GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级.pdf

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GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级.pdf简介:

GB/T 25915.10-2021是中国国家标准,全称为《洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级》,该标准主要针对洁净室及相关受控环境中,根据化学物浓度的控制来确定表面洁净度的等级。洁净室是需要控制微粒和化学物质污染的环境,如制药、食品、电子、生物技术等行业。

表面洁净度等级的划分是根据表面可吸附的特定化学物质(如油脂、尘埃、微生物等)的浓度来定的。按照该标准,洁净度等级通常分为几个级别,比如A级、B级、C级、D级等,每个等级对应不同的化学物浓度限制。例如,A级洁净室要求化学物浓度极低,适合对产品质量要求极高的场合,如无菌制剂的生产;而D级洁净室则对化学物浓度的要求相对较低,适合于一般实验室或生产环境。

通过这个标准,可以确保在特定的洁净环境下,产品的质量和生产过程的可靠性。企业需要根据自身的生产需求和产品的敏感度,选择合适的洁净度等级来控制环境的污染水平。

GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级.pdf部分内容预览:

表D.1直接法及其应用

表D.1直接法及其应用(续)

D.2.8间接法(预处理和测量)

测量法及其应用见表D.

表D.2间接测量法及其应用

表D.2间接测量法及其应用(续)

D.2.9采样、分析及相关质量控制(OC)

采样、分析和相关QC见图D.3

图D.3采样、分析和相关OC内容的总体流程图

定额[2020]1号--电力工程造价与定额管理总站关于发布2015版电网技术改造和检修工程概预算定额2019下半年价格水平调整系数的通知D.2.10 分析质量控制

总之,为了监测方法的效果,或为将准备阶段和测试阶段的变动和偏差量化,在关键采样与分析阶 段引入加标样本。分析方法对每个阶段加标水平做出说明。在这个硅晶圆片的例子中,注人加标分析 物的浓度和总离子色谱(TIC)宜在所要求的可靠性范围内,与校准标准物相同,与所加的量相同。例 如,加到晶圆片热脱附的100ng注人加标样本,在浓度和TIC图形(见参考文献[14])上等同于100ng 校准标准物。

附录E (资料性) 测试报告 表E.1是测试报告示例。供需双方商定的其他内容也可作为测试报告的组成部分

表E.1按化学物浓度测试表面洁净度辅助文

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