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电子工业洁净厂房设计规范.pdf简介：

电子工业洁净厂房设计规范是为确保电子设备和元器件在生产过程中不受污染，保证产品质量，以及保障工人健康和生产安全而制定的一系列规定。这些规范主要涉及以下几个方面：

1. 空气洁净度：洁净厂房应按照不同的洁净级别（如Class 100, Class 1000, Class 10000等）设计，确保空气中的颗粒物、微生物等污染物浓度达到规定标准。

2. 洁净室结构：设计应考虑气流方向，通常采用单向气流，避免交叉污染。洁净室的材料选择也应考虑易于清洁和消毒。

3. 温湿度控制：洁净室内温度和湿度应保持稳定，以防止静电影响电子设备的性能。

4. 排尘设施：包括高效过滤器、排风系统等，以保证空气的净化。

5. 照明与防静电：洁净室内照明应无尘埃，防静电设施如防静电地板、手腕带等必不可少。

6. 安全防护：包括防火、防爆、防雷击等措施，以及应急设施如消防系统、应急照明、应急出口等。

7. 工作区域划分：根据生产工艺和设备需要，合理划分洁净区、非洁净区和缓冲区域。

这些规范依据不同的国际和国内标准，如ISO 14644、GB 50073等，进行制定和更新，以适应电子工业不断发展和变化的需求。电子工业洁净厂房的设计和施工必须严格遵守这些规范，以确保产品质量和生产环境的稳定性。

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6.2.1洁净厂房的耐火等级不应低于二级。

2.2洁净厂房内生产工作间的火灾危险性，应符合现行国家 圭《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。火灾危险性分 例见本规范附录B。

6.2.2洁净厂房内生产工作间的火灾危险性DB11／T 1770-2020 民用冷却塔节水管理规范.pdf，应符合现行国家标

6.2.3洁净厂房内防火分区的划分，应符合现行国家标准《建筑

6.2.6在综合性厂房的一个防火分区内，洁净生产区域与一般生

1每一生产层、每个防火分区或每一洁净室的安全出口数 自，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规 定； 2安全出口应分散布置，并应设有明显的疏散标志；安全疏 散距离应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有 关规定。安全疏散用门应向疏散方向开启，并应设观察玻璃窗； 3丙类生产的电子工业洁净厂房，在关键生产设备自带火灾 报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m

6.2.8洁净厂房的洁净区各层外墙应设置专用消防口，并应

6.3.1洁净厂房的建筑围护结构和室内装修，应选用气密性良 好，且在温度和湿度变化时变形小的材料。洁净室装饰材料及其 密封材料不得菜用释放对电子产品品质有影响物质的材料。装修 材料的燃烧性能应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规 范》GB50222的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50， 材料的烟密度等级应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的 烟密度试验方法》GB/T8627的有关规定。

1应满足使用功能的要求，且表面应平整、光滑、不起 免眩光、便于清洁，并应减少凹凸面， 2当采用踢脚时，踢脚不宜突出墙面。

6.3.3洁净室楼地面设计应符合下列要求

电子产品生产工艺和设备安装

2应平整、耐磨、易清洁、个易积聚静电、避免眩光、不开裂、 耐撞击等； 3地面宜配筋，并应做防潮构造。 6.3.4洁净厂房技术夹层的墙壁和顶棚应满足使用功能要求，且 表面应平整、光滑。位于地下的技术层或技术夹层应采取防水或 防潮、防霉措施。

6.3.5当洁净厂房设置外窗时，应采用双层固定窗，并应有良好

1 应满足使用功能的要求，构造和施工缝隙应采取密闭措 施； 2顶棚以上的技术层或技术夹层宜设检修通道， 3 洁净室（区）不宜设窗台； 4当地面采用活动地板时，活动地板材质和支撑方式应根据 电子产品生产工艺要求选择。 6.3.7用于电子产品生产的洁净室（区）的墙板和顶棚，宜采用轻 质壁板构造

