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GB／T 17874-2021 电子特气 三氯化硼.pdf简介：
GB/T 17874-2021是中国国家标准《电子特气 三氯化硼》的最新版本。该标准主要规定了电子特气中三氯化硼（Boron Trichloride，BCl3）的性质、技术要求、检测方法、储存和运输等方面的内容。
三氯化硼是一种无色或淡黄色的液体，具有强烈的氯气味。在电子工业中，三氯化硼主要用于作为半导体和微电子制造过程中的气体源，用于在硅片上形成硼扩散层，以改善硅的电学性能。它的纯净度和稳定性对电子器件的性能有很大影响。
该标准旨在确保三氯化硼的质量和一致性，以满足电子特气行业对于三氯化硼纯度、水分、氯化氢含量等关键指标的严格要求，保障电子设备的制造质量。同时，也为生产者、供应商、用户和检验机构提供了一致和可追溯的参考标准。
GB／T 17874-2021 电子特气 三氯化硼.pdf部分内容预览：
GB/T 17874—2021
三氯化硼产品应逐一检验并验收。当检验结果均符合表1的技术要求时，判该产品合格。当检验 结果有任何一项指标不符合表1的技术要求时，则判该产品不合格
酒店建筑智能化工程设计方案全套投标书GB/T 178742021
警示一一本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况，使用者应采取适当的安全和 措施。
6. 1 三氯化硼纯度
6.1.2三氯化硼纯度
按GB/T28726规定的切割进样的方法测定三氯化硼中氧十氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四 氯化硅含量。 允许采用其他等效的方法测定三氯化硼中氧十氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氯化硅含量。 当对测定结果有异议时，以本文件规定的方法为仲裁方法
GB/T 17874—2021
筛（CST),或采用其他等效预分离柱
色谱柱I：长约2m、内径约2mm的316L不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的5A分子 筛，或其他等效色谱柱。该柱用于测定氧十氩、氮、一氧化碳和甲烷含量。 色谱柱IⅡl：长约4m，内径约2mm的316L不锈钢管，内装粒径为0.18mm～0.25mm的一种高分 子聚合物(PorapakQ)或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳。 色谱柱ⅢI：长约50m、内径0.53mm、内涂聚甲基硅氧烷的毛细柱，或其他等效色谱柱。该柱用于 则定四氯化硅
按GB/T11736的规定执行
按GB/T11736的规定执行
6.4碳酰氯、氯化氢含量的测定
6.4.2.1参考的测定条件
6.4.2.2标准样品
6.4.2.3其他测定条件
其他测定条件按照仪器说明书执行
6.4.3.1启动仪器
按傅里叶红外光谱仪说明书开启仪器。调整仪器各部件达到测定条件，待仪器稳定后即可测定。
6.4.3.2工作曲线的建立
GB/T 178742021
6.4.3.3样品的测定
6.4.3.4结果处理
6.4.4其他等效方法
允许采用其他等效的方法测定三氯化硼中的碳酰氯、氯化氢。当对测定结果有异议时，以6.4规定 的方法为仲裁方法，
按GB/T34972的规定执行
7标志、包装、运输、购存及安全信息
7标志、包装、运输、购存及安全信息
·. 二氯化硼出厂时应有产品 产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号； 生产日期或批号，以及安全使用期或失效日期； 充装质量（kg）； 本文件编号及三氯化硼的纯度。 7.1.2包装容器上应涂刷“电子级三氯化硼”字样。 7.1.3三氯化硼的包装标志应符合GB190的相关规定，颜色标志应符合GB/T7144的规定，标签应符 合GB15258、GB/T16804规定的要求
7.2包装、运输及购存
7.2.1包装三氯化硼的气瓶应符合GB/T5099（所有部分）、GB/T33145的规定。 7.2.2三氯化硼的充装及贮运应符合GB/T14193、TSG07、TSG23的规定，充装及贮运的安全管理要 求见《危险化学品安全管理条例》特种设备安全监察条例》。 7.2.3三氯化硼的最大充装量按公式（3）计算：
