HG/T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法.pdf

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HG/T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法.pdf简介:

HG/T 5962-2021 是一项中国国家标准,标题为"硅片切割废液处理与处置技术规范"。这份标准主要针对硅片切割过程中产生的废液,这是一种化学废液,含有硅酸盐、有机溶剂和其他可能的有害物质,如果不妥善处理,会对环境造成污染。

该标准规定了硅片切割废液的收集、储存、处理和处置的全过程。它包括以下几个主要环节:

1. 收集:要求对废液进行规范化、无泄漏的收集,避免二次污染。

2. 浓缩和预处理:废液可能需要通过物理或化学手段进行浓缩和预处理,如沉淀、过滤、吸附等,以去除大部分悬浮固体和有害物质。

3. 中和处理:废液中的酸碱物质可能需要通过中和反应,如添加碱性或酸性物质,使其pH值达到环保要求。

4. 污染物处理:针对特定的污染物,如重金属、有机物等,可能需要进一步的化学或生物处理技术进行净化。

5. 废液处置:处置方式包括但不限于固化稳定、安全填埋、资源化利用或者合规的环保焚烧,根据废液性质和当地法规选择合适的处置方法。

6. 监测和记录:在处理过程中需要进行污染物浓度监测,并保存相关记录,以确保处理过程的合规性和有效性。

总的来说,HG/T 5962-2021 是为了保护环境,防止硅片切割废液对土壤、水源和生态系统造成危害,实现绿色、可持续的工业生产。

HG/T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法.pdf部分内容预览:

片切割废液(浆)的主要成分见表1。

硅片切割废液(浆)的主要成分见表1。

5硅片切割废液的处理处置方法

切割废液(废水、冷却液)经压滤分离,液相经净化处理后得到回收水回用,固相(固废)经 后可回收硅,

GBT5135.19-2010 自动喷水灭火系统 第19部分 塑料管道及管件5.1.2工艺流程简述

切割废液(废水、冷却液)统一收集于废水收集池,用板框压滤机进行固液分离。液体经陶瓷 过滤后,大部分返回切割工艺回用(得到的回用水),少量高浓废水进入污水站高浓废水池进行 步处理。固废中含有硅粉及少量金属杂质,经处理后交由具有硅回收能力的企业进行硅提纯处理

5. 1.3工艺流程图

金刚线硅片切割废液处理处置工艺流程见图1。

5. 1. 4 工艺控制参数

5.1.4.1切割废液处理温度:50℃60℃ 5.1.4.2搅拌时间:30min~60min。 5.1.4.3水洗:pH6~8。 5.1.4.4烘干温度:105℃110℃。 5.1.4.5烘于时间:60min~90min

5.1.5主要生产设备

切割废液处理主要设备包括:加热搅拌装置、板框压滤机、陶瓷膜过滤器

5.1.6各工序处理效果及计算

各工序处理效果按附录A计算,并符合下列要求: a)回用水不溶物含量不大于10g/L;

图1金刚线硅片切割废液处理处置工艺流程

D)回用水pH为6~8

5.2砂线配合砂浆切割废液处理处置

5.2.1切割废浆料(离线)处理处置

5.2.1.1方法提要

切方后的切割废浆料(离线)经压滤分离得到聚乙二醇(高浓度),回用手切片工序。滤饼 )加入后续工序产生的回用液调制成浆,进行四道循环压滤得到聚乙二醇和含微硅粉的碳化硅 处理后得到成品聚乙二醇和碳化硅,可再利用

5.2. 1.2工艺流程简述

切方后的切割废浆料(离线)经压滤机固液分离得到聚乙二醇(高浓度)。滤饼(砂料)加入后 续工序产生的回用液调制成浆,进行四道循环压滤得到聚乙二醇,再经吸附脱色、脱悬分离、树脂交 换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇,与得到的聚乙二醇(高浓度)一并用于硅片切割。成品 聚乙二醇处理过程产生的固体废物(废活性炭、废树脂及浆渣)收集后交相关单位处理处置。 含微硅粉的碳化硅(滤饼)加入去离子水和聚乙二醇蒸发冷凝水,经悬流分离、底流筛分、带式 过滤、碱洗、酸洗、水洗后,烘干脱水、筛分,得到成品碳化硅及微硅粉(含少量或微量碳化硅)。 成品聚乙二醇及成品碳化硅回收再利用。微硅粉(含少量或微量碳化硅)统一收集,经消除反应特性 后转化为矿物性废物(一般性工业废物)

