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GB／T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性.pdf简介：

GB/T 25915.14-2022 是中国国家标准，全称为《洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性》，主要针对洁净室和相关受控环境的设计、建设和运行提供了指导。该标准的第14部分专门关注于如何通过粒子浓度来评估设备在洁净环境中的适用性。

在洁净室内，粒子浓度是衡量空气质量的重要指标，它直接影响到设备的性能和产品的质量。设备的适用性评估主要包括以下几个方面：

1. 粉尘过滤效率：设备如空气净化器、风机、过滤器等应具备足够的过滤能力，能有效去除空气中的颗粒物，达到预定的粒子浓度要求。

2. 静电控制：在某些洁净室内，如电子设备制造等，静电对粒子的产生和吸附有很大影响，因此设备需要有良好的静电控制功能。

3. 气流组织：设备应能确保气流的稳定性，避免粒子的扩散和重新分布，保持洁净室内的粒子浓度在可控范围内。

4. 设备运行稳定性：设备应能长期稳定运行，不会因时间、使用等因素导致粒子浓度的升高。

5. 定期检测：设备的适用性需要通过定期的粒子浓度检测来验证，以确保其持续符合洁净室的要求。

综上，GB/T 25915.14-2022 提供了详细的评估方法和标准，以帮助用户选择和维护适合的设备，保证洁净室及相关受控环境的高效运行。

GB／T 25915.14-2022 洁净室及相关受控环境 第14部分：按粒子浓度评估设备适用性.pdf部分内容预览：

第14部分：按粒子浓度评估设备适

下述术语和定义适用于本文件。 3.1 洁净度cleanliness 污染物浓度控制在一定限值以内的状态。 3.2 洁净室cleanroom 空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间，其设计、建造到运行均使进人、产生、滞留于房间的粒子 受控。 注1：规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。 注2：也可对影响洁净度等级的其他因素，如空气中化学物、微生物或纳米尺度粒子浓度等，以及影响表面洁净度等 级的其他因素，如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等，作出规定并进行控制。

下述术语和定义适用于本文件。 3.1 洁净度cleanliness 污染物浓度控制在一定限值以内的状态。 3.2 洁净室cleanroom 空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间，其设计、建造到运行均使进人、产生、滞留于房间的粒子 受控。 注1：规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。 注2：也可对影响洁净度等级的其他因素，如空气中化学物、微生物或纳米尺度粒子浓度等，以及影响表面洁净度等 级的其他因素，如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等，作出规定并进行控制。

实际测试评估前后，都应对设备进行目视检查。 目视检查应确认所有的外包装已去除，设备未损坏，且设备已正确组装，必要的动力设施已联接 位。 应对表面洁净度进行定性评估，这个过程中应严格进行下述定性测试。这部分目视检查包括对颗 立物、表面保护膜或异常出现的润滑剂进行评估。 目视检查的目的如下： 1 识别生产、打包、运输或刚开始组装过程中产生的颗粒物及保护膜等污染物； 识别前期清洁过程未去除的污染。 目视检查的目的不是测量表面洁净度。 根据污染所处的位置不同，对目视检查的结果应有以下要求： 一 测试后对表面洁净度进行目视检查，做好记录并进行对比； 为重复开展或持续改进清洁工艺提供基础。 对设备表面可见污染的检测效率，取决于下列因素： 被检表面的可接近程度及其朝向； 设备制造所采用的材料、表面状况与表面处理； 视觉参数（如照明、视觉范围、视觉放大、观测距离）。

