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GBT 39157-2020 靶材技术成熟度等级划分及定义.pdf简介:
GBT 39157-2020是中国国家标准(GB/T)中的一项技术规范,全称为《靶材技术成熟度等级划分及定义》。该标准主要针对靶材技术的成熟度进行分类和定义。靶材,通常是指用于各种工业和科研应用中的,如电子束蒸发、离子注入、激光烧蚀等过程中的材料,例如X射线、电子束和离子束等的靶材料。
该标准将靶材技术的成熟度划分为五个等级:
1. 初创(T1):技术刚刚出现,尚在实验室阶段,尚未进行大规模应用或商业验证。
2. 发展(T2):技术开始在实验室和小规模应用中得到验证,但还存在一些关键问题需要解决。
3. 稳定(T3):技术经过一定规模的验证,性能稳定,但可能仍存在改进空间,可以进行商业化生产。
4. 成熟(T4):技术成熟,性能稳定,广泛应用于实际生产场景,且具有良好的经济效益和市场前景。
5. 高级(T5):技术非常成熟,具有很高的性能,广泛应用于各个领域,且在技术上有重大突破或创新。
该标准的目的是为了促进靶材技术的发展,提供一个统一的评价框架,帮助行业理解和评估不同类型靶材的成熟度,推动靶材技术的创新和应用。
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国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会
GB/T391572020
《电磁兼容通用标准发电厂和变电站环境中的抗扰度 GB/Z17799.6-2017》本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本标准起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有 限公司、贵研铂业股份有限公司。 本标准主要起草人:高岩、韩知为、熊晓东、腾海涛、赵永善、贺昕、边逸军、陈明、王传军、姚力军、 闻明、徐国进、管丽梅
本标准规定了靶材技术成熟度的术语和定义、等级划分和判定规则 本标准适用于靶材技术成熟度评价
GB/T391572020
靶材技术成熟度等级划分及定
下列术语和定义适用于本文件。 2.1 靶材target 在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形 式脱离阴极而在阳极表面沉积。 5A 2.2 技术成熟度 technology readiness 技术满足预期靶材应用目标的程度。 2.3 技术成熟度等级 technologyreadinesslevels 用于衡量靶材技术满足预期应用目标程度的尺度 注:改写GB/T372642018,定义2.2, 2.4 技术参数 technicalparameter 针对某一事物在规定的检测条件下得出的相对数据。 注:一般是指设计或生产时做出的性能测试报告 2.5 靶材样品 target samples 在实验室阶段,根据靶材设计要求而制备的用于测试主要性能、结构和检验工艺性能的实物,具备 了靶材的部分特性。 注:改写GB/T37264—2018,定义2.3。 2.6 靶材试制品 target developed products 在靶材工程化阶段,考虑最终形式,并在实验室环境或使用环境下,对靶材关键性能和功能进行测 试,通过小批量或小规模制备的实物。 注:改写GB/T37264—2018,定义2.4。 2.7 实验室环境 laboratoryenvironments 实验室的检测和校准设施以及环境条件,用于验证技术原理和使用功能。 2.8 模拟环境 simulation environments 模拟真实使用环境,用以验证靶材的关键性能或其主要组成部分的关键性能
注:改写GB/T37264—2018,定义2.6。 2.9 使用环境realenvironments 靶材产品实际使用时的环境和工况。 注:改写GB/T372642018,定义2.7。 2.10 靶材产品targetproducts 在产业化阶段,生产工艺成熟,可批量生产,并能实现全部功能,完全满足预期使用目标的实物 注:改写GB/T37264—2018,定义2.5
3靶材技术成熟度等级划分要求
3.1靶材技术成熟度等级划分
靶材技术成熟度按照三个阶具 等级1~等级4)、工程化阶段(等 等级7)、产业化阶段(等级8~
表1靶材技术成熟度等级界定
3.2.1等级1应符合表2的规定
3.2.2等级2应符合表3的规定
GB/T 391572020
3.2.3等级3应符合表4的规定。
3.2.4等级4应符合表5的规定
3.2.4等级4应符合表5的规定
3.2.5等级5应符合表6的规定
3.2.5等级5应符合表6的规定
3.2.6等级6应符合表7的规定
GB/T 39157—2020
3.2.7等级7应符合表8的规定
3.2.7等级7应符合表8的规定
3.2.8等级8应符合表9的规定
3.2.9等级9应符合表10的规定
CJJ 112-2007 生活垃圾卫生填埋场封场技术规程3.2.10等级10应符合表11的规定
3.2.10等级10应符合表11的规定
GB/T 391572020
4.1按照3.2给出的技术成熟度等级条件划分等级,该等级包含的条件应全部满足 4.2判定结论的表示为:X×阶段×X等级
按照3.2给出的技术成熟度等级条件划分等级居住小区别墅建筑施工图,该等级包含的条件应全部满足 判定结论的表示为:××阶段××等级
1GB/T37264一2018新材料技术成熟度等级划分及定义