式中： 2 一一气瓶内三氯化硼的质量，单位为千克(kg）;
一气瓶内三氯化硼的质量，单位为千克（kg）：
GB/T 17874—2021
F 三氯化硼的充装系数，F，=1.2kg/L； V 一气瓶标明的内容积，单位为升（L）。 7.2.4宜使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本文件的要求。瓶阀出气口连接方式宜使 用CGA660、DISS634 7.2.5应防止泄漏和瓶口被污染。 7.2.6 三氯化硼产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，应远离热源，不应暴晒
三氯化硼的安全信息应符合附录A的规定
GB/T17874202
应，生成氯化氢和硼酸；与碱金属、碱、苯胺、 氧化剂和有机物（如油脂）激烈反应。三 氯鼠化硼对眼、皮肤、呼吸道有强烈腐蚀性，吸人该 体可能导致肺水肿，肺水肿症状通常过几个小时以后 才变得明显，体力劳动使症状加重。
A.3.1生产过程密闭操作，生产装置全面通风。操作人员应经过专门培训，严格遵守操作规程。
A.3.1生产过程密闭操作，生产装置全面通风。操作人员应经过专门培训，严格遵守操作规程。 A.3.2为防止堵塞，使用前应清除系统中的水分 A.3.3操作人员应穿戴适当的个人防护装备。如耐腐蚀防化手套，防护眼镜，面罩和防溅防护服。现 场配备自给式正压呼吸器和气密式化学防护服
三产过程密闭操作，生产装置全面通风。操作人员应经过专门培训，严格遵守操作规程， 为防止堵塞，使用前应清除系统中的水分 作人员应穿戴适当的个人防护装备。如耐腐蚀防化手套，防护眼镜，面罩和防溅防护服。现 给式正压呼吸器和气密式化学防护服
L.4紧急情况应对措施
A.4.1发生火灾时，切断气源。消防人员应佩戴空气呼吸器，穿全身防火防毒服，在上风向灭火。尽可 能将容器从火场移至空旷处。 A.4.2灭火剂宜用干粉。不应使用水、泡沫和酸碱灭火剂。 A.4.3如果误吸入三氯化硼，迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给氧。如呼 吸停止、心跳停止，立即进行心肺复苏术，并就医。 A.4.4眼睛接触：立即分开眼脸，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10min～15min，并就医。 A.4.5皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水彻底冲洗，冲洗时间一般要求20min 30min.并就医
A.5.1尽可能切断泄漏源。 A.5.2 根据气体的影响区域划定警戒区，无关人员从侧风、上风向撤离至安全区 A.5.3 应急处理人员应佩戴内置正压自给式呼吸器，穿气密性化学防护服。 A.5.47 有液化气体泄漏，应注意防冻伤。 A.5.5不应接触或跨越泄漏物。尽可能切断泄漏源。 A.5.6防止气体通过下水道、通风系统和密闭性空间扩散
DBJT15-128-2017 高层建筑钢-混凝土混合结构技术规程.pdfGB/T 178742021
A.5.7喷雾状水抑制蒸气或改变蒸气云流向，避免水流接触泄漏物。不应用水直接冲击泄 漏源。 A.5.8构筑围堤堵截泄漏的液体。 A.5.9隔离泄漏区直至气体散尽，
A.5.7喷雾状水抑制蒸气或改变蒸气云流向，避免水流接触泄漏物。不应用水直接冲击泄漏物或泄 漏源。 A.5.8构筑围堤堵截泄漏的液体。 A.5.9隔离泄漏区直至气体散尽。
A.6.1贮存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。库房温度不宜超过30℃。 A.6.2防阳光直射，应与碱金属、碱、苯胺、磷化氢、醇类、强氧化剂和有机物（如油脂）分开存放 A1.6.3生产、使用、贮存三氯化硼的车间或场所应设置三氯化硼气体泄漏检测报警仪。 A.6.4贮存区应备有泄漏应急处理设备
A.7.1处置前应参阅国家和地方有关法规，宜将剩余的和未回收的废弃物交给有资质的单位处理。 A.7.2处置废弃的三氯化硼时，不应直接排放。
《风机盘管机组 GB/T 19232-2003》GB/T 178742021