DB45／T 954-2020 高速公路交通标志和标线设置规范.pdf6悬浮粒子浓度测量的适用性评估

本章的目的是通过在洁净室内设备的悬浮粒子高浓度（HPC)位置或附近设置测点，提出测量悬浮 粒子释放速率的一种合适方法。 该评估方法与GB/T25915.1规定的一个或多个粒径档对应的空气洁净度分级系统建立关联。 为了评估设备在洁净室中的适用性，需要识别设备散发HPC的位置，最终的适用性测试包含设备 散发HPC位置。因为事先不知道释放粒子的粒径分布，所以要求测量多个粒径范围。宜选择3个传 播范围较广的粒径档。 由设备评估得到的粒子浓度与GB/T25915.1规定的洁净度等级对应的粒子浓度限值相比较。 对需要测试的设备，应确保其已经符合洁净室设计原则。这些原则包括但不局限于下列方面： 一选择合适的材料及表面镀层； 一一无气流死角； 1 便于清洁； 维护方便。 本测试方法手用于确定神测设名的粒子总聚妆南

图1给出评估所需的基本步骤。

当确定适用性评估的范围时，需考虑影响评估结果的各个方面，例如（但是不局限于）： 同种设备之间的差别； 被测设备的预处理（累计运行时间）； 设备的磨合期。 测试之前应确认测试环境（见6.2.4与6.2.5）。

当确定适用性评估的范围时，需考虑影响评估结果的各个方面，例如（但是不局限于)： 同种设备之间的差别； 被测设备的预处理（累计运行时间）； 设备的磨合期。 测试之前应确认测试环境（见6.2.4与6.2.5）。

6.2.3代表性运行模式

应明确设备代表性的运行模式，确保能探测到粒子的释放源。运行模式应能反映设备便 设备在不同状态下运行时，应确定所采用的评估状态。测试前应确认设备运行参数

角设备代表性的运行模式，确保能探测到粒子的释放源。运行模式应能反映设备使用目的。 状态下运行时，应确定所采用的评估状态。测试前应确认设备运行参数

6.2.4测试环境的选取

应采用标准程序；若无标准程序，应记录好所选择

待评估设备安装前，应明确测试目的并选择测试环境。 在多个测试平面中进行全部或部分前期测试时，宜增加测试平面的示意图。 测试方法和设备，能符合GB/T25915.1和GB/T25915.3的要求，并考虑下列要求： 悬浮粒子浓度：测试环境的空气洁净度等级至少优于其应用目标等级一个级别（由 GB/T25915.1确定）； 垂直风速：0.3m/s~0.5m/s； 温度：18℃~25℃； 相对湿度：30%～70%。 其他前期测试能包括下列项目： 气流流向可视化测试； 静电和离子发生测试； 粒子沉降测试。 应将考虑的结果用于确定测试环境（见6.2.5）。

6.2.5测试环境的确定

测试环境的ISON级至少优于其应用目标等级一个级别（由GB/T25915.1确定）。 注：ISO1级设备的适用性测试可在ISO1级环境中进行。 除了设备本身作为尘源之外，测试环境中不应有其他尘源，以避免影响测试结果。这能通过采用单 向流来实现。

6.2.6HPC位置的初步

对于有运动部件的设备，不同部位产生的粒子浓度经常有很大的差异。 适用性评估测试应包含并确定HPC位置。评估应包含运动部件、动力设施、设备接口等。 注：运动部件的数量能影响初步识别的HPC位置数量。 识别HPC位置时，若影响采样安全，可调整采样探头的距离和位置。 应采用光散射粒子计数器（LSAPC)对设备进行全面扫描，来初步识别HPC位置。宜采用采样探 头扫描包括设备占据的整个区域。当用LSAPC的采样探头扫描设备时，可识别HPC位置。根据所使 用的不同型号LSAPC，可用可视化或声音的方式来识别HPC位置。应选择合适的采样时间，以正确识 别HPC位置。 本评估宜包含之前识别的污染源。 粒子污染源初步识别的结果是定性的。

6.2.7HIPC位置的精确识别

初步识别HPC位置后，使用采样流量至少为28.3L/min、采样探头开口面积为20cm²的 LSAPC，精确定位HPC的位置。测量过程中，通过调整LSAPC采样探头的位置，可优化HPC位置的 识别过程。应记录采样探头位置。根据6.2.6初步识别的每个HPC位置，重复此步骤。 注：测点位置的数量受到运动部件数量的影响。

