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GB51392-2019 发光二极管生产工艺设备安装工程施工及质量验收标准及条文说明简介：

GB51392-2019《发光二极管生产工艺设备安装工程施工及质量验收标准》是由中国国家标准化管理委员会发布的一项行业标准，主要适用于LED（Light Emitting Diode，发光二极管）生产工艺设备的安装工程。该标准详细规定了LED设备安装的施工方法、质量控制、检验方法以及验收标准，旨在保证LED生产设备的安装质量，提高生产效率，降低能耗，保障安全生产。

标准内容主要包括以下几个方面：

1. 术语和定义：对LED生产、设备安装等相关术语进行定义，确保各方对标准内容的理解一致。

2. 设备安装：详细描述了LED生产设备的安装步骤、方法、技术要求等，如设备的定位、固定、连接、调试等。

3. 材料和设备：规定了用于设备安装的材料和设备的质量要求，确保其能满足设备正常运行的需要。

4. 施工质量控制：明确了施工过程中的质量控制点，如施工前的准备、施工过程的监控、施工后的检查等，以保证施工质量。

5. 检验与验收：规定了施工完成后的检验方法和验收标准，确保设备安装符合设计要求，能正常运行。

6. 安全与环保：强调了施工过程中的安全操作和环境保护要求，确保施工过程的安全性和环保性。

7. 条文说明：对标准中的具体条文进行了详细解读，帮助使用者理解条文的含义和应用。

总的来说，GB51392-2019标准是为了规范LED生产工艺设备的安装工程，提高安装效率和质量，降低生产成本，推动我国LED产业的健康发展。

GB51392-2019 发光二极管生产工艺设备安装工程施工及质量验收标准及条文说明部分内容预览：

4应在主控界面分别运行并检测机械系统、光路系统、气路 系统、显示系统和加热系统； 5应设置超声时间、超声功率、焊接压力、加热温度，完成对 样品电路的加工： 6设备应具备热台温度超温报警。 6.0.14丝网印刷机的试运行应符合下列规定： 1设备自检通过后应将网版装入网版槽内，按下锁紧装置， 香看网版是否被锁紧； 2应加人焊料并完成印刷的主要工艺参数设置和焊料的 印刷； 3在保证印刷工艺参数设置合理时，应用自动光学检测仪检 查网印质量，印刷图形应完整、边缘应齐整。

6.0.15探针测试设备的试运行应符合下列规定：

1应安装测试专用夹具，并应将待测晶圆通过调节手柄安装 到夹具上； 2启动设备总电源，应正常进入初始化界面； 3 开机后设备应无震动或杂音； 4 对配有标准测试板的设备应调入测试文件和校准板进行 坐标系统校准、测试针和摄像头校准； 应进入测试参数设定界面进行测试参数设定； 测试时设备应自动生成并打印出测试结果； 应在设定的测试参数基础上对晶圆进行通断验证，并应符 合打印的测试结果。 6.0.16 激光测厚仪的调试及试运行应符合下列规定： 1 应仔细观察测量传动轴，运动时应顺畅无异响； 2 应根据设备技术要求由专业人员使用计量合格的校准件 进行校准； 3激光对焦千分尺旋钮使用中应顺畅，并应能自锁； 4测量范围应满足技术指标要求。

6.0.17X射线检查仪的调试及试运行应符合下列规定： 1将待测样件放到设备载片台上、夹持好或吸附住后，应关 团并锁定设备安全门： 2开启总电源，控制工作台运动，各个运动部位应在运行平 稳的状态下使红色指示光标指到待检样件中心位置；

