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JB／T 9481-2020 扩散硅力敏器件.pdf简介：

JB/T 9481-2020 是中国机械工业联合会和中国机械工程学会联合发布的标准，全称为《扩散硅力学传感器技术条件》。这个标准主要针对的是扩散硅（Diffusion Silicon）力敏器件，这是一种利用硅材料的半导体特性来感受和转换物理力（如压力、加速度）为电信号的传感器。

扩散硅力敏器件主要包括扩散硅压力传感器和扩散硅加速度传感器等，它们的工作原理是通过硅片上的扩散层在受到力的作用时，其电阻或电容会发生变化，从而通过测量这个变化来反映外部力的大小。扩散硅传感器具有体积小、灵敏度高、线性好、稳定性好、动态范围宽、频率响应快等特点，广泛应用于工业测量、航空航天、汽车电子、医疗器械等领域。

JB/T 9481-2020 标准对于扩散硅力敏器件的性能、制造、检验、标记和包装等方面提出了详细的要求，旨在确保产品的质量和一致性，推动我国扩散硅力敏器件产业的健康发展。

JB／T 9481-2020 扩散硅力敏器件.pdf部分内容预览：

6.7破坏压力额定值试验（适用时）

对器件施加产品技术条件（详细规范） 规定的超过测量上限一定比例的压力信号后卸载，并打 间予以恢复，然后按5.2.1的规定进行外观性能检测

住宅建筑电气设计规范条文说明 104页.pdf6.8零点长期稳定性,试验

在规定的稳定性检定周期内，器件每月至少连续通电4h一次，并进行3次或3次以上的校准 可确定零点长期稳定性指标。 在规定的期间（一个月）内，零点输出值的最大差值对静态校准时的满量程输出的百分比为零 用稳定性，应按公式（A.32）计算。

6.9.2频率响应（适用时）

在规定的频率范围内，对加在器件上的正弦变化的被测量来说，输出量与被测量振幅之比及输出量 和被测量之间相位偏差随频率的变化为频率响应。频率从零增至产品技术条件（详细规范）规定的频率 时，幅值误差、相位偏差不应超过产品技术条件（详细规范）的规定；对于动态压力器件，频率从近似 零增至产品技术条件（详细规范）规定的频率时，幅值误差、相位偏差不应超过产品技术条件（详细规 范）的规定。 频率响应应以在规定的频率范围内的频率和某一规定的被测量为基准。

6.9.3谐振频率（适用时）

6.9.4自振频率（亦称振铃频率）（适用时）

当被测量（压力）阶跃变化时，在器件输出中瞬时出现的自由振荡频率为自振频率，单位为赫 5阻尼比（适用时） 实际阻尼系数与临界阻尼所对应的阻尼系数之比为阻尼比。

9.5阻尼比（适用时)

6.9.6 上升时间 (适用时)

当被测量（压力）阶跃变化时，器件输出从规定最终值一个小的百分率上升到一个大的规定百分率 所需要的时间称为上升时间，用对器件施加规定阶跃压力信号时输出从10%上升至90%所需要的时间 「单位为毫秒（ms）或秒（s）1表示

6.9.7时间常数（适用时）

当被测量（压力）阶跃变化时，器件自施加阶跃压力后输出上升到最终值的63%所需要的时间称 为时间常数，用对器件施加规定阶跃压力信号时，自施加阶跃压力后器件输出上升到最终值的63%所 需要的时间「单位为毫秒（ms）或秒（s）】表示。

