《薄膜晶体管显示器件玻璃基板生产工厂设计标准》为国家标准,编号为GB51432-2020.pdf

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《薄膜晶体管显示器件玻璃基板生产工厂设计标准》(GB51432-2020.pdf)是一个由中华人民共和国国家标准化管理委员会批准并发布的国家标准。该标准主要针对薄膜晶体管(TFT)显示器件的玻璃基板生产工厂的设计进行规范,目的是为了保证工厂的建设和运营安全,提高生产效率,确保产品质量,以及优化工作环境。

GB51432-2020涵盖了玻璃基板生产工厂的总体布局、工艺流程设计、设备选型、消防安全、环境保护、职业健康与安全、能源利用效率等多个方面的要求。它详细规定了工厂设计的各个环节,包括原料处理、玻璃熔炼、基板制造、清洗和检测等,以确保整个生产过程的标准化和规范化。

这个标准对于参与薄膜晶体管显示器件生产的企业来说,具有重要的指导意义,能够帮助他们遵循国家法律法规,提升工厂的管理水平,降低生产风险,提高经济效益。同时,对于相关部门进行行业监管和企业资质审核也提供了重要的依据。

《薄膜晶体管显示器件玻璃基板生产工厂设计标准》为国家标准,编号为GB51432-2020.pdf部分内容预览:

9.4.1玻璃基板工厂内的空气洁净度、温度、湿度应满足生产工 艺的要求。 9.4.2玻璃基板工厂洁净室与周围的空间应保持一定的静压差, 静压差应符合下列规定: 7 1 不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa; 2 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa; 洁净室与室外的静压差不应小于1oPa 9.4.3 生产区净化房间的新风量应取下列两项中的较大值: 1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和: 2 供给洁净室(区)内每人每小时的新鲜空气量不小于40m, 供给非洁净室(区)内每人每小时的新鲜空气量不小于30m²。 9.4.4净化空气调节系统的新风应进行集中处理,新风处理机组 的设置应符合下列规定:

艺的要求。 9.4.2玻璃基板工厂洁净室与周围的空间应保持一定的静压差 静压差应符合下列规定: 1不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa; 2 洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa; 3 洁净室与室外的静压差不应小于10Pa。 9.4.3 生产区净化房间的新风量应取下列两项中的较大值: 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和: 2供给洁净室(区)内每人每小时的新鲜空气量不小于40m², 供给非洁净室(区)内每人每小时的新鲜空气量不小于30m。 9.4.4净化空气调节系统的新风应进行集中处理,新风处理机组 的设置应符合下列规定: 1送风机应采取自动调速措施; 2空气宜经过粗效、中效、高效过滤器三级处理; 3应有良好的气密性,在工作压力下的漏风率不得大于1%; 风机; 5寒冷地区或严寒地区的新风机组,应设置防冻措施以避免 危害机组的正常运行。 9.4.5净化空调机组的选用及布置应符合下列规定: 1 送风机宜采取变频调速措施; 2应有良好的气密性,在工作压力下的漏风率不得大于1%; 3当服务于生产连续性要求较强的或工艺对房间温湿度要 求较高的环境时,空调机组宜设置备机或设置备用风机。当空调 机组或风机产生故障时,备机或备用风机应自动启动。

2020年建筑质检员年终工作总结1补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和 2供给洁净室(区)内每人每小时的新鲜空气量不小于40m 供给非洁净室(区)内每人每小时的新鲜空气量不小于30m²

9.4.4净化空气调节系统的新风应进行集中处理,新风处理机组 的设置应符合下列规定: 1送风机应采取自动调速措施; 2空气宜经过粗效、中效、高效过滤器三级处理; 3应有良好的气密性,在工作压力下的漏风率不得大于1%; 4应设置备用新风处理机组,或在空调设备内设置备用 风机; 5寒冷地区或严寒地区的新风机组,应设置防冻措施以避免 危害机组的正常运行。 9.4.5净化空调机组的选用及布置应符合下列规定:

