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GB／T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法.pdf简介：

GB/T 39163-2020 是中国国家标准，名为“靶材与背板结合强度测试方法”。这是一项关于靶材制造和相关行业标准的技术规范，主要针对靶材（通常用于工业、科研、医疗等领域，如X射线、电子束等应用的靶材）与背板（支撑靶材的结构部件）之间的结合强度进行评估。结合强度是衡量靶材与背板之间粘合或固定牢固程度的重要指标，直接关系到靶材在使用过程中的稳定性和耐久性。

该标准可能包括测试方法、设备要求、数据处理与分析等内容，为靶材生产商、科研机构和相关部门提供了一套科学、公正、可操作的测试流程和评判标准。通过遵循该标准，可以确保靶材的质量控制，提高产品的可靠性，并促进整个行业的健康发展。

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国家市场监督管理总局 发布 国家标准化管理委员会

GB/T39163—2020

本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草， 本标准由中国有色金属工业协会提出 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有 限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司。 本标准主要起草人：丁照崇、陈明、赵永善、熊晓东、贺昕、林若虚、李勇军、张晓娜、曹欢欢、王云能 袁海军、李利利、曹晓萌、张静、王传军

GB∕T 36515-2018 混凝土制品机械 砌块成型机安全要求本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由中国有色金属工业协会提出 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）归口。 本标准起草单位：有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有 限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司。 本标准主要起草人：丁照崇、陈明、赵永善、熊晓东、贺昕、林若虚、李勇军、张晓娜、曹欢欢、王云能 袁海军、李利利、曹晓萌、张静、王传军

GB/T39163—2020

靶材与背板结合强度测试方法

本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法， 本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。 注：靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦 焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。

本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法， 本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。 注：靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦 焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T228.1一2010金属材料拉伸试验第1部分：室温试验方法 GB/T228.2金属材料拉伸试验第2部分：高温试验方法 GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T10623金属材料力学性能试验术语 GB/T16825.1静力单轴试验机的检验第1部分：拉力和（或）压力试验机测力系统的检验与 校准

GB/T228.1一2010界定的以及下列术语和定义适用于本文件。为了便于使用，以下重复列出了 GB/T228.1一2010中的某些术语和定义。 3.1 靶材target 在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形 式脱离阴极而在阳极表面沉积。由靶坏和背板组成 3.2 靶坏 targetblank 阴极上用作溅射材料的部分。 3.3 背板 友backingplate 用来支撑或固定靶坏的部分 3.4 最大力 maximumforce F. 试样在屈服阶段之后所能抵抗的最大力。对于无明显屈服（连续屈服）的材料，为试验期间最大 的力 注：改写GB/T228.1—2010.定义3.9.1和3.9.2

GB/T 39163—2020 3.5 应力stress 试验期间任一时刻的力除以试样原始横截面积（S。）之商。 [GB/T228.1—2010,定义3.10］ 3.6 抗拉强度tensilestrength Rm 相应最大力（F）对应的应力。 [GB/T228.1—2010,定义3.10.1] 3.7 抗剪强度 shear strength Tm 试样在剪切断裂前所能承受的最大切应力。 [GB/T11363—2008,定义4.4］ 3.8 室温roomtemperature 温度为10℃～35℃的条件。对温度要求严格的试验，试验温度应 3.9 高温hightemperature 温度高于35℃的条件。

列出的符号适用于本文作

GB/T 391632020

按试验的种类和试样的形状分类，见表2

5.2试样及装置的形状与尺寸

5.2.1拉伸试验试样及装置的尺寸

GB/T39163—2020

表4拉伸试验装置的尺寸

5.2.2剪切试验试样及装置的尺寸

剪切试样的尺寸见表5，试样形状如图4所示。剪切试验装置的尺寸见表6，剪切试验装置如图5 所示，剪切试验试样与装置装配如图6所示

表5剪切试验试样的万

《电子工业防微振工程技术规范 GB51076-2015》表6剪切试验装置的尺寸

GB/T 391632020

6结合面积(S)的测定

试样结合面积测量时接GB/T228. 应根据测量的试样原始尺寸计算原 始结合面积，计算结果表示到小数点后两位，数值修约

定的拉伸试验方法进行试验。加载时应避免结合处产生人为的偏心载荷。试验机施加及脱离载荷的速 率需保持恒定。 7.2按GB/T228.1—2010中规定，室温时拉伸与剪切试验应保证试样在10℃～35℃温度范围下进 行。对温度要求严格的，试验温度可在23℃士5℃下进行。 7.3高温时拉伸与剪切试样应置于备有加热炉的拉伸试验机上施加载荷。加热炉温度的允许偏差及 温度梯度，按GB/T228.2进行。当高温大气气氛对试样结合强度有显著影响情况下，则加热炉需具备 真空或情性气体保护功能。 7.4拉伸试样宜采用图2所示的试验装置，剪切试样宜采用图5所示的试验装置，也可采用具有相同 试验条件的试验装置，

式中： Tm——抗剪强度，单位为牛顿每平方毫米（N/mm²）； Fm最大力，单位为牛顿(N)； S一一结合面积，单位为平方毫米（mm）

GB/T391632020

JG∕T 321-2011 预应力用液压千斤顶GB/T 391632020

11GB/T11363—2008钎焊接头强度试验方法