GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法.pdf

GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法.pdf
仅供个人学习
反馈
标准编号:GB/T 39144-2020
文件类型:.pdf
资源大小:0.3 M
标准类别:综合标准
资源ID:47906
免费资源

GB/T 39144-2020标准规范下载简介

GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法.pdf简介:

"GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法.pdf" 是一份中国国家标准(GB/T)的技术文件,专门针对氮化镓(GaN)材料中镁(Mg)含量的测定方法给出了详细的测定规程。这个方法使用的是二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectrometry, SIMS)技术,这是一种高精度的分析技术,常用于材料科学和化学领域中微量元素的定性和定量分析。

SIMS方法通过轰击样品表面,产生各种离子,然后通过质谱仪分析离子的质量,从而确定元素的种类和含量。该标准适用于氮化镓材料的生产、科研和质量控制等领域,为确保产品中镁含量的准确测量提供了一种科学且可靠的方法。

该PDF文件可能会包含详细的实验步骤、方法原理、仪器要求、数据处理和结果解释等内容,是从事氮化镓材料相关工作人员必须参考的重要技术文件。

GB/T 39144-2020 氮化镓材料中镁含量的测定 二次离子质谱法.pdf部分内容预览:

国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会

GB/T39144—2020

本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准 化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。 本标准起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京聚睿众邦科技有限公司、东莞市中 家半导体科技有限公司、有色金属技术经济研究院、厦门市科力电子有限公司。 本标准主要起草人:马农农、何友琴、陈潇、刘立娜、何烜坤、杨素心、闫方亮、杨丽霞、颜建锋 倪

GB/T39144—2020

BS EN 12056-3-2000 Gravity drainage systems inside buildings - Roof drainage, layout and calculation氮化材料中镁含量的测定

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T14264半导体材料术语 GB/T22461表面化学分析词汇 GB/T32267分析仪器性能测定术语

、GB/T22461和GB/T32267界定的术语和定义

5.1二次离子质谱仪存在记忆效应,若测试过镁含量较高的样品,仪器样品室内会残留高含量镁,影响 镁含量的测试结果。 5.2仪器型号不同或者同一仪器的状态不同(例如电子倍增器效率、光圈大小、一次束流大小、聚焦状 态等),会影响本方法的检出限, 5.3在样品架窗口范围内的样品分析面应平整,以保证每个样品移动到分析位置时,其表面与离子收 集光学系统的倾斜度不变,否则会降低测试的准确度。 5.4样品表面吸附的镁离子可能影响镁含量的测试结果。 5.5测试的准确度随着样品的表面粗糙度增大而显著降低,应通过对样品表面化学机械抛光或者化学 离蚀抛光降低表面粗糙度。 5.6标准样品中镁含量的不均匀性会限制测试结果的准确度。 5.7标准样品中镁标称含量的偏差会导致测试结果的偏差

GB/T39144—2020

扇形磁场二次离子质谱仪(SIMS),应配备有氧一次离子源、能检测正二次离子的电子倍增器、法拉 第杯检测器和样品架。其中,样品架应使样品的分析面处于同一平面并垂直于引出电场(一般5000V 土500V,根据仪器型号的不同而不同)

测试样品的分析面应平坦光滑,表面粗糙度Ra不大于2nm。典型样品的尺寸为边长 10mm的近似正方形,厚度为0.5mm~

将样品装入 人样品平坦地放在窗口背面,并尽可能多地覆盖窗

8.4.1移动样品架,使测试时样品上形成的溅射坑在窗口的中心位置附近。 8.4.2调节氧一次离子束的位置,使其处于分析区域的中心,开始二次离子质谱剖析。首先以第一扫 描面积溅射样品50个~100个磁场周期,直到镁的信号强度稳定。减小扫描面积到第二扫描面积,继 续溅射样品,直到镁的信号强度稳定,

GB/T39144—2020

素"Ga+的离子计数率,对最后20个磁场周期的Mg、Ga+离子计数率的测试结果进行平均并输出 根据24Mg+、69Ga+离子计数率的输出值DB22/T 2648-2017 公路工程应用LED显示屏指南,计算出二者离子计数率之比。 3.4.4按照标准样品、空白样品、测试样品的测试顺序分别重复8.4.1~8.4.3步骤,对样品架上的样品 进行测试。 3.4.5如果测试的空白样品中的2Mg+离子计数率和"Ga+离子计数率之比超过测试样品的20%~ 50%,则停止测试,分析造成仪器背景较高的原因

9.1镁的相对灵敏度因子按式(1)计算:

镁的相对灵敏度因子按式(1)计算:

混凝土试块留置技术交底[Mg|u =Su(Me) X RSF(Ma

在同一实验室,选取2片氮化镓单 ,采用二次离子质谱仪按照本 定的方法进行测试。该方法单 实验

试验报告应包括以下内容: a)样品来源及编号; b)标准样品和测试样品的编号; 测试样品的取样位置; d)镁的相对灵敏度因子; 测试样品和空白样品中的镁含量; f 使用的仪器型号; g)操作者及测试日期; ) 本标准编号: 其他与本标准不一致的内容

©版权声明
相关文章