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DB32／ 3747-2020 半导体行业污染物排放标准简介：

"DB32/3747-2020"是中国江苏省地方标准，全称为《半导体行业污染物排放标准》。这个标准是针对半导体行业的环境管理规定，旨在规范和控制半导体制造过程中可能产生的污染物排放，以保护环境，防止对公众健康和生态系统造成负面影响。

该标准可能包括对大气污染物（如颗粒物、二氧化硫、氮氧化物等）、水污染物（如化学需氧量、氨氮、重金属等）以及固体废物的排放限值、监测方法、管理要求等。它可能涵盖了生产过程中的各个环节，包括原材料处理、生产工艺、废水废气处理等，以确保企业的生产活动符合环保法规，实现清洁生产。

2020版的该标准可能更新了污染物排放限值，引入了更严格的环保技术要求，以及对环境影响的评估方法，以响应全球环保趋势和国家的环保政策。企业需要遵守这个标准，否则可能会面临罚款或其他法律处罚。

DB32／ 3747-2020 半导体行业污染物排放标准部分内容预览：

江苏省生态环境厅 发布 江苏省市场监督管理局

1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4水污染物排放控制要求 5大气污染物排放控制要求 6污染物监测要求 7达标判定 8标准的实施与监督

1范围 2规范性引用文件 3术语和定义 4水污染物排放控制要求 5大气污染物排放控制要求 6污染物监测要求 7达标判定， 8标准的实施与监督

本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放限值、监测和监控要求新校区公共教室钢筋工程施工方案，以及标准实施与 监督等相关规定。 本标准未规定的污染物项目仍执行国家或地方相应的污染物排放标准。 本标准实施后，国家新发布的行业标准严于本标准时，应执行国家标准。环境影响评价文件或排 污许可证要求严于本标准时，按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。 本标准根据GB/T1.1起草。 本标准为首次发布。 本标准由江苏省生态环境厅提出并归口。 本标准江苏省人民政府于2019年12月11日批准

本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放限值、监测和监控要求，以及标准实施与 监督等相关规定。 本标准未规定的污染物项目仍执行国家或地方相应的污染物排放标准。 本标准实施后，国家新发布的行业标准严于本标准时，应执行国家标准。环境影响评价文件或排 污许可证要求严于本标准时，按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。 本标准根据GB/T1.1起草。 本标准为首次发布。 本标准由江苏省生态环境厅提出并归口。 本标准江苏省人民政府于2019年12月11日批准

半导体行业污染物排放标准

本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放标准限值、监测要求、达标判定、实施与 监督。 本标准适用于半导体企业的水污染物排放管理、大气污染物排放管理，以及半导体企业排污许可 管理、建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的污染控制与管理。 半导体企业与污水集中处理设施采用协商方式确定企业水污染物间接排放限值时，污水集中处理 设施的水污染物排放管理也适用于本标准，

下列术语和定义适用于本标准。 3.1 半导体企业semiconductorindustry 从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试的企业。 3.2 现有企业existingfacility 指本标准实施之日前已建成投产或环境影响评价文件已通过审批的半导体企业。 3.3 新建企业newfacility 指本标准实施之日起环境影响评价文件通过审批的新建、改建和扩建的半导体工业建设项目 信息服务平台 3.4 直接排放directdischarge 指排污单位直接向环境水体排放水污染物的行为。 3.5 间接排放indirectdischarge 排污单位向污水集中处理设施排放水污染物的行为。 3.6 污水集中处理设施concentratedwastewatertreatmentfacilities 为两家及两家以上排污单位提供污水处理服务的污水处理设施，包括各种规模和类型的城镇河 集中处理设施、工业集聚区（经济技术开发区、高新技术产业开发区、出口加工区等各类工业园区 污水集中处理设施，以及其他由两家及两家以上排污单位共用的污水处理设施等。

温度为273.15K、压力为101325Pa时的状态。本标准规定的大气污染物排放浓度限值均以标 下的于气体为基准。

企业边界enterpriseboundary 指半导体工业企业的法定边界。若难以确定法定边界，则指企业的实际占地边界

4.1水污染物排放限值见表1。 4.2企业向城镇污水处理厂排放废水时，其第二类水污染物排放应达到表1中间接排放限值；废水进入 具备处理此类污水工艺和能力的集中式工业废水处理厂的企业，其第二类水污染物排放可与集中式工业 污水处理厂商定间接排放限值，并签订协议报当地环境保护主管部门备案。企业与集中式工业废水处理 商定的间接排放限值，不得宽于《污水综合排放标准》中规定的接管限值。未签订协议的企业，其筑 类水污染物执行表1中的间接排放限值。 4.3在国土开发密度高、环境承载能力开始减弱，或水环境容量较小、生态环境脆弱，容易发生严重水 环境污染问题而需要采取特别保护措施地区的企业，根据生态环境保护工作要求，执行表1规定的特 别排放限值。 执行水污染物特别排放限值的地域范围、时间，由省级生态环境主管部门或设区市人民政府规定

表1水污染物排放限值

表2单位产品基准排水量

Q总一排水总量，单位为m； Y，一某种产品产量，产品单位见表2； Qi基—某种产品的单位产品基准排水量，产品单位见表2； P实一一实测水污染物排放浓度，单位为mg/L。 若Q总与>Y:Oi的比值小于1，则以水污染物实测浓度作为判定排放是否达标的依据。