应选择6.2.7确定的粒子高浓度HPC位置进行适用性测量。至少选择1个HPC点。能增加特别

6.2.9.1一般规定

应使用下述步骤，对6.2.8获得的粒子浓度数据进行处理。 由6.2.8获得的特定粒径档的粒子浓度数据进行统计分析。当单次测量的均值>10.000时，应使 用步骤a）（见6.2.9.2）。当测量的均值z≤10.000时，应使用步骤b）（见6.2.9.3）

6.2.9.2步骤a)

使用公式(1)计算粒子数量的均值：

式中： 工 一一均值； 7 采样数； ,—粒径档的第n个单次测量读数。 使用公式（2)计算标准偏差：

置信度（1一α）=95%时的置信上限；

工 一均值； 一一标准偏差； 1.66一t分布系数。 注：置信度（1一α)=95%、100个测试数据的置信上限对应的t分布系数t=1.66。 应使用公式（4)计算值：

6.2.9.3步骤b)

若测试结果的均值z≤10，则使用表1泊松分布来确定置信上限。 粒子浓度的均值按公式(1)计算。

表1步骤b)中的置信上限

注：基于95%置信度的泊松分布。

P。将用于6.2.10中的评估。 注：具体示例参见附录A。

6.2.10基于GB/T25915.1分级体系的评估

包含适用性测试可复现的所有信息。 包括下列章节推荐的信息。可添加进一步相关的

记录包含下列内容： a） 测试项目概述； b） 参考标准及指南； c）日 日期； d） 评估测试地点； e) 测试人员； f） 委托方； 设备描述锚索施工工艺，包括运行模式； h）被测设备标识。

除了通常的记录外，还有下列要求。 B) 1 对被测设备的观察：一般状况、受损状况、与动力设施相接的兼容性 b 对外观的目视检查： 1）描述目视检查的方法（如普通方式或放大方式，其他光源等)； 2）所选“关键”表面的描述及原因，包括示意图和实物照片； 3）此外，对设备的每一个表面进行目视检查： 所使用的放大倍率； 对所用光源的描述； 检查人员与所检查表面之间的距离；

对观察到的污染进行描述； 污染可移动性的评估结果

7.4测试环境评估记录

除了通常的记录外，应说明每个测试设备和装置的种类及校准状 a）悬浮粒子浓度： 1）对双方达成一致的粒径档进行测试； 2）对测试环境进行洁净度分级； 3）对采样探头及其朝向进行描述； 4）采样位置。 b）流速及测量位置。 c） 温度及测量位置。 d）相对湿度及测量位置。 e） 其他测试信息： 1）气流流向可视化、方法描述、结果、依据的音视频文件； 2） 静电及离子发生测试的方法描述及结果； 3）粒子沉降测试的方法描述及结果。

分级测试记录应包含下列内容： a） 测试布局现场图或示意图； b）测试环境的周围状况和安装环境： 1）温度， 2）相对湿度， 3）平均风速， 4）根据GB/T25915.1的洁净度等级ISON； c）已经进行的测试及结果； d）代表性运行模式； e）采样探头位置及选取原因； f） 运行参数； g）测试期间发现的任何异常； h）LSAPC的序列号、测量范围、校准信息； i) 采样探头种类； 1 测试时间； k）每个位置的采样次数； 1）采样流量及时间； m) ）所测粒径档及浓度； n）数 数据分析； o）测试后被测设备目视检查的结果。

应按下列方式表述设备在洁净室中的适用性。 a） 根据本文件，设备在代表性运行模式下的评估结果表明： 设备Z适用于在ISOX级的洁净室中使用（Yμm)。 其中， X为根据6.2.10确定的洁净度等级ISON； Y为测量的粒径档； Z为设备唯一性标识（如型号、序列号、制造商）。 b）代表性运行模式的陈述。 根据第7章的条款(包括目视检查的结果)所做的记录应是洁净室适用性完整表述的不可分害 部分。

A.2在一个HPC位置处的测量值

GB／T 38936-2020 高温渗碳轴承钢附录A (资料性） 测试数据处理示例