5.2.1.3工艺流程图

切割废浆料(离线)处理处置工艺流程见图2。

图2切割废浆料(离线)处理处置工艺流程

5.2.1.4工艺控制参数 5.2.1.4.1碳化硅回收工序 5.2.1.4.1.1 料浆温度:50℃~60℃。 5. 2. 1. 4. 1.2 搅拌时间:30min~60min。 5. 2. 1. 4. 1. 3 碱液(3%~5%氢氧化钠溶液)和固体颗粒的体积比:(3.5:1)~(4.5:1)。 5. 2. 1. 4. 1. 4 碱洗时间:4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 5 酸液(2%~31%盐酸溶液)与固体颗粒的体积比:(0.9:1)~(1.2:1)。 5. 2. 1. 4. 1. 6 酸洗时间:4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 7 水洗:pH6~8。 5. 2. 1. 4. 1. 8 烘干温度:105℃~110℃。 5. 2. 1. 4. 1. 9 烘干时间:60min~90min。

5.2.1.4工艺控制参数 5.2.1.4.1碳化硅回收工序 5.2.1. 4. 1.1 料浆温度:50℃~60℃。 5. 2. 1. 4. 1. 2 搅拌时间:30min~60min。 5. 2. 1. 4. 1. 3 碱液(3%~5%氢氧化钠溶液)和固体颗粒的体积比:(3.5:1)~(4.5:1)。 5. 2. 1. 4. 1. 4 碱洗时间:4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 5 酸液(2%~31%盐酸溶液)与固体颗粒的体积比:(0.9:1)~(1.2:1)。 5. 2. 1. 4. 1. 6 酸洗时间:4h~5h。 5. 2. 1. 4. 1. 7 水洗:pH6~8。 5. 2. 1. 4. 1. 8 烘干温度:105℃~110℃。 5. 2. 1. 4. 1. 9 烘干时间:60min~90min。

5.2.1.4.2聚乙二醇回收工序

5.2.1.4.2.1吸附脱色温度:料浆温度50℃60℃。 5.2.1.4.2.2吸附脱色时间:60min~120min。 5.2.1.4.2.3蒸馏脱水温度:105℃~110℃

5.2.1.4.2.1吸附脱色温度:料浆温度50℃~60℃。

5.2.1.4.2.1吸附脱色温度:料浆温度50℃60℃ 5.2.1.4.2.2吸附脱色时间:60min~120min。 5.2.1.4.2.3蒸馏脱水温度:105℃~110℃

2.1.5主要生产设备

切割废浆料(离线)处理处置碳化硅回收工序和聚乙二醇回收工序主要设备包括: a)加热搅拌装置、板框压滤机、四道循环压滤装置、悬流分离装置、底流筛分装置、带式过滤 机、烘干机及筛分收集系统等; b)聚乙二醇脱色装置、板框压滤机、树脂交换装置、微孔过滤器、蒸馏脱水装置等

5.2.1.6各工序处理效果及计算

各工序处理效果按附录A计算,并符合下列要求: a)成品碳化硅回收率不小于88%; b)成品聚乙二醇(含用于切片回用)回收率不小于98%。

5.2.2切割废浆料(在线)处理处置

5. 2. 2. 1 方法提要

切割废浆料(在线)先分离出规定米 二醇及废浆料(在线)。废浆料(在线)经固液分离,液相经蒸馏、汽提后得到成品聚乙二醇,固 相统一收集,经消除反应特性后转化为矿物性废物 股性工业废物)

