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GB／T 17472-2022 微电子技术用贵金属浆料规范.pdf简介：

GB/T 17472-2022，全称为《微电子技术用贵金属浆料规范》，这是一个由中国国家标准管理机构制定并发布的技术标准。这个标准主要适用于微电子行业中的贵金属浆料，这是一种用于制造半导体器件、电子元器件等的特殊材料，其中包含了贵金属（如金、银、铜等）与其他成分（如溶剂、粘结剂等）混合而成的膏状或浆状材料。

该标准对于贵金属浆料的性能要求、制备方法、检测方法、存储和使用条件等进行了详细规定，包括但不限于浆料的粒度分布、黏度、贵金属含量、分散性、稳定性、环保性等关键参数的控制。这些规定旨在保证贵金属浆料的质量稳定性和一致性，以满足微电子制造过程中的高精度和高可靠性需求。

通过遵循这个标准，微电子企业可以确保其使用的贵金属浆料符合行业内的技术标准，提高产品质量，降低生产风险，并与国际先进水平保持同步。

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GB/T 174722022

本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 本文件代替GB/T17472—2008《微电子技术用贵金属浆料规范》，与GB/T17472一2008相比，除 调整和编辑性修改外，主要技术变化如下。 更改了烧结型浆料的烧结温度范围。由“400C～900C”更改为“400C～1600C”（见 3.1，2008年版的3.1）。 增加了对固化型浆料固化条件的详细说明（见3.2）。 更改了计算浆料固体含量时的条件。由“浆料在400℃～900C灼烧后”更改为“浆料在 750C灼烧后”，由“浆料在室温至250C加热后”更改为“浆料在一定温度（25C～400C）加 热后或在紫外光（波长为100nm～400nm的电磁波）的照射下或在电子束辐射（电子的能量 为30keV～300keV)的照射下至恒重”（见3.3，2008年版的3.3、3.4）。 更改了浆料细度的定义。由“浆料中固体微粒的大小”更改为“浆料中颗粒物的分散程度”（见 3.4，2008年版的3.5）。 增加了方阻定义中导电膜厚度规定：25.4μm。增加了方阻的折算公式（见3.5）。 增加了导电膜示意图（见3.5)。 删除了牌号表示方法中非贵金属浆料的字母标识（见2008年版的4.1.3)。 更改了牌号表示方法中“b”的含义。由“烧结型浆料或固化型浆料”更改为“工艺类型”（见 4.3，2008年版的4.1.3）。 删除了牌号表示方法中电极浆料的字母标识（见2008年版的4.1.3）。 更改了浆料牌号的表示方法。由“d一金属名称。用化学元素符号表示金属名称”更改为 “d一一金属相成分。用化学元素符号表示金属名称，元素符号后的数字表示该金属占金属相 的质量分数”（见4.3，2008年版的4.1.3）。 删除了浆料对使用贵金属原料的要求（2008年版的4.2)。 增加了外观质量的试验方法（见6.2)。 增加了检验项目和取样的相关内容（见7.3)。 增加了外观质量项是否合格的判定规则（见7.5.1)。 增加了除外观质量外的检验项目出现不合格时，复检时判定产品是否合格的详细规则（见 7.5.2)。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中国有色金属工业协会提出。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。 本文件起草单位：贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、西安宏星电子 科技股份有限公司。 本文件主要起草人：李俊鹏、李玮、朱武勋、孙社稷、李世鸿、左川、李燕华、刘继松、马晓峰、王大林、 、赵莹。 本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为： 1998年首次发布为GB/T17472一1998，2008年第一次修订； 本次为第二次修订。

GB/T 174722022

警示一一使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问 题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家相关法规规定的条件，

NB／T 10030-2016 钻井液完井液对煤层气储层损害室 内评价方法本文件规定了微电子技术用贵金属浆料的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运 存及随行文件和订货单内容。 本文件适用于烧结型及固化型微电子技术用贵金属浆料（以下简称“浆料”）。非贵金属浆料也 照执行。

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB/T6739色漆和清漆铅笔法测定漆膜硬度 GB/T13452.2色漆和清漆漆膜厚度的测定 GB/T17473.1微电子技术用贵金属浆料测试方法固体含量测定 GB/T17473.2微电子技术用贵金属浆料测试方法细度测定 GB/T17473.3微电子技术用贵金属浆料测试方法方阻测定 GB/T17473.4微电子技术用贵金属浆料测试方法附着力测定 GB/T17473.5微电子技术用贵金属浆料测试方法粘度测定 GB/T17473.6微电子技术用贵金属浆料测试方法分辨率测定 GB/T17473.7微电子技术用贵金属浆料测试方法第7部分：可焊性、耐焊性测定

下列术语和定义适用于本文件。 3.1 烧结型浆料sinteringpastesofpreciousmetal 由贵金属或其化合物的粉末、添加物和有机载体组成的一种适用于印刷或涂敷的浆状物或膏状物 注：在一定温度下（400C～1600C)能与基板烧结形成无机功能相。 3.2 固化型浆料curablepastesofpreciousmetal 由贵金属或其化合物的粉末、片状粉末、无机添加物、有机添加物、有机树脂和有机溶剂组成的一种 适用于印刷或涂敷的浆状物或膏状物。 注：能在一定温度下（25C～400C)或在紫外光的照射下（波长为100nm～400nm的电磁波）或在电子束辐射的 照射下（电子的能量为30keV～300keV)固化与基板附着形成功能相。