子产品生产工艺特点和洁净室型式确定。 7.1.2气流流型应根据各洁净室（区）空气洁净度等级和电子产 品工艺特点的不要求选用。 7.1.3有下列情况之者，净化空调系统宜分开设置： 1运行班次或使用时间不同； 2生产过程中散发的物质对其他工序、设备交叉污染，对产 品质量或操作人员健康、安全有影响； 3对温、湿度控制要求差别大； 4 洁净室（区）内工艺设备发热相差悬殊； 5净化空调系统与一般空调系统， 6系统风量过大的净化空调系统。 7.1.4 洁净室（区）内的温度、相对湿度应符合本规范第3.2.3条 的规定。 7.1.5洁净室（区）内的新鲜空气量应符合现行国家标准《洁净） 房设计规范》GB50073的有关规定。 7.1.6洁净室（区）与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应 符合下列规定： 1各洁净室（区）与周围空间的静压差应按生产工艺要求确定； 2 不同等级的洁净室（区）之间的静压差应大于等于5Pa； 3 洁净室（区）与非洁净室（区）之间的静压差应大于5Pa 4 洁净室（区）与室外的静压差应大于10Pa 7.1.7洁净室（区)维持静压差值所需的压差风量,宜采用缝隙

7.1.6洁净室（区）与周围的空间应保持一定的静压差，静

法或换气次数法确定。 7.1.8送风、回风和排风系统的后闭联锁、控制要求，应符合现行 国家标准《洁净广房设计规范》GB50073的有关规定。 7.1.9非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送 风，并应进行净化处理。 7.1.10洁净室（区）的清扫方式应根据洁净厂房的规模、空气洁 净度等级等因素确定。洁净室（区）宜采用移动式高效真空吸尘 器。对于空气洁净度等级为1～5级的洁净室宜设置集中式真空 吸尘系统，洁净室内的吸尘系统 管道应赔敷

1.10洁净室（区）的清扫方式应根据洁净厂房的规模、空气 度等级等因素确定。洁净室（区）宜采用移动式高效真空吸 馨。对于空气洁净度等级为1～5级的洁净室宜设置集中式真 尘系统，洁净室内的吸尘系统管道应暗敷

7.2气流流型和送风量

7.2.1 气流流型的设计,应符合下列要求:

1气流流型应满足产品生产工艺和空气洁净度等级的要求。 空气洁净度等级为1～5级时，应采用单向流或混合流；空气洁净 度等级为6～9级时，宜采用非单向流； 2洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺和工作人员健 康的要求。 7.2.2洁净室的送风量，应符合现行国家标准《洁净广房设计规 范》GB50073的有关规定。 7.2.3洁净室（区）所需的满足空气洁净度等级的洁净送风量和 气流流型，宜按表7.2.3计算。

.2.3洁净送风量（静态）和气流流

注1换气次数适用于层高小于40m的洁净室。 2室内人员少、热源少时,宜采用下限值。

3.2洁净厂房的洁净室（区）送风方式可分为集中送风、隧道 风、风机过滤器机组送风等。应根据洁净室（区）使用功能和险 能量消耗的要求，经技术经济比较，采用运行经济、节约能源的 风方式。

