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GB/T 20228-2021 砷化镓单晶.pdf简介:
GB/T 20228-2021《砷化镓单晶》标准是中国国家标准,由国家标准化管理委员会发布。这个标准主要规定了砷化镓(GaAs)单晶的制备、测试、质量和验收的相关要求。砷化镓是一种重要的半导体材料,常用于光电子器件、微电子器件和太阳能电池等领域,因其高电子迁移率、直接带隙和良好的热稳定性而备受关注。
该标准详细规定了砷化镓单晶的尺寸、形貌、晶体结构、物理性能(如电阻率、光学性能等)、以及测试方法和质量等级划分,旨在确保产品的质量一致性,推动行业技术进步和规范市场行为。通过遵循该标准,企业可以确保其生产的砷化镓单晶符合国际或国内的通用技术标准,提高产品的竞争力。
GB/T 20228-2021 砷化镓单晶.pdf部分内容预览:
GB/T14264界定的术语和定义适用于本文件
4.2.1砷化镓单晶按导电类型分为n型、P型和半绝缘型(SI型)。 4.2.2砷化镓单晶按直径分为50.8mm、76.2mm、100.0mm、150.0mm、200.0mm
CJJ∕T 104-2014 城镇供热直埋蒸汽管道技术规程.1滚圆砷化镓单晶的直径及允许偏差应符合表1的规定。超过表1所列的直径及允许偏差或对
他外形尺寸有要求,则由供需双方协商确定并在订货单中注明。
5.1.2未滚圆碑化单晶的直径及允许偏差由供需双方协商确定
化镓单晶表面应无李晶、裂纹、夹杂、凹坑、微孔、崩
5.4晶向及晶向偏离度
砷化镓单晶的晶向及晶向偏离度为<111》士0.5°、<100》士0.5°,如需特殊的晶向由供需双方协商 并在订货单中注明
砷化镓单晶的电学性能(包括导电类型、载流子浓度、霍尔迁移率、电阻率、截面电阻率不均匀性)应 符合表2的规定。
SI型砷化镓单晶的电学性能为退火后的指标值
砷化镓单晶的位错密度等级及要求应符合表3的规定。如对位错密度有特殊要求,由供需双方
商确定并在订货单中注明
商确定并在订货单中注明
GB/T202282021
砷化镓单晶的直径用分度值为0.02mm的游标卡尺测量
砷化镓单晶的表面质量目视检查。
砷化镓单晶的参考面、切口取向按GB/T13388规定的方法测试,参考面、切口尺寸用相 量具测量。如有其他要求由供需双方协商确定
6.4晶向及晶向偏离度
化镓单品的品向及品向偏离度按GB/T1555规定
5.2SI型砷化单晶的导电类型、霍尔迁移率、电阻率按SI/T11488的规定进行测定 5.3截面电阻率不均匀性根据电阻率测试结果按公式(1)、公式(2)进行计算,电阻率测试点在砷化 单晶截面沿直径方向均匀取5点,即中心取1点,左右各取2点,如图1所示。 砷化镓单晶平均电阻率按公式(1)计算
单晶截面沿直径方向均匀取5点,即中心取1点,左右各取2点,如图1所示。 砷化单晶平均电阻率按公式(1)计算:
平均电阻率,单位为欧姆厘米(Q·cm); 第i个测量点电阻率,单位为欧姆厘米(Q·cm); 测试点数目,i=15。 截面电阻率不均勾性按公式(2)计算
式中: Pd 截面电阻率不均匀性: Pmax 测定电阻率最大值,单位为欧姆厘米(Q2·cm); Pmin 测定电阻率最小值,单位为欧姆厘米(Q2·cm): 平均电阻率,单位为欧姆厘米(Q·cm)
单晶的位错密度按GB/T8760规定的方法测试
图1电阻率测试点位置
7.1.1产品应由供方技术监督部门进行检验,保证产品质量符合本文件及订货单的规定。 7.1.2需方可对收到的产品按照本文件的规定进行检验。如检验结果与本文件或订货单的规定不符, 应以书面形式向供方提出,由供需双方协商解决。属于外形尺寸或表面质量的异议,应在收到产品之日 起1个月内提出,属于其他性能的异议,应在收到产品之日起3个月内提出。如需仲裁,仲裁取样应由 供需双方共同进行
砷化单晶应成批提交验收,每根砷化镓单晶为一批
每批砷化镓单晶应对外形尺寸、表面质量、参考面或切口、晶向及晶向偏离度、电学性能、位错密度 进行检验
砷化镓单晶的取样应符合表4的规定。如需对其他晶面进行检验,可由供需双方协商确定并在订 货单中注明
GB/T202282021
7.5.1砷化镓单晶的外形尺寸检验结果不合格时,判该根砷化镓单晶不合格。 7.5.2砷化镓单晶的表面质量检验结果不合格时,判该根砷化镓单晶不合格。 7.5.3砷化镓单晶的参考面或切口检验结果不合格时,判该根砷化镓单晶不合格。 7.5.4砷化镓单晶的晶向及晶向偏离度、导电类型、载流子浓度、霍尔迁移率、电阻率、截面电阻率不均 习性、位错密度的任一项检验结果不合格时,则再次取样对该不合格项目进行重复试验。若重复试验结 果仍不合格.允许再次取样检验。若连续三次检验结果均不合格,判该根砷化镓单晶不合格
广东省高等级公路沥青路面施工技术指南(试行)(2010年)8标志、包装、运输、贮存和随行文件
8.1.1每个砷化单晶包装袋附上标签,注明砷化单晶的牌号
每根检验合格的砷化镓单晶应清洗表面,干燥后逐根装人包装袋后,置于适当的包装盒内,四周 生材料塞紧,以免损伤,再将包装盒装人包装箱内,附上随行文件
砷化镓单晶在运输过程中应防止碰撞、受潮和化
【上海市】《住宅设计标准 DGJ08-20-2013》化镓单晶应存放在于燥、无腐蚀性气氛的环境中
每批砷化镓单晶应附有随行文件,其中除应包括供方信息、产品信息、本文件编号、出厂 期外,还宜包括: a) 产品质量证明书,内容如下: ·产品的主要性能及技术参数; ·产品特点; ·对产品质量所负的责任; ·产品获得的质量认证或带供方技术监督部门检印的各项分析检验结果。 b)产品质量控制过程中的检验报告及成品检验报告。 c)产品使用说明:正确搬运、使用、贮存方法等。 d)其他。
需方可根据自身的需要,在订购本文件所列 a) 产品名称; 产品牌号; C) 产品技术要求; d) 产品数量; 本文件编号: f) 本文件中要求在订货单中注明的内容; g) 其他。