelementeffect 由于元素“B”的存在而导致元素”A”的X射线产生和发射强度的改变。 6.6.10 辐射敏感度radiationsensitive 材料在电子轰击下导致如质量损失、离子迁移、分子键破坏、颜色改变等类型的损伤程度。 6.6.11 薄试样thinspecimen 厚度尺寸小于电子束和X射线穿透范围的试样,它比相同成分的块状试样产生的X射线强度低: 但空间分辨率提高。 6.7 空间分辨率spatialresolution 微束分析空间特征的一种度量。 注:通常用激发体积表示。 6.7.1 分析空间分辨率analyticalspatialresolution 由特定元素X射线电离能确定的空间分辨率。 注:在一个多元素试样中,不同元素的空间分辨率不同,随着电离能的减小,激发体积增加。 6.7.1.1 分析面积analysisarea 相互作用体积在电子束人射面上的投影面积,确定百分数(例如总量的95%)的X射线从此面发射 并由谱仪接收。

分析面积analysisarea

X射线经试样吸收后,确定百分数(例如总量的95%)的X射线从相互作用体积内发射的最大 深度。

分析体积analysisvolume

X射线经试样吸收后,确定百分数(例如总量的95%)的X射线发射的体积

GB/T21636—2021/ISO23833:2013

6.6.1 5.6.8

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area scanning artifact peak

edge effect edgeenergy EDS elastic scattering electronbeam

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《高层建筑火灾扑救行动指南 GA/T 1191-2014》6.4.3 er diffreflection 5.6.14.4 eity ... 6.6.7

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lowbeam energyanalysis

【福建省】《建筑边坡与深基坑工程管理规定》2010年版thin specimen

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