1送风机宜采耳变频调速措施: 2应有良好的气密性,在工作压力下的漏风率不得大于1%; 3当服务于生产连续性要求较强的或工艺对房间温湿度要 求较高的环境时,空调机组宜设置备机或设置备用风机。当空调 机组或风机产生故障时,备机或备用风机应自动启动。

规定: 1应根据洁净度等级及送风量来确定; 2应根据房间的层高、吊顶形式、气流要求以及工艺设备的 布置要求来确定; 应便于检修及更换过滤器; 送风量应能调节。 9.4.7 干冷却盘管的选用及布置应符合下列规定 冷冻水的进水温度,宜高于洁净室(区)空气的露点温度: 2外形尺寸以及处理温差应根据房间内的循环空气风量、负 荷情况以及空气过滤单元所提供的机外余压确定; 3布置在同一洁净室(区)内的干冷却盘管,在工作条件下空 4应设置排水设施,非落地安装的干冷却盘管应设置积 水盘; X 5供回水管上面阀组的位置设置,应考虑检修方便并避免设 置在重要工艺设备以及配电设备的上方。) 9.4.8空态洁净室噪声级设计应符合现行国家标准《电子工业洁 净厂房设计规范》GB50472的有关规定 9.4.9设置在融化区配电间及控制室的空调系统宜设置备用机 组。当采用冷冻水作为空调冷源且冷冻水系统不设应急电源时, 宜采用自带冷源的风冷空调机组作为备机。风冷空调机应由应急 电源供电。

10.1.5输送有腐蚀性介质的管道不宜直埋敷设。

10.2.1 生活饮用水、工业锅炉水和工业循环冷却水的水质应分 别符合现行国家标准《生活饮用水卫生标准》GB5749、《工业锅炉 水质》GB1576和《工业循环冷却水处理设计规范》GB/T50050的 有关规定。 10.2.2厂内生活用水量的确定应符合现行国家标准《建筑给水 排水设计规范》GB50015的有关规定。 10.2.3 噪声较大的管道不宜设置在对环境噪声要求严格的 房间。 10.2.4在满足水质和水压要求的前提下,生产和生活给水系统 宜利用市政给水管网的水压直接供水。

10.3.1应急给水系统所需水量应根据工艺设备的需求经计算确 定,系统的设计应能保证紧急状况下熔炉的安全。 10.3.2应急给水系统应设置高位应急给水箱,水箱的设置应符 合下列规定: 1水箱的设置高度应满足熔炉的水压要求,并宜采用重力直 接供水的方式; 2高位应急给水箱的储水量应根据工艺要求计算确定,高位 应急给水箱的有效容积不应小于应急给水系统10min的供水量; 3应急给水与其他用水合用的水箱应采取应急给水不作他 用的技术措施。 10.3.3当应急给水池(箱)内贮水48h内不能得到更新时,应设 置水池(箱)消毒处理装置。 10.3.4/应急给水系统的供水泵宜配备应急电源,并宜配备柴油 泉作为系统的备用。

10.3.5应急排水管道应按应急给水系统最大流量设置

10.4.1碎玻璃水系统所需水量、水压应根据生产工艺的需求经 计算确定,回水温度不应大于65℃。 10.4.2碎玻璃水系统的供水水质应满足设备工艺的需求。 10.4.37 碎玻璃水系统应设置备用水泵。 10.4.4碎玻璃水系统的用电设备宜配备应急电源。

10.5.1纯水站设计应符合现行国家标准《电子工业纯水系统设 计规范》GB50685的有关规定。 10.5.2纯水系统的规模、供水水质、水压和水温应根据工艺设备 的要求确定。 10.5.3纯水站的位置应满足工艺总体布局要求,并宜靠近用水 较集中的区域。 10.5.4水质要求较高的纯水系统应采用循环供水的方式,并应 符合下列规定: 1 循环管道宜采用同程布置; 循环附加水量宜大于或等于使用水量的30%; 3 干管流速宜为1.5m/s~3.0m/s; 4 不循环的支管长度不宜大于6倍管径: 5供水干管上应设清洗口。 10.6 研磨工艺水 10.6.1研磨工艺水系统所需水量、水压应根据工艺设备的需求 经计算确定 10.6.2 研磨工艺水系统的供水水质应满足工艺设备的需求。 10.6.3 研磨工艺水系统宜采用循环供水方式,并宜设置备用 设备。 10.6.4 研磨工艺水系统的水泵宜配备应急电源,

