JC／T 1048-2018标准规范下载简介

JC／T 1048-2018 单晶硅生长用石英坩埚简介：

JC/T 1048-2018 是中国国家行业标准，全称为"单晶硅生长用石英坩埚"。这个标准主要规定了用于单晶硅生长的石英坩埚的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等方面的内容。

在技术要求方面，该标准详细规定了石英坩埚的尺寸公差、外观质量、化学成分、物理性能（如热膨胀系数、耐热性、硬度等）以及工艺性能（如熔融硅的纯度、坩埚的使用寿命等）等方面的要求。这些要求旨在保证石英坩埚能够满足单晶硅生长过程中的温度稳定性、化学稳定性以及机械强度等需求，从而保证生长出的单晶硅质量。

在试验方法部分，标准列出了测试各项性能的具体步骤和方法，以便于生产、检测和监督机构进行公正、准确的测试。

在检验规则部分，标准规定了产品的验收规则，包括抽样方法、检验项目、判定规则等，以确保产品的质量符合标准。

在标志、包装、运输和储存部分，标准对产品的标识、包装方式、运输和储存条件等提出了明确的要求，以确保产品在流通和使用过程中的完好性。

总的来说，JC/T 1048-2018是单晶硅生产行业的重要参考，对保证单晶硅的质量和生产效率具有重要意义。

JC／T 1048-2018 单晶硅生长用石英坩埚部分内容预览：

按用途分为太阳能级石英（T级）和半导体级石英埚(B级）

5.1.1石英埚的外形示意图见图1。

GB 51377-2019标准下载JC/T 1048—2018

5.1.2石英埚的尺寸偏差应符合表1的规定。

图1石英埚的外形示意图

注：R、r以及特殊规格的石英埔尺寸偏差由供需双方商定

石英埚的端口透明层厚度不小于直壁壁厚的三分之一

石英埚的外观质量应符合表2中的规定。

IC/T 10482018

石英埚的杂质元素含量应符合表3的规定。

表3杂质元素含量要求

变形率应不大于3.0%。

变形率应不大于3.0%。

6.1.1外径偏差和圆度公差

采用分度值不大于0.02mm的游标卡尺测量石英璃端口的外径，测量点不少于3个且分布均匀。 外径最大值减去标称外径所得代数差为外径上偏差，最小值减去标称外径所得代数差为外径下偏差。外 径最大值减最小值所得的差值为圆度公差。

H约10mm处 壁壁厚，测量点不少于4个且分布均匀。最大值减去标 所得代数差为直壁壁厚上偏差，最小 值减去标称直壁壁厚所得代数差为直壁壁厚下偏差。 享最大值减最小值所得差值为偏壁值，

6.1.3弯弧壁厚偏差

采用精度不低于0.01mm的超声波测厚仪等同精度的测量器具，测量石英埚弯弧处的壁厚，测量 点不少于4个且分布均匀。最大值减去标称弯弧壁厚所得代数差为弯弧壁厚上偏差，最小值减去标称弯 弧壁厚所得代数差为弯弧壁厚下偏差

6.1.4底部壁厚偏差

采用精度不低于0.01mm的超声波测厚仪等同精度的测量器具，测量石英埚底部的壁厚，测量 于4个。最大值减去标称底部壁厚所得代数差为底部壁厚上偏差，最小值减去标称底部壁厚所得 为底部壁厚下偏差。

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将石英增璃底部向上放置于准确度不低于2级的 平台上，测量石英璃底部最高点到平台的距离， 测量点不少于3个且分布均匀。高度最大值减去标称 高度所得代数差为高度上偏差，最小值减 数差为高度下偏差

用去离子水将石英埚端口润湿，采用分度值不大于0.02mm的游标卡尺测量石英埚端口 明层厚度，测量点不少于4个且分布均匀，取最小测量值为端口处透明层厚度；并计算其与直壁 的比值。

按GB/T3284中规定的方法进行检验。

从石英直壁上切取约50mm×50mm原壁厚试样3块，内表面无外观缺陷，切口处磨平。用体积 分数为10%～15%盐酸溶液浸泡试样约10min后，用去离子水冲洗。将试样放入高温炉中，于（1200 土5)℃下恒温6h，随炉自然冷却至室温后取出试样，目测观察内表面是否有析晶白点。在检测过程中 不得触摸试样内表面

从石英埚直壁上纵向切取约180mm×20mm原壁厚试样3块，表面无外观缺陷，切口处磨平，试 样的宽度差小于2mm。用体积分数为10%～15%盐酸溶液浸泡试样约10min后，用去离子水冲洗。将 跨距为130mm的耐热支架放入高温炉内，试样水平放置在耐热支架上，并在试样中部放置(2.0土 0.2）g（直径为15mm～25mm，长度为10mm～20mm）的石英半管，使试样与石英半管接触面积最小。于（1500 土10)℃下恒温1h，随炉自然冷却至室温后取出试样。分别测量3块试样的拱高变化量AH，用△H除 以130mm为变形率，以百分数表示，结果保留至一位小数，取最大值为测量结果，

分为出厂检验和型式检验。

包括尺寸偏差、端口透明层厚度和外观质量。

IC/T 10482018

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有下列情况之一时，应进行型式检验： a）新产品投产或产品定型鉴定时； b）正常生产时，每一年进行一次； c）原材料或工艺等发生较大变化，可能影响产品质量时； d）产品停产6个月以上恢复生产时； e）主要生产设备进行较大维修后。

以同批原料、相同工艺、6个月内生产的同规格石英埚为一批

尺寸偏差、端口透明层厚度 从尺寸偏差、端口透明层厚度和外观 质量均合格的产品中抽取一只进 和耐热性检验

7.3.5.1尺寸偏差、端口透明层厚度和外观质量

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端口透明层厚度符合要求，判该批产品端口透明层厚度合格。若不合格产品数大于或等于表4中相 应不合格判定数时，则判该批产品端口透明层厚度为不合格。 外观质量符合要求，判该批产品外观质量合格。若不合格产品数大于或等于表4中相应不合格判定 数时，则判该批产品外观质量为不合格。

7.3.5.2杂质元素含量

7.3.5.3抗析晶性

7. 3. 5. 4 耐热性

耐热性符合要求，判该项目为合格。当耐热性不符合要求时，允许重新抽样一次，进行试验 洁果符合要求砖砌体的施工工艺、质量要求，判该项目为合格，否则为不合格，

7.3.5.5综合判定

全部项目均符合要求，判该批产品为合格，否则为不合格

8标志、包装、运输和贮存

产品出厂时应附产品合格证，注明产品名称、类别等产品标记。 包装箱上应有储运标志，如“小心轻放”、“向上”、“玻璃制品”、“防潮”、“堆码层数极限” 等字样或图形以及厂名或商标。

石英埚应在不低于10万级净化条件下，用抗静电塑料薄膜等材料封装，然后装入包装箱内 装箱内四周及上下应加缓冲隔离物

装、卸、运过程中应防止雨淋、轻拿轻放2019甬DX-08 宁波市海绵城市规划设计导则，不能

产品应按类别、规格分类贮存在无有害气体、王燥、洁净的室内。注意防压损

品应按类别、规格分类贮存在无有害气体、干燥、洁净的室内。注意防压损。