5大气污染物排放控制要求

.1有组织排放控制要求

5.1.1大气污染物排放限值见表3

表3大气污染物排放限值

表3大气污染物排放限值

“适用于酸洗、薄膜等工段产生的工艺废气。 b待国家污染物监测方法标准发布后实施。 “苯系物包括苯、甲苯、二甲苯、三甲苯、乙苯和苯乙

5.1.2废气收集处理系统应与生产工艺设备同步运行。废气收集处理系统发生故障或检修时，对应的生 产工艺设备应停止运行，待检修完毕后同步投入使用；生产工艺设备不能停止运行或不能及时停止运行 的，应设置废气应急处理设施或采取其他替代措施。 5.1.3进入VOCs燃烧（焚烧、氧化）装置的废气含氧量可满足自身燃烧、氧化反应，不需另外补充空气 的（燃烧器需要补充空气助燃的除外），以实测浓度作为达标判定依据，但装置出口烟气含氧量不得高 于装置进口废气含氧量， 吸附、吸收、冷凝、生物、膜分离等其他VOCs处理设施，以实测浓度作为达标判定依据，不得稀 释排放。 进入VOCs燃烧（焚烧、氧化）装置的废气需要补充氧气（空气）进行燃烧、氧化反应的，排气筒 中实测大气污染物排放浓度，应按公式（2）换算为基准含氧量为3%的大气污染物基准排放浓度。

P基一一大气污染物基准排放浓度，单位为mg/m²； O基一一干烟气基准含氧量，%； O实一一实测的干烟气含氧量，%； p实一一实测大气污染物排放浓度，单位为mg/m3。 5.1.4排放氯气、氰化氢的排气筒高度不低于25m，其他排气筒高度不低于15m（因安全考虑或由特殊 工艺要求的除外），具体高度以及与周围建筑物的距离应根据环境影响评价文件确定， 5.1.5当执行不同排放控制要求的废气合并排气筒排放时，应在废气混合前进行监测，并执行相应的排 放控制要求；若可选择的监控位置只能对混合后的废气进行监测，则应按各排放控制要求中最严格的规 定执行。

5.2无组织排放控制要求

企业边界大气污染物任何1小时平均浓度执行表4规定的限值。

表4企业边界大气污染物浓度限值

6.1污染物监测的一般要求

6.1.1企业应按照《环境监测管理办法》等规定，建立企业监测制度，制定监测方案，对污染物排放状 况及其对周边环境质量的影响开展自行监测，保存原始监测记录，并公布监测结果。 5.1.2企业安装污染源排放自动监控设备的要求，按有关法律和《污染源自动监控管理办法》的规定执 行。 5.1.3企业应按照环境监测管理规定和技术规范的要求，设计、建设、维护永久性采样口、采样测试平 台和排污口标志。 5.1.4对企业排放的废水和废气的采样，应根据监测污染物的种类，在规定的污染物排放监控位置进行 有废水、废气处理设施的，应在该设施后监控。

6.2水污染物监测要求

6.2.1水污染物的监测采样按HJ/T91、HJ493、HJ494、HJ495的规定执行。 6.2.2对企业排放水污染物浓度的测定采用表5所列的方法标准。 5.2.3本标准发布实施后，表5所列污染物如有新发布的国家环境监测分析方法标准，其方法适用范围和 条件相同的，也适用于本排放标准对应污染物的测定，

表5水污染物浓度测定方法标准

HGJ 212-1983 金属焊接结构湿式气柜施工及验收规范6.3大气污染物监测要求

6.3.1排气筒中大气污染物的监测采样按GB/T16157、HJ/T397、HJ75、HJ76、HJ732规定执行；大气 污染物无组织排放的监测按HJ/T55规定执行。 6.3.2对企业排放大气污染物浓度的测定采用表6所列的方法标准。 5.3.3本标准发布后，表6所列污染物如有新发布的国家环境监测分析方法标准，其方法适用范围和条件 相同的，也适用于本排放标准对应污染物的测定

表6大气污染物浓度测定方法标准

采用手工监测时，按照相关监测技术规范要求获取的监测结果超过本标准排放浓度限值的，判 放超标。各级生态环境主管部门在对企业进行监督性检查时，可以现场即时采样或监测的结果 定排污行为是否符合排放标准以及实施相关环境保护管理措施的依据，

7.2企业按照法律法规及标准规范要求与生态环境部门联网的自动监测有效数据，大气污染物以任意1 小时平均浓度值作为达标考核的依据，水污染物以日均值作为达标考核的依据。 7.3国家和省对达标判定另有要求的，从其规定。

8.1新建企业自2020年7月1日起，现有企业自2022年7月1日起执行本标准。 8.2本标准由县级以上人民政府生态环境主管部门负责监督实施。 8.3在任何情况下《石油化工企业设计防火规范 GB50160—2008》，企业均应遵守本标准的污染物排放控制要求，采取必要措施保证污染防治设施正常 运行。

1新建企业自2020年7月1日起，现有企业自2022年7月1日起执行本标准。 2本标准由县级以上人民政府生态环境主管部门负责监督实施。 3在任何情况下，企业均应遵守本标准的污染物排放控制要求，采取必要措施保证污染防治设施 行