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GB／T 2900.104-2021 电工术语 微机电装置.pdf简介：

GB/T 2900.104-2021 是由中国国家标准总局发布的一项国家标准，其全称为《电工术语 第104部分：微机电装置简介》。这份标准属于电工术语系列，主要针对微机电系统（Micro-Electromechanical Systems, MEMS）这一领域进行了定义和解释。

微机电装置，简称MEMS，是指通过微加工技术制造的，尺寸在微米或纳米级别的电子和机械组件的集合体。这些装置通常包括传感器、执行器、微马达、滤波器等，它们具有体积小、重量轻、功耗低、响应速度快、集成度高等特点，广泛应用于电子、通信、机械、医疗、能源等多个领域。

GB/T 2900.104-2021 对微机电装置的原理、分类、结构、工作原理、制造过程、应用场景以及相关术语进行了详尽的阐述，为理解和使用微机电装置提供了标准化的语言和知识框架。这份标准对于工程师、研究人员、制造商以及相关行业人员来说，具有重要的参考价值。

GB／T 2900.104-2021 电工术语 微机电装置.pdf部分内容预览：

、材料科学、功能元素、加工技术、键合装配技术、测量 技术和应用相关术语。 本文件适用于微机电技术领域

《质量管理体系 质量计划指南 GB/T 19015-2008》本文件没有规范性引用文件

尺度效应scaleeffect 由于一个或多个尺寸的变化而导致其性质和特性发生改变的现象。 注：物体的体积与其长度尺寸的三次方成正比，而表面积与二次方成正比。结果表明，在微观世界中，表面力的 用大于物体力的作用。例如，微观物体运动中的主导力不是惯性力，而是静电力或黏性力。微观物体的材料

图1膨胀试样的典型示例