下列术语和定义适用于本文件。 3.1 烧结型浆料sinteringpastesofpreciousmetal 由贵金属或其化合物的粉末、添加物和有机载体组成的一种适用于印刷或涂敷的浆状物或膏状物。 注：在一定温度下（400C～1600C)能与基板烧结形成无机功能相。 3.2 固化型浆料curablepastesofpreciousmetal 由贵金属或其化合物的粉末、片状粉末、无机添加物、有机添加物、有机树脂和有机溶剂组成的一种 适用于印刷或涂敷的浆状物或膏状物。 注：能在一定温度下(25C～400C)或在紫外光的照射下（波长为100nm～400nm的电磁波）或在电子束辐射的 照射下（电子的能量为30keV~300keV)固化与基板附着形成功能相。

固体含量solidscontent 浆料在750C灼烧后，剩余物质质量与试料质量的比值，以质量分数表示。（烧结型浆料适用） 浆料在一定温度（25C～400C)加热后或在紫外光（波长为100nm～400nm的电磁波）的照射下 或在电子束辐射（电子的能量为30keV～300keV)的照射下至恒重，剩余物质质量与试料质量的比 值，以质量分数表示。（固化型浆料适用） 3.4 细度finenessofpastes 浆料中颗粒物的分散程度。 3.5 方阻 sheetresistance 浆料经固化或烧成后，为了比较浆料的导电性，统一折算成长宽相等且厚度为25.4um时的导电膜 的电阻R口25.4m，单位为Ω/口或mΩ/口。 注：折算方法如公式（1)所示：导电膜示意图如图1所示

R， 实测导电膜的电阻，单位为欧或毫欧（Ω或mΩ）； A 导电膜的宽度，单位为毫米（mm）； T 导电膜的膜厚，如图1所示，单位为微米（μm)； ? 导电膜的长度，单位为毫米（mm）。

R25.Am=（R，·A·T)/(L·25.4)

m=（R,·A·T)/(L

附着力adhesion 浆料固化膜或烧成膜同基片的结合能力。 注：通常采用剥离方法测定。 3.7 浆料黏度viscosityofpastes 浆料流体内阻碍一层流体与另一层流体作相对运动的特性的度量。 3.8 分辨率resolutionofpastes 浆料用丝网印刷，经烘干，烧成或固化后连续、清晰分离的线条的最小宽度和线间距的数值。 3.9 可焊性 solderability 在一定的焊接条件下，熔融焊料浸润浆料烧成膜难易程度的度量。 3.10 耐焊性 1 solderingresistance 在一定的焊接条件下，浆料烧成膜在熔融焊料中抵抗焊料侵蚀的能力。 2

GB/T 174722022

4.1浆料按使用工艺分为烧结型浆料和固化型浆料。 4.2浆料按其所含贵金属的种类分为单元浆料及多元浆料。单元浆料为含一种贵金属或其化合物的 浆料，多元浆料为含两种或两种以上贵金属或其化合物的浆料。 4.3 浆料的牌号由以下五部分表示

浆料应为均一色泽的浆状物或膏状物。

浆料主要技术指标包括固体含量、细度、方阻、附着力、黏度、分辨率、可焊性、耐焊性、固化膜硬 度，供需双方应对其他可接受的技术指标达成

6.1浆料各项指标的检测均应在温度15C～35C，相对湿度45%～75%QGDW12160-2021电力变压器承受短路能力校核计算规范.pdf，大气压力为86kPa~ 106kPa的环境下进行。 6.2外观质量采用目视检查。 6.3 3固体含量试验按GB/T17473.1的规定进行。 6.4 2 细度试验按GB/T17473.2的规定进行。 6.5 方阻试验按GB/T17473.3的规定进行。

6.6 附着力试验按GB/T17473.4的规定进行。 6.7 黏度试验按GB/T17473.5的规定进行。 6.8 1 分辨率试验按GB/T17473.6的规定进行。 6.9 可焊性、耐焊性试验按GB/T17473.7的规定进行。 6.10 ? 固化膜硬度试验按GB/T6739的规定进行。 6.11 固化膜厚度试验按GB/T13452.2的规定进行。 6.12其他的检测内容及检验方法由供需双方商定

7.1.1浆料由供方或第三方进行检验，保证产品质量符合本文件及订货单的规定。 7.1.2需方应对收到的产品按本文件的规定进行检验。若检验结果与规定不符合时，应在收到产品之 日起一个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，可委托双方认可的单位进行取样检验。

成批提交验收，每批应由同一个牌号、同一批号的

供方根据需方对浆料的使用要求按照表1确定浆料的检验项目和取样方法。 需方提出的特殊检验项目，由供需双方商定，并在订货单中注明

从需方收到的不合格批号的产品中对剩余未开封的浆料进行取样，搅拌均匀，按7.3进行取 立。

2014年二级建造师《建筑工程管理与实务》培训精讲(276页)GB/T 174722022

7.5.1外观质量如有不合格，判该瓶不合格。 7.5.2当除外观质量外的检验项目出现不合格时，应从该批次产品中随机抽取2瓶（包括原检验不合 格的那瓶)浆料进行该项目重复试验，并以重复试验结果作为该批次产品的检验结果，若仍有不合格，则 判该批产品不合格。