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GBT 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材.pdf简介：

GBT 39159-2020 是中华人民共和国国家标准，全称为《集成电路用高纯铜合金靶材》。该标准主要规定了集成电路制造中使用的高纯铜合金靶材的种类、化学成分、性能要求、制备方法、检测方法以及包装、储存和运输等方面的规定。它适用于集成电路制造中，特别是在光刻、溅射等工艺中使用的高纯铜合金靶材，对于保证集成电路的制造质量，提高器件的性能和可靠性具有重要意义。

该标准旨在促进集成电路用高纯铜合金靶材的生产和质量控制，确保其一致性、稳定性和可靠性，以满足集成电路产业的快速发展需求。通过遵循该标准，企业可以确保其产品能满足行业内的严格要求，同时也有利于提升中国在高端集成电路材料领域的技术水平。

GBT 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材.pdf部分内容预览：

国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会

GB/T391592020

本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。 本标准起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、宁波微泰真空技术 有限公司。 本标准主要起草人：曹欢欢、袁海军、姚力军、王学泽、曾浩、边逸军、钟伟华、周友平、贺昕、慕二龙， 高岩、江伟龙

GB/T391592020

外墙节能保温饰面工程集成电路用高纯铜合金靶材

本标准规定了集成电路用高纯铜合金靶材（以下简称靶材)的分类、技术要求、试验方法、检验规则 及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单（或合同）内容。 本标准适用于集成电路制造用的高纯铜铝（CuA1)合金靶材和高纯铜锰（CuMn)合金靶材

下列术语和定义适用于本文件。 3.1 靶材target 在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形 式脱离阴极而在阳极表面沉积， 3.2 靶坏 targetblank 阴极上用作溅射材料的材料。 3.3 背板backingplate 用来支撑或固定靶材的材料。 注：靶坏与背板可以通过焊接（如针焊、电子束焊、扩散焊等）、机械复合、粘接等方式连接 3.4 表面粗糙度 surfaceroughness Ra 加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。轮廓的平均算术偏差值Rα，即在一定测量长度 范围内，轮席上各点至中线距离y绝对值的平均算术偏差。用公式表示：

GB/T 39159—2020

GB/T391592020

产品晶粒度应符合表4的规定，并且晶粒大小分布均匀。需方如有特殊要求时，由供需双方商 在订货单（或合同）中注明

产品内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷。

复合体靶材的焊接质量应符合表5的规定

5.5外形尺寸及允许偏差

产品尺寸、规格及结构方式 股田而 材及靶坏的外形尺寸及其充许偏差应 6规定。需方如有特殊要求时，由供需双方商定 并在订货单（或合同）中注明

表6外形尺寸及允许偏差

表面粗糙度应符合图纸要求，图纸无要求时Ra值

GB/T39159—2020 缺陷。

6.1.1杂质元素、B、S、P、C1的分析方法接照

5.1.1杂质元素、B、S、P、C1的分析方法按照 6.1.2气体元素C、H、O、N的分析方 6.1.3合金元素的分析方法按照YS/ 182的规定执行。或由供需双方协商确定

细晶结构靶材的晶粒度检验接照YS/T347的规定进行，超细晶结构铜锰合金靶材晶粒 照GB/T36165的规定进行

的内部质量检验按照GB/T8651的规定进行

品的焊接质量检验按YS/T837的规定进行

产品的几何尺寸采用三坐标测量仪，按照加工图纸标识尺寸进行测量，其测量精度为0.001mm。

产品的表面粗糙度通过粗糙度测量仪，按照加工图纸标识尺寸进行测量，或按照供需双方 法测定。

质量及内包装质量目视检查，必要时，用放大镜可

7.1.1产品应由供方进行检验，保证产品质量符合本标准及订货单（或合同）的规定，并填写质量证 书。 7.1.2需方应对收到的产品按本标准的规定进行检验，如检验结果与本标准及订货单（或合同）的规定 不符时，应以书面形式向供方提出，由供需双方协商解决。属于表面质量及外形尺寸的异议，应在收到 产品之日起一个月内提出，属于其他性能的异议，应在收到产品之日起三个月内提出。如需仲裁，应由 供需双方协商确定

GB/T 39159—20207.3检验项目每批产品均应进行化学成分、晶粒度、内部质量、焊接质量、外形尺寸、表面粗糙度、外观质量的检验。7.4取样7.4.1产品的取样应符合表7规定。表7检测项目、取样位置及数量检验项目取样规定取样数量要求的章条号检验的章条号化学成分铸锭缩孔下每批取1件5.16.1晶粒度靶坏边料（见7.4.2）每批取1件，每件取两个点5.2 6.2 内部质量靶坏逐件5.36.3焊接质量焊接后整体逐件5.4 6.4外形尺寸成品逐件5.5 6.5表面粗糙度成品逐件5.6 6.6外观质量成品逐件5.7 6.77.4.2晶粒度检验在靶坏的边缘位置进行垂直取样，如图2所示。样品2样品1图22取样位置示意图7.5检验结果的判定7.5.1检验结果的数值修约和判定按GB/T8170的规定进行。7.5.2：化学成分不合格时，则判该批产品不合格7.5.3晶粒度检验合格，判同批产品全部合格；检验不合格时，判该件不合格，再从同批产品中加倍抽样进行重复试验，若重复试验全部合格，判该批其余产品合格；若复检不合格，则判整批产品不合格7.5.4内部质量、焊接质量、外形尺寸、表面粗糙度、外观质量其中任一项检验不合格时，判该件产品不合格。

JC 718-1990 玻璃纤维增强聚酯树脂耐腐蚀卧式容器GB/T 391592020

8标志、包装、运输、购存和质量证明书

险合格的产品上，将公司标志、牌号及生产批号刻

在每个外包装上贴纸质标贴，内容包括： a) 公司标志； b) 产品名称； c) 牌号； d) 订单编号； e) 生产批号； f) 出厂日期； g)其他。

3.2.1产品的清洗、干燥及内包装应在百级洁净室内进行。经过全面清洗，真空干燥后每块产品单独 真空包装，真空袋封口要平整无贯通，真空袋无真空泄露。 8.2.2外包装采用纸盒或中空盒包装。包装盒内应有防碰撞措施。将质量证明书用塑封袋装好后粘 站于包装盒上。 8.2.3包装产品应保存于清洁的环境中

运输及贮存过程中，应注意防震、防潮、防压、防止

订购本标准所列产品的订货单（或合同）内应包括下列内容 a）产品名称：

b）牌号； c) 化学成分； d) 规格； e) 数量； f) 本标准编号； g）其他。

DBJ41∕T 219-2019 轨道交通基坑工程钢管支撑施工技术标准GB/T391592020