10.7 工艺循环冷却水

10.7.1工艺循环冷却水系统所需水量、水压、冷负荷应根据工艺 设备的需求经计算确定。对于水温、水压等要求差别较大的设备, 工艺循环冷却水系统宜分开设置。

10.7.3工艺循环冷却水系统的补水水质应满足工艺设备的 要求。 10.8废水处理 10.8.1生产废水分类应根据废水性质、污染物浓度和水量,结合 废水排放要求和废水处理工艺综合确定。 10.8.2生产废水处理系统应设置事故水池。 10.8.3 生产废水系统宜设置调节池。 10.8.4 废水处理构筑物的周围宜设置水质监测点。 10.8.5废水排放应符合现行国家标准《污水综合排放标准》GB 8978的有关规定。 10.9消防给水与灭火器配置 10.9.1玻璃基板工厂应设置室内外消火栓给水系统,避难走道 内应采用带消防软管卷盘的消火栓,设计应符合现行国家标准《建 筑设计防火规范》GB50016和《消防给水及消火栓系统技术规范》 GB50974的有关规定。 10.9.2生产厂房内各场所应配置灭火器,并应符合现行国家标 准《建筑灭火器配置设计规范》GB50140的有关规定。 10.9.3熔化区不应设置自动喷水灭火系统,应符合本标准第 6.2.3条的规定

据气体或液体特性确定设计要求,并应符合现行国家标准《爆炸危 险环境电力装置设计规范》GB50058的有关规定。 11.1.3与熔炉系统安全相关的用电设备负荷等级宜定义为一级 负荷中的重要负荷,与配料、熔化、成型工序有关的用电设备负荷 等级宜定义为一级负荷,与后加工生产有关的用电设备负荷等级 宜定义为二级负荷。 X 11.1.4六级负荷中的重要负荷用电设备DB13∕T 2057-2014 公路建设工程清单计价规则,应设置双路供电,并应 设应急电源。 11.1.5配料、窑炉、成型控制系统宜设不间断电源或动态稳压 电源。

11.2.4玻璃基板厂房低压配电电压等级应符合生产工艺用电要

11.2.5 变压器低压侧宜设置低压无功补偿柜,并宜加装适配的 电抗器

行标准《建筑照明设计标准》GB50034和《电子信息行业人】 明设计标准》SJ/T11665的有关规定,照明灯具宜选用节食 光源。

11.3.5备用照明设置应符合下列规定:

【1生产区均应设置备用照明,且备用照明宜作为正常照明的 部分,照度不应低于该场所一般照明照度值的20%。特别重要 的工艺场所其备用照明应为正常照明照度值。 2非工艺区备用照明设置应符合现行国家标准《建筑设计防 火规范》GB50016的有关规定。 11.3.6厂房内应设置供人员疏蔬散用的应急照明,并应符合现行 国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。 11.3.7洁净室(区)内一般照明用灯具宜采用吸顶明装、不易积 尘、便于清洁的洁净灯具。当采用嵌入式灯具时,灯具安装的缝隙 应有密封措施。

11. 4 防雷与接地

11.4.1玻璃基板工厂防雷设计应符合现行国家标准《建筑物防 雷设计规范》GB50057和《建筑物电子信息系统防雷技术规范》 GB50343的有关规定。 11.4.2厂房的保护性接地、工作接地性、电磁兼容性接地宜采 用共用接地方式DBJT45∕T 023.3-2021 四好农村路 第3部分:管理指南,并应进行等电位联结,接地电阻值不应大 于1?。

11.5通信与安全保护装置

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