YS/T 1500-2021 多晶硅制备炉衬用银板材.pdf

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标准类别:机械标准
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标准规范下载简介

YS/T 1500-2021 多晶硅制备炉衬用银板材.pdf简介:

YS/T 1500-2021 是中国关于多晶硅制备炉衬用银板材的推荐性技术标准。该标准主要针对的是在多晶硅的生产过程中,用于炉衬材料的银板材的技术要求、性能指标、检验方法以及使用和维护的指导。

银板材在多晶硅制备炉中扮演着关键角色,作为炉衬材料,其主要特性包括耐高温、耐腐蚀、导热性能好、机械强度高等。银具有良好的反射率,可以有效减少炉内热量的损失,提高能源利用效率。此外,银的化学性质稳定,能够抵抗高温下的氧化,保证炉内环境的稳定。

YS/T 1500-2021 中,对银板材的尺寸、形状、厚度、表面平整度、耐热冲击性、抗氧化性能、导热率等均有详细规定,以确保其在实际生产中的性能和使用寿命。企业生产银板材时必须符合这个标准,以保证产品质量和工艺的可靠性。

总的来说,YS/T 1500-2021 是多晶硅制备工业中对银板材的一种行业规范,是确保多晶硅生产过程稳定、高效和安全的重要技术依据。

YS/T 1500-2021 多晶硅制备炉衬用银板材.pdf部分内容预览:

Silver plates forlining usedinmanufacturing polycrystalline siliconfur

中华人民共和国工业和信息化部

中华大民共和国工业和信息化部 发布

YS/T15002021

度假村别墅建筑施工图本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。 本文件起草单位:西安诺博尔稀贵金属材料股份有限公司、西北有色金属研究院、西安瑞鑫科金属材 料有限责任公司。 本文件主要起草人:赵涛、马小龙、马晓东、周龙海、余建军、韩吉庆、陈昊、宜楠、郑晶、王靖坤

本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。 本文件起草单位:西安诺博尔稀贵金属材料股份有限公司、西北有色金属研究院、西安瑞鑫科金属材 料有限责任公司。 本文件主要起草人:赵涛、马小龙、马晓东、周龙海、余建军、韩吉庆、陈昊、宜楠、郑晶、王靖坤

多晶硅制备炉衬用银板材

本文件规定了多晶硅制备炉衬用银板材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、 运输、贮存及随行文件和订货单内容。 本文件适用于多晶硅制备炉衬用银板材(以下简称银板)

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文 件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本 文件。 GB/T4340.1金属材料维氏硬度试验第1部分:试验方法 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法 YS/T984硅粉化学分析方法硼、磷含量的测定 YS/T1198银化学分析方法铜、铋、铁、铅、锑、钯、硒、碲、砷、钴、锰、镍、锡、锌、镉量的测定电 感耦合等离子体质谱法

本文件没有需要界定的术语和定义

银板的牌号、状态、规格应符合表1的规定。

表1牌号、状态、规格

银板标记按产品名称、文件*号、牌号、状态、规格的顺序表示。

5.2.3长度及其允许偏差

变及其允许偏差应符合表

表5长度及其充许偏差

银板平直度应不大于0.6%。

产品的室温力学性能应符合表6的规定。

注:需方有特殊要求时,由供需双方协商确定后在订货

5.4.1产品表面应光洁,平整,允许有轻微的、局部的划伤、凹坑、压痕、辊印、油迹。不应有裂纹、起皮、 气泡、夹杂等影响使用的缺陷。 5.4.2产品的边部应整齐、无裂边和卷边,允许有轻微的,不影响使用的毛刺。 5.4.3产品的表面粗糙度(Ra)不大于0.8μm。

产品的Fe、Pb、Sb、Bi元素常规检验及仲裁分析按YS/T1198进行。B、P元素常规检验可按ICP或 认可的其他方法进行;B、P元素仲裁分析按YS/T984进行

6.2.1产品的外形尺寸及其允许偏差的测量方法按GB/T15077的规定进行。 6.2.2产品的平直度按图1测量,用式(1)计算:

H一板材下表面与基准面之间的最大垂直距离,单位为毫米(mm)

YS/T 15002021

L板材最高点与基准面接触点之间的最小水平距离,单位为毫米(mm)。

6.4.1在自然散射光下,目视检查表面及边部质量

图1平直度测量示意图

7.1.1产品由供方或第三方进行检验,保证产品质量符合本文件及订货单的规定。 7.1.2需方可对收到的产品按本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件及订货单的规定不符时, 应以书面形式向供方提出,由供需双方协商解决。属于外观质量、外形尺寸、性能的异议,应在收到产品 之日起1个且内提出。如需仲裁,应由供需双方在需方共同取样或协商确定

产品的化学成分、外形尺寸及其充许偏差、力学性能、外观质量等检验项目为出厂检验项目

产品的取样应符合表7规定。

7.5.1检验结果的数值按GB/T8170的规定进行修约,并采用修约值比较法判定。 7.5.2化学成分不合格时,则判该批产品不合格。 7.5.3外形尺寸及其允许偏差不合格时,判该件产品不合格。 7.5.4力学性能不合格时,应从该批产品中另取双倍数量的试样进行重复试验。若重复试验结果中仍 有试样不合格,则判该批产品不合格。经供需双方商定,允许供方对不合格产品逐件进行检验时,合格者 重新组批交货。 7.5.5产品外观质量不合格时,判该件产品不合格

8标志、包装、运输、贮存及随行文件

CNAS-TRL-013:2020 家具、人造板及木竹相关制品检测领域认可评审技术指南.pdf应在检验合格的产品上打印如下标记(或挂标签): a)牌号; b)状态; c)规格; d)产品批号。

产品的包装箱上应系有标签(或标牌): a)供方名称; b)产品牌号、状态及规格: c)产品批号。

8.1.3包装、运输、贮存

每件产品之间应用美容纸或牛皮纸隔开,运输过程中,应防止碰撞、擦伤。应保存在干燥、无腐蚀性 气氛的场所。

每批产品应附有随行文件,其中除应包括供方信息、产品信息、本文件*号、出厂日期或包装日期外 还宜包括:

a)产品质量保证书,内容如下: ·产品的主要性能及技术参数; ·产品获得的质量认证及带供方技术监督部门检印的各项分析检验结果。 b)产品合格证JY/T-KS-JS-2017-1标准下载,内容如下: ·检验项目及其结果或检验结论; ·批号; ·检验日期; ·检验员签名或盖章。 c)产品质量控制过程中的检验报告及成品检验报告。 d)产品使用说明:正确搬运、使用、贮存方法等。 e)其他。

需方可根据自身的需要,在订 a)产品名称; b)牌号; c) 状态; d)规格; 净重(或件数); D 本文件*号; 其他。

中华人民共和国有色金属 行业标准 多晶硅制备炉衬用银板材 YS/T1500—2021 冶金工业出版社出版发行 北京市东城区嵩祝院北巷39号 ****:100009 北京建宏印刷有限公司印刷 各地新华书店经销 X12301/16印张0.75字数 年3月第一版2022年3月第 书号:1550243181 定价:60.

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