GTCC-089-2018标准下载X光开关开启前必须确保设备安全门处于关闭状态：

.0.18MOCVD设备的调试及试运行应符合下列规定：

1应在确认供电相序止确后再给设备逐级送电开确认设备 初始化成功，设备初始化成功后应逐个检查确认紧急断电按钮功 能正常并做好检查记录。 2应检查确认每个MOCVD反应腔的真空压力检测和控制 功能，所有真空部件与气体管道的漏率应符合工艺性能指标要求 3在通入每一路工艺气体之前，应先用纯化氮气代替对设备 每一路气体的气动阀与联动阀的控制逐一确认，并应确认该路气 本管道上的气体质量流量计及压力传感器的设定值与反馈值均可 经由系统控制软件正确发送和读取。 4所有互锁装置功能应有效、逻辑正确，特别是与安全相关 的实时监测传感器应直接触发相关报警并立即关断气源的源端气 动阀。必要时还可切断反应腔与真空泵机组间的连接以进一步保 护反应腔，防止可能发生的气体倒灌造成粉尘沾污。 5所有冷却水流量监测传感器功能应有效，触发时应及时关 断反应器内加热器电源组的供电以起到超温保护作用。 6应测试并确认石墨载盘在做加速、高速及减速转动时的稳 定性及摆动状态，并应确认石墨盘通过自动或手动机械手搬运时 的稳定性和位置的重复性和可靠性。 7应测试反应腔内加热器的有载状态下的温度控制以及重 复性，并应确认温控用温度传感器的信号通道的正确连接以及温

度的精确度。 8应测试设备提供的可供模拟生产工艺用的测试工艺配方 以确认设备经调试已经准备好交给业主做工艺验收

精确度。 应测试设备提供的可供模拟生产工艺用的测试工艺配方 认设备经调试已经准备好交给业主做工艺验收。

7.1.1生产设备安装工程验收宜分为交接验收与工验收。

7.2.1交接验收应由建设单位组织，并应根据施工合同、本标准

1 生产工艺设备安装工程施工合同： 2 主要材料合格证或质量保证书； 3 设备开箱检查记录； 4 管道焊接检验记录； 5 设备按功能检验批质量验收记录； 6 设备配管配线的检验批质量验收记录； 7 设备二次配管压力试验、冲（吹）洗记录： 8 竣工图及设计变更文件； 9 工程质量事故处理记录。

7.2.3验收组应对工程质量进行评价，并应提出验收结论。验收

7.3.1建设单位接到生产设备调试单位按本标准附录B表 B.0.4填写的《生产设备安装工程交接（竣工）验收报告》后，应组 织安装施工单位、供货单位、设计单位组成验收组，并应根据施工 合同、设计文件、本标准及设备技术文件进行生产设备安装工程竣 工验收，

3.2设备安装工程工验收时，调试单位应提供每台设备 几试运行记录。

7.3.3验收组应对生产设备安装工程的所有工程内容

审核、检查，检查时应做好记录，各项指标符合设计要求应判为合 格。审查内容应包括设备安装、配管配线和设备技术指标

7.4.1当生产设备安装工程、设备二次配管配线安装工程不符合 质量要求时，应按下列规定处理： 1经返工返修后的设备，安装检验批、二次配管配线检验批 应重新进行验收； 2经返工返修后的检验批能满足安全和使用性能要求时，可 按技术处理方案和协商文件进行让步接收。 7.4.2经返工返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程

7.4.2经返工返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程

7.4.2经返工返修仍不能满足安全使用和性能要求的分项工程 不得验收。

B.0.3 设备二次配管压力试验、冲（吹）洗记录应符合表B.0.3 的规定。

设备二次配管压力试验、冲（吹）法

B.0.4 生产设备安装工程交接（竣工）验收记录应符合表B.0.4 的规定

生产设备安装工程交接（竣工）验收

B.0.5设备安装/配管配线分项工程质量验收记录应符合表 B. 0. 5 的规定

备安装/配管配线分项工程质量验

.0.7生产设备调试记录应符合表B.0.7的规定。

表B.0.7生产设备调试记录

1为便于在执行本标准条文时区别对待，对要求严格程度不 同的用词说明如下： 1）表示很严格，非这样做不可的： 正面词采用“必须”，反面词采用“严禁”； 2）表示严格，在正常情况下均应这样做的： 正面词采用“应”，反面词采用“不应”或“不得”； 3）表示充许稍有选择，在条件许可时首先应这样做的： 正面词采用“宜”，反面词采用“不宜”； 4）表示有选择，在一定条件下可以这样做的，采用“可”。 2本标准中指明应按其他有关标准执行的写法为：“应符合 的规定”或“应按执行”