.9.8过冲量（适用时）

6.10环境适应性试验

器件的温度影响试验应按GB/T2423.1—2008中试验Ab和GB/T2423.2—2008中试验Bb的规定 进行。 试验时，首先记录环境温度，在一般试验大气条件下进行3次上、下限校准循环，测量其在一般 式验大气条件下的零点输出平均值及满量程输出平均值；也可将器件置于箱内温度与环境温度一致的高 低温试验箱内进行检测。即将器件置于合适的高低温试验箱内，在一定的温度（至少包括工作温区的上、 下限）下经过规定时间的充分热稳定之后，记录其温度值并进行一次测量上、下限校准循环（只进行 次循环），返回到开始前的同一温度值，再测量一次零点输出值及满量程输出值（允许只测量一次）。 最后按本标准公式（A.34）、公式（A.35）计算热零点漂移α和热满量程输出漂移β。

6.10.3冲击（适用时）

器件的冲击影响试验应按GB/T 将器件安装在冲击试验台上，按规定的加速度和轴向进行冲击，达到规定的冲击次数后，按本

5.4进行静态性能试验。

器件的加速度影响试验应按GB/T2423.152008的规定进行， 将器件安装在离心试验机上，在规定的方向上施加规定的加速度。加速度影响试验后，按本标准 5.4进行静态性能试验。

6.10.5恒定湿热（适用时）

器件的湿热影响试验应按GB/T2423.3一2016的规定进行。 将被检器件放置在恒温恒湿试验箱内，施加规定的温度（40℃土2℃）和相对湿度（93%土3%）， 保持规定的时间（48h）后，将器件取出放到一般试验大气条件环境中，在10min内测量器件的绝缘 电阻，并按本标准5.4进行静态性能试验

按被检器件型式的不同，使用下列方法之一进行气密性影响试验： a）绝压和密封参考压力器件：将被检器件置于真空箱内，接上测试记录仪器。当真空度达到规定 值并保持恒定时，记录器件的零点输出。在此状态下，保持规定时间，再记录零点输出，计算 零点输出变化。 b）单向和双向差压器件：将器件的“高”“低”压两端并接与标准气压表相连组合后再通过一个真 空阀门与真空泵连接组成系统，并将整个系统抽真空到规定的压力值，关闭真空阀门切断真空 源。在规定的时间内，观察标准气压表压力示值，其变化量应不超过规定值。亦可将真空泵和 真空阀门换成一正压力源，向器件“高”“低”压腔加压至规定值，并将器件浸入液体介质（如 水）中，在规定的时间内不应有可见的气泡逸出。 c）感压腔器件真空氢质谱检漏：将器件感压腔室与氢质谱检漏仪检测口相连，直接检测器件感压 腔的泄漏率。