5. 2. 2. 2 工艺流程简述

废浆料(在线)经螺旋沉降离心,分离出粒度符合切割砂浆要求的碳化硅,收集回用。不符合切 割要求的废砂浆再经压滤,得到聚乙二醇及含少量碳化硅的聚乙二醇微硅粉浆,微硅粉浆经四道循环 玉滤使固液分离,液相聚乙二醇经脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇。成 品聚乙二醇处理过程产生的固体废物(废活性炭、废树脂及浆渣)收集后交相关单位处理处置。 微硅粉(含少量碳化硅)统一收集,经消除反应特性后转化为矿物性废物(一般性工业废物)

5. 2. 2 3工艺流程图

废浆料(在线)处理处置工艺流程见图3。

HG/T59622021

5. 2. 2. 4 工艺控制参数

5.2.2.4.1吸附脱色温度:料浆温度50℃~60℃ 5.2.2.4.2吸附脱色时间:60min120min。 5.2.2.4.3蒸馏脱水温度:105℃~110℃。

5.2.2.4.1吸附脱色温度:料浆温度50℃~60℃。

5. 2. 2. 5 主要生产设备

废浆料(在线)处理处

切割废浆料(在线)处理处置的主要设备包括:四道循环压滤装置、聚乙二醇脱色装置、板框压 滤机、树脂交换装置、微孔过滤器、蒸馏脱水装置

5.2.2.6各工序处理效果及计算

成品聚乙二醇回收率不小于95%,按附录A计

硅片切割废液(浆)处理处置过程中) 产工艺中。不能达到循环使用要求的,应进行无害化处理处置,若排放应符合GB8978的要求。

硅片切割废液(浆)处理处置过程中产生的废气,应采用专业的喷淋吸收等,进行无害化处理,

排放应符合GB16297的要求。

硅片切割废液(浆)处理处置过程中产生的废渣,应按GB5085.7的规定进行鉴别,并符合下 列规定: a)经鉴别属于危险废物,应根据自身条件进行深度无害化处理,或交由有资质的专业危险废物 处理机构进行处理; b)经鉴别属于一般固体废物,应按GB18599的要求进行处理,

硅片切割废液(浆)处理处置过程中产生的废渣,应按GB5085.7的规定进行鉴别,并符合下 例规定: a)经鉴别属于危险废物,应根据自身条件进行深度无害化处理,或交由有资质的专业危险废物 处理机构进行处理; b)经鉴别属于一般固体废物,应按GB18599的要求进行处理。

A.1回用水不溶物含量的测定

用量筒量取250mL回用水,精确至1.0mL。用预先于105℃土2℃下干燥至质量恒定的滤机 为5μm~15μm的玻璃砂埚抽滤,用60mL热水(约60℃)分3次洗涤残渣,然后连同玻理 于105℃±2℃下干燥至质量恒定

A.1.2试验数据处理

用水不溶物含量的质量分数W1,按公式(A.1)

干燥至质量恒定后回用水不溶物和玻璃砂埚的质量的数值,单位为克(g); 干燥至质量恒定后玻璃砂的质量的数值,单位为克(g); V 量取回用水的体积的数值GB 51258-2017 玻璃纤维工厂设计标准,单位为毫升(mL)

A.2成品碳化硅回收率

成品碳化硅回收率W2;按公式(A.2)计算:

一含微硅粉的碳化硅的质量的数值,单位为克(g); 1 微硅粉的质量的数值,单位为克(g)

A.3成品聚乙二醇回收率

成品聚乙二醇回收率w3,按公式(A.3)计算

V一固液分离得到聚乙二醇(浓度折百)的体积的数值,单位为毫升(mL); V1——经脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇的体积的数值JGJ/T 72-2017 高层建筑岩土工程勘察标准(完整正版、清晰无水印).pdf,单位为毫 升(mL)。

V 固液分离得到聚乙二醇(浓度折百)的体积的数值,单位为毫升(mL); V1——经脱悬分离、树脂交换、微孔过滤及蒸发脱水得到成品聚乙二醇的体积的数值,单位为毫 升(mL)。

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