标准规范下载简介
GB 51343-2018：真空电子器件生产线设备安装技术标准（无水印，带书签）简介：
"GB 51343-2018：真空电子器件生产线设备安装技术标准"是中国国家标准，发布于2018年。这个标准主要针对真空电子器件生产线的设备安装技术进行了详细的规定和指导。真空电子器件是利用电子在真空中的运动特性工作的电子器件，常用于微电子、光电子、核电子等领域，如真空管、真空二极管、真空三极管等。
该标准涵盖了设备的选型、采购、运输、开箱检查、基础施工、设备安装、调试、试运行、验收等多个环节，对设备安装的质量、安全、效率和环保等方面提出了严格的要求。它旨在保证真空电子器件生产线设备的安装质量，提高生产效率，降低故障率，确保设备的使用寿命和生产产品的质量。
这个标准对于真空电子器件生产线的设计、建设、运营以及维护人员都具有重要的参考价值，是保障行业生产和产品质量的重要技术依据。
GB 51343-2018：真空电子器件生产线设备安装技术标准（无水印，带书签）部分内容预览：
1加载试运行应选用成熟产品的成熟工艺，其工艺参数均在 