标准规范下载简介
GB／T 39516-2020 微纳米标准样板（几何量）.pdf简介：
"GB/T 39516-2020 微纳米标准样板（几何量）.pdf" 是中国国家标准（GB/T）中的一项技术文件，其全称可能是"微纳米尺度几何量标准样板规范"。该标准主要针对微纳米级别的几何量测量和校准提供了详细的规范和指导，适用于微纳米级别的精密测量领域，如纳米技术、半导体制造、光学制造、生物科技等。它规定了微纳米尺度下标准样板的制作、特性、测量方法和使用要求，以确保测量结果的准确性和一致性。
"GB/T"是中国国家标准的代号，"39516"是标准的顺序号，"2020"表示发布年份。PDF格式则意味着该文件是以电子文档的形式提供，方便用户下载和查阅。
总的来说，这个标准是微纳米领域内的一项重要技术参考，对于确保微纳米级别产品的精度和一致性，推动相关行业的发展具有重要意义。
GB／T 39516-2020 微纳米标准样板（几何量）.pdf部分内容预览：
国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会
范围 规范性引用文件 3 术语和定义 型式与基本参数 4.1 型式 4.2 基本参数 要求 5.1 外观 5.2 性能参数要求 检查条件 检查方法 7.1 外观 7.2 微纳米线间隔标准样板的性能参数 7.3 微纳米台阶高度标准样板的性能参数 7.4 纳米膜厚标准样板的性能参数· 7.5 纳米线宽标准样板的性能参数 标*、运输及储存 8.1 标* 8.2 运输· 8.3 储存 8.4 产品合格证
图1线间隔示意图· 图2台阶高度示意图 图3薄膜厚度定义示意图· 图4线宽示意图·. 图5微纳米线间隔标准样板型式示意图· 图6微纳米台阶高度标准样板型式示意图…. 图7纳米膜厚标准样板型式示意图 图8纳米线宽标准样板型式示意图 图9线间隔偏差有效测量区域选择示意图… 图10线边缘粗糙度考核位置示意图
T∕CBMF 34-2018 T∕CCPA 6-2018 预拌混凝土企业安全生产规范图11 线边缘粗糙度示意图 图12均匀性测量示意图.. 图13台阶高度测量示意图· 图14台阶区域均匀性测量时测量线选取示意图 图15 薄膜厚度偏差考核示意图.. 图16线宽偏差测量区域选择示意图. 图17线宽均匀性测量位置选择示意图……·
微纳来线间隔标准样板的性能参数要求 微纳米台阶高度标准样板的性能参数要求· 纳米膜厚标准样板的性能参数要求
GB/T39516—2020
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国量具量仪标准化技术委员会（SAC/TC132)归口。 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治 区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量 科技有限公司。 本标准主要起草人：李锁印、付兴昌、梁法国、韩*国、赵琳、冯亚南、许晓青、张晓东、***、许*、 苏冀雄、张恒、雷李华、赵军、张松涛、蔡潇雨、傅云霞
本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国量具量仪标准化技术委员会（SAC/TC132)归口。 本标准起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、广西壮族自治 区计量检测研究院、中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院、中国计量大学、珠海市怡信测量 科技有限公司。 本标准主要起草人：李锁印、付兴昌、梁法国、韩*国、赵琳、冯亚南、许晓青、张晓东、***、许*、 苏冀雄、张恒、雷李华、赵军、张松涛、蔡潇雨、傅云霞
微纳米标准样板（几何量）上不应有影响使用性能的划痕、断线等缺陷
5.2.1微纳米线间隔标准样板
GB/T39516—2020
线间隔为0.05uμm～10μm之间的其他微纳米线间隔标准样板的线间隔偏差、线边缘粗糙度不 性可参照表1执行，
表1微纳米线间隔标准样板的性能参数要求
5.2.2微纳米台阶高度标准样板
微纳米台阶高度标准样板的性能参数要求：台阶高度偏差和均匀性应符合表2的规定 台阶高度为0.01um～100um之间的其他微纳米台阶高度标准样板的台阶高度偏差和均匀性可 参照表2执行
表2微纳米台阶高度标准样板的性能参数要求
GB/T39516—2020
5.2.3纳米膜厚标准样板
纳来膜厚标准样板的性能参数要求：薄膜厚度偏差和均匀性应符合表3的规定， 薄膜厚度为2nm~1000nm之间的其他纳米膜厚标准样板的薄膜厚度偏差和均匀性可参照表3 执行。
表3纳米膜厚标准样板的性能参数要求
5.2.4纳米线宽标准样机
纳来线宽标准样板的性能参数要求：线宽偏差和均匀性应符合表4的规定。 线宽为25nm～1000nm之间的其他纳米线宽标准样板的线宽偏差和均匀性可参照表4执行
表4纳米线宽标准样板的性能参数要求
微纳米标准样板（几何量）检查时，环境温度应为20 C，温度变化不天于土1C/h，相对 应大于80%，洁净度不低于ISO6级（见GB/T25915.1一2010）
宜采用光学显微镜对微纳米标准样板（几何量）进行外观检查
7.2微纳米线间隔标准样板的性能参数
7.2.1 线间隔偏差
7.2.1.1测量设备
便用扫描电于显微镜或原于力显微镜对微纳米线目隔标准杆板的线目隔确差进行测量，或便， 性能相当的其他测量仪器测量
7.2.1.2数据采集区的选取
在微纳米线间隔标准样板的有效测量区域内，选取多个周期的线间隔长度作为数据采集区。选取 依据如下： 对于线间隔小于1m的微纳米线间隔标准样板，在微纳米线间隔标准样板的有效测量区域内选 取任意10个线间隔的长度作为数据采集区，见图9所示；对于其他尺寸的微纳米线间隔标准样板，可以 在微纳米线间隔标准样板的有效测量区域内选取2 线间隔长度作为数据采集区
GB∕T 34680.3-2017 智慧城市评价及基础评价指标体系 第3部分：信息资源a）制造厂厂名或注册商标； b）产品编号； c）标称值。
a）制造厂厂名或注册商标； b）产品编号； c）标称值。
微纳米标准样板（几何量）的包装应能适合任何运输工具运输，避免碰撞和雨雪直表
[国企]湖南铝合金门窗安装技术管理要点微纳米标准样板（几何量）应在洁净的环境中侵
微纳米标准样板（几何量）经检定符合本标准要求的应附有产品合格证，产品合格证上应标有本 标准号、产品编号和出厂日期
微纳米标准样板（几何量）经检定符合本标准要求的应附有产品合格证，产品合格让 准的标准号、产品编号和出厂日期