1为便于在执行本标准条文时区别对待，对要求严格程度不 同的用词说明如下： 1）表示很严格，非这样做不可的： 正面词采用“必须”，反面词采用“严禁”； 2）表示严格，在正常情况下均应这样做的： 正面词采用“应”，反面词采用“不应”或“不得”； 3）表示充许稍有选择，在条件许可时首先应这样做的： 正面词采用“宜”，反面词采用“不宜”； 4）表示有选择，在一定条件下可以这样做的，采用“可”。 2本标准中指明应按其他有关标准执行的写法为：“应符合 的规定”或“应按执行”

《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》GB50169 （建筑电气工程施工质量验收规范》GB50303 微电子生产设备安装工程施工及验收规范》GB50467 特种气体系统工程技术规范》GB50646 （电子工业纯水系统设计规范》GB50685 《大宗气体纯化及输送系统工程技术规范》GB50724 （电子工厂化学品系统工程技术规范》GB50781 《化工工程建设起重规范》HG/T20201

《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》GB50169 （建筑电气工程施工质量验收规范》GB50303 微电子生产设备安装工程施工及验收规范》GB50467 特种气体系统工程技术规范》GB50646 （电子工业纯水系统设计规范》GB50685 《大宗气体纯化及输送系统工程技术规范》GB50724 （电子工厂化学品系统工程技术规范》GB50781 《化工工程建设起重规范》HG/T20201

中华人民共和国国家标准

发光二极管生产工艺设备安装工程

《发光二极管生产工艺设备安装工程施工及质量验收标准》 GB51392一2019，经住房和城乡建设部2019年9月25日以第 254号公告批准发布。 本标准紧密结合发光二极管生产工艺设备安装工程施工及质 量验收的技术要求，认真总结发光二极管生产设备生产单位、发光 二极管生产设备安装施工单位和发光二极管生产单位等在安装工 程施工及工程验收、设备包装、搬运、运输、储存及设备试运行等方 面的经验，较好地反映了近年来的建设成果和运行经验。 为便于规划、设计、施工、科研、学校等单位有关人员在使用本 标准时能正确理解和执行条文规定，《发光二极管生产工艺设备安 装工程施工及质量验收标准》编制组按章、节、条顺序编制了本标 准的条文说明，对条文规定的目的、依据以及在执行中需注意的有 关事项进行说明。其中，着重对标准中强制性条款的强制性理由 做了解释。但是本条文说明不具备与标准正文同等的法律效力， 仅供使用者作为理解和把握标准规定的参考

基本规定 施工准备 (48) 4.1 安装前的储存 (48) 4.2 施工条件及准备 (48) 4.3 设备开箱 (49) 4.4 设备搬运 (49) 设备安装 (51) 5.1 一般规定 (51) 5.2 外延设备安装 (51) 5.4 芯片封装设备安装 （52) 5.6二次配管配线： (52)

墨本规定 4 施工准备 (48) 4.1 安装前的储存 (48) 4.2施工条件及准备 (48) 4.3 设备开箱 (49) 4.4 设备搬运 (49) 设备安装 (51) 5.1一般规定 (51) 5.2 外延设备安装 (51) 5.4 芯片封装设备安装 (52) 5.6 二次配管配线 (52)

3.0.3在洁净区域内使用的所有支撑和紧固金属件含垫块、螺 柱、管线支架，水、气管材等适宜选择不锈钢材质，因为不锈钢材质 不易积尘

JZGCP-BIM1标准下载3.0.4技术交底由设计方、设备供货方、建设方、施工方的相关人 员参加。

3.0.4技术交底由设计方、设备供货方、建设方、施工方的相关人

3.0.7检验、检测的仪器仪表使用前要校核。

性验收，不包括生产工艺设备的工艺验收。

4.1.5发光二极管生产设备的安装涉及

4.1.5发光二极管生产设备的安装涉及多种材质的工艺管线GB∕T 51216-2017 移动通信基站工程节能技术标准，如 SUS316L不锈钢管、PP管、CLPVC管、特富龙管等对外界污染 因素非常敏感的材料，储存环境要求高，要加强管理，防止因被污 染造成对生产工艺的运行产生不利影响