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T∕CEMIA 006-2018 膜厚监控用石英晶振片.pdf简介：

"T∕CEMIA 006-2018"是中国电子测量与仪器技术协会（CEMIA）发布的一项标准，其中提到的"膜厚监控用石英晶振片"，实际上是用于监控薄膜或涂层厚度的一种精密测量工具。石英晶振片因其高精度、稳定性好、频率响应宽等特点，在薄膜技术、半导体制造、光学等领域广泛应用。

石英晶振片通常是由高纯度石英材料制成，其厚度可以通过精确控制其基质厚度来实现。在膜厚监控中，石英晶振片的厚度变化会改变其共振频率，通过测量这个频率变化，可以推算出被测膜层的厚度。这是一种非接触式的测量方法，具有很高的精度和可靠性。

"CEMIA 006-2018"标准可能是对这种石英晶振片在膜厚测量中的技术要求、测试方法、数据处理和报告等方面的规定，以确保其在工业应用中的准确性和一致性。

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产品标记方法应符合以下规定：

示例：W14Au01代表直径为13.97mm、铬金电极、双面满电极图形石英晶振片。

5.1人造石英晶体材料

用于制造产品的人造石英晶体材料应符合GB/T3352一2012框架结构定型组合钢模板施工工艺标准，其中： a）包裹体密度≤3级； b) 红外质量级别≥C级（Q值≥180万）； c） 腐蚀隧道密度≤3级（≤100条/cm）

产品结构和外形尺寸公差见图1～图4

注：图中阴影中部分为电极，其材料为金（Au）、银（Ag)或银铝（AgAI)，由具体型号确定

图1W14YY01型石英晶振片外形尺寸

图2W14YY02型石英晶振片外形尺寸

的性能参数应满足表1

T/CEMIA0062018

图3W12YY01型石英晶振片外形尺寸

图4W12YY02型石英晶振片外形尺寸

T/CEMIA 006—2018表1(续)项目要求谐振电阻/α≤15≤20并电容/pF01型≤31,02型≤19品质因数/Q>125 k实际频率可在标称频率范围内土50kHz选用。5.4激励电平相关性石英晶振片的激励电平相关性应满足表2的规定，表2激励电平相关性R序号谐振电阻/α1<5≤525~10≤2.0310~20≤1.8420~35≤1.5注： R.低激励电平下测得的谐振电阻，Rz2高激励电平下测得的谐振电阻。5.5无用响应石英晶振片的无用响应满足表3的规定。表3无用响应测量条件与要求扫描范围扫描点数电阻比值要求f。～f。+500kHz≥250>25.6外观质量崩边小于0.1mm，无刀痕、划痕、裂纹、炸口、附着粉、阴阳面、印痕、水印、花斑、油污、污染物等缺陷。6试验和测量方法6.1一般规定试验条件应满足GB/T2421.1一2008中5.3的规定a)温度15℃~35℃；b)相对湿度45%~75%；c)气压86kPa~106kPa(860mbar~1060mbar)。4

T/CEMIA0062018

按GB/T12273.1一2017中4.7.2的规定进行

按GB/T12273.12017中4.7.5的规定进行

按SJ/Z9154.3一1987规定的方法进行

按SJ/Z9154.3一1987规定的方法进行

采用非接触测量，测量工具的选择应保证产品尺

用5～10倍放大镜在日光灯下测量裂纹、炸口、崩边，在强灯光下目检破碎、附着粉、阴阳面、污染 快陷。

等效测量方法，但在出现争议时以本标准规定的测

检验分为逐批检验、鉴定检验和周期检验

检验批由同一条件下生产的同一型号、同一规格且一次提交检验的产品组成

7.2.2检验项目顺序与分组

逐批检验项目与顺序按表4的规定进行

7.2.3抽样与检查水平

被检验样品有任意1项不符合表1要求的判定为样品不合格。 本批产品不合格样品数达到和超过表4和GB/T2828.1一2012规定的允许不合格数则判定本批 产品为不合格批。

经逐批检验不合格的检验批，经100%测试剔除不合格品后，允许再次提交检验，但应按 GB/T2828.1一2012规定的转移原则转人加严检验

7.3鉴定检验和周期检验

新产品试制定型前进行鉴定检验；检验要求同周期检验。 有下列情况之一时，应进行周期检验： a）材料或工艺变更后； b）生产设备大修或更新后； 停产超过3个月，再次恢复生产时； d）正常生产时.每6个月进行一次

的样品应从本周期生产并经逐批检验合格的产品

7.3.3检验项目、顺序与分组

鉴定检验和周期检验的检验项目、顺序、分组、样品数、合格判定按表5的规定进行

T/CEMIA0062018

表5鉴定检验和周期检验项目

按同一产品规格和标称频率划分代表组进行周期检验

GB／T 24674-2021 污水污物潜水电泵.pdf8标志、包装、运输、购存

在产品包装标签上应印有以下内容： a）公司标志： 产品型号，按4.2格式进行标记； c）生产批号。

在产品包装标签上应印有以下内容： a）公司标志； b）产品型号，按4.2格式进行标记； c）生产批号，

个铬及PBB（多漠联苯）、PBDE（多 苯醚）、DEHP、BBP、DBP、DIBP等有害物质满足RoHS指令/2011/65/EU的要求

内包装为专用托盘包装或纸盒，并以真空袋密封。除非合同另有规定，托盘或纸盒上应注明 制造厂名称或商标； b) 产品型号； c） 晶振片标称频率； d） 每盘（盒）的晶振片数量； e 包装日期操作人员编号

外包装为塑料或纸箱包装。 除非另有规定DG∕TJ 08-2241-2017 透水人行道技术规程，箱内应有装箱单，其上应 载明： a) 产品名称； b) 标称频率；