7.3.3净化空调系统新风的室外吸入口位置，应远离本建筑

他建筑物排放有害物质或可燃物的排气口。

1在生产过程中向车间内散发的有害物质超过规定时； 2采用局部处理不能满足卫生要求时： 3对其他工序有危害或不能避免交叉污染时。

7.3.6净化空调系统需设置电加热时，应选用不产尘的电

7.3.8根据气象条件，存在冷冻可能的地区，新风系统应采取防 冻保护措施

河南省人防工程设计资质管管理办法（豫人防[2018]97号 河南省人民防空办公室2018年10月）7.4.1空气过滤器的选用和布置应符合下列要求：

2空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量； 3中效（高中效)空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段； 4高效（亚高效）空气过滤器宜设置在净化空调系统的末端； 超高效空气过滤器应设置在净化空调系统的末端； 5同一一净化空调系统内末端安装的高效（亚高效、超高效）空 气过滤器的阻力、效率应相近： 6同一净化空调系统内末端安装的高效（亚高效、超高效)空 气过滤器的使用风量与额定风量之比值宜相近； 7对化学污染物有控制要求的洁净室（区），在净化空调系 统中应根据环境条件设置化学过滤器或其他去除装置； 8高效（亚高效、超高效）空气过滤器应采用不燃或难燃材料 制作。 7.4.2 风机过滤器机组的设置应符合下列要求： 1 应根据空气洁净度等级和送风量选用； ? 2 应按洁净室（区)内生产工艺对气流流型的要求布置， 3 终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的 规定； 4 送风量应能调节； 5 应便于安装、维修及过滤器更换。满布或布置率较高时， 外壳强度应满足检修要求。 7.4.3 层流罩的设置应符合下列要求： 1 洁净室（区）内等于或严于5级的局部净化区域宜采用层 流罩； 2层流罩的形式和进风方式应根据生产工艺或设备需要选 用； 3 终阻力时的叠加噪声及振动应满足生产工艺和本规范的 规定； 4安装方式不应影响生产操作。 AA

1当生产工艺或设备对空气洁净度等级、外扰或温度、相对 湿度有较高要求，且所控区域不大时，宜采用微环境装置； 2微环境装置宜与生产工艺设备配套； 3在不影响工艺操作的前提下，应具有可靠的密闭性，内外 表面应平整、光滑： 4围挡构造、材料的选用应方便生产操作。 7.4.5干表冷器的设置应符合下列要求： 1安装位置、外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确 定； 2迎面风速、结构形式应根据洁净室（区）冷负荷、风机过滤 器机组所提供的机外余压确定； 3冷冻水进水温度，宜高于洁净室（区）内空气的露点温度； 4应设置排水设施。 7.4.6净化空调系统空气处理机组的选用和布置，应符合下列要 求： 1应有良好的气密性，漏风率不得大于1%； 2整体结构应有足够的强度和刚度，内表面应平整、光滑，外 表面不应结露； 3布置应整齐，并应便于运行和维修；当多套空气处理机组 为同一洁净室（区）服务时，宜选用相同规格的空气处理机组； 4送风机宜采取变频调速措施。送风机可按净化空调系统 的总风量和总阻力值进行选择。计算系统总阻力时，中效（高中 效）、高效（亚高效、超高效）空气过滤器的阻力宜按其初阻力的 1.5～2.0倍取值; 5应设置排水装置。

7.5.1空气洁净度等级严于8级的洁净室（区）不应采

7.5.2洁净厂房内产生粉尘和有害气体的工艺设备和辅助设备，应设置局部排风装置，排风罩宜为密闭式。局部排风系统单独设置的要求，应符合现行国家标准《洁净广房设计规范》GB50073的有关规定。7.5.3洁净室（区）的排风系统设计，应符合下列要求：1应防止室外气流倒灌；2含有易燃、易爆物质的局部排风系统应按其物理化学性质采取相应防火防爆措施；3局部排风系统排出的有害气体，当其有害物质浓度超过排放标准时，应采取有效处理措施。排气管高度和排放速率应满足国家现行有关排放标准的规定；4对含有水蒸气或凝结物质的排风系统，应设置坡度及排放口;5排风介质中含有剧毒物质时，应设置备用排风机和处理设备，并应设置应急电源；6排风介质中含易燃、易爆等危险物质或工艺可靠性要求较高时，应设置备用排风机，并应设置应急电源；7排除有爆炸危险的气体和粉尘的局部排风系统，其风量应按在正常运行和事故情况下，风管内爆炸危险气体和粉尘的浓度不大于爆炸下限的20%计；8排除有爆炸危险气体和粉尘的局部排风系统，应设置消除静电的接地装置。7.5.4对排风系统中含有毒性、爆炸危险性物质的排气管路，应保持相对于路由区域一定的负压值。7.5.5净鞋室、更外衣室、盟洗室和厕所等生产辅助房间，应采取通风措施。7.5.6洁净室（区）事故排风系统的设计，应符合下列规定：1事故排风区域的换气次数不应小于12次/h；2应设置自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设置在:24:

JGJ144-2004《外墙外保温工程技术规程》.pdf洁净室（区）和洁净室（区）外便于操作的地点； 3应设置应急电源。