6.10.7盐雾（适用时）

10.8热辐射（适用时）

器件的热辐射影响试验应按GB/T2423.24一2013的规定进行 试验后，按本标准5.2.1和5.3的规定进行外观和电气性能检验。

6.10.9低气压（适用时）

器件应按GB/T2423.21一2008的规定进行低气压影响试验。 试验后，按本标准5.2.1和5.3规定进行外观和电气性能检验，

6.10.10低温/低气压综合影响（适用时）

6.10.11高温/低气压综合影响（适用时）

6.10.12低温/低气压/湿热综合影响（适用时

将器件安装到专用的压力疲劳试验机上，按规定的压力范围、压力循环次数和变化速度（每分钟 数）进行压力循环后，再按5.4的规定进行静态性能试验

定的贮存条件贮存至规定时间后，再按5.4的规

器件检验分为出厂检验和型式检验。

每个器件应经制造厂检验部门按照规定的检验项目进行检验，检验合格后方可出厂。出厂检验 检验顺序按表3的规定。

表3检验项目和检验顺序

7.3.2型式检验项目

型式检验项目及检验顺序推荐按表3的规定执行，产品技术条件（详细规范）可根据器件的不同 原理、使用环境规定检验项目。

7.3.3抽样、判定规定

根据检验项目对质量特性的影响程度，将检验项目的不合格类型分为B类和C类，详见本标准 表3。 型式检验的抽样应按GB/T2829执行。采用判别水平I的一次抽样方案,样本量r=10，以不合格品 数为判断依据。提供的用于抽样的样品基数应大于2倍抽样样品数量。 对于B类不合格项，采用不合格质量水平RQL=20，判定数组Ac=1、Re=2。 对于C类不合格项，采用不合格质量水平RQL=40，判定数组Ac=3、Re=4。 对于某具体项目检验，当不合格品数小于或等于Ac时，则判定该检验项目合格；而当不合格品数 大于或等于Re时，则判定该检验项目不合格。 有下列情况之一时，判定本次型式检验不合格： 一无C类项目不合格，有三个B类项目不合格； 一有二个B类项目不合格，同时有一个C类项目不合格； 一有一个B类项目不合格，同时有三个C类项目不合格； 一无B类项目不合格，有五个C类项目不合格。 产品技术条件（详细规范）应规定具体采用的判别方法，也可根据具体产品本身的特点，规定不同 于以上方案的抽样方案、样本量和判别水平。

7.3.4对不合格判定的处理

判定为型式检验不合格时，应按GB/T2829规定

7.3.5型式检验后样品的处置

经过型式检验的样品， 品交付使用。在特殊情况下，在得到使用方的认 可以交付使用方，但应注明该产品 型式检验

8标志、包装、运输和贮存

器件按照以下顺序进行标志，如果无法标志齐全，将余下标志附到包装内： a）制造厂商标； b）型号； c）规格； d）编号

随机文件包括： a）产品合格证书； b）产品使用说明书：

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c）装箱单； d）随机备用附件清单； e）安装图； f）其他相关文件资料。

c）装箱单： d）随机备用附件清单； e）安装图； f）其他相关文件资料。

器件的包装应符合设计文件的要求，包装的图示标志应符合GB/T191的规定。产品应采用防雨、 防潮气聚集的塑料薄膜包裹，顶部、底部及产品四角应按需衬垫泡沫层；随机文件应进行密封防潮包 装，固定在包装箱内部明显的位置

器件的实际校准特性通过器件的静态校准获得。 在器件的整个测量范围内取m个校准点，校准点通常应包括零点和测量上限点，一般取m=（5～ 11）点，进行n次压力循环校准试验，校准循环一般取n=（3～5）次，则在任一校准点上分别有n个 正反行程试验数据，按公式（A.1）计算每个校准点上正行程试验数据的平均值，按公式（A.2）计算每 个校准点上反行程试验数据的平均值，按公式（A.3）计算总的平均值。 正行程平均值

Yui : 7 (A

=(Yui +YDr)

A.2.1端基直线平移法

按公式（A.4）计算端点连线方程Yp。

式中： X、X—测量上、下限压力值； 一测量上、下限输出值的平均值，

端基平移直线作为参比工作直线方程按公式（A.5）计算。

直线作为参比工作直线方程按公式（A.5）计算

式（A.6）计算各校准点正行程平均值与端点连线方程的差值，按公式（A.7）计算各校准点反 值与端点连线方程的差值。

从公式（A.6）、公式（A.7）的数据中，找出最大的正偏差AyLa和绝对值最大的负偏值AyLH，则端 基平移直线的截距α按公式（A.8）计算。

斜率b按公式（A.9）计算。

直线作为参比工作直线方程按公式（A.10）计算

截距a按公式（A.11）计算。

式中： n校准点个数。 斜率b按公式（A.12）计算。

A.2.3总平均值工作特性

人工回填土施工工艺标准(QB-CNCEC J010303-2004)A.2.4刻度方程工作特性

对于非定点使用的非线性器件及带刻度 可采用刻度方程为其工作特性。

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A.3.1线性器件满量程输出Y.s

器件测量上限输出值与测量下限输出值之差的绝对值（以理论工作直线的计算值为依据）为满量程 输出DB5104／T 39-2020 乡镇（街道）、村（社区）退役军人服务站建设和服务规范.pdf，按公式（A.13）计算。

b——理论工作直线的斜率： Xr、X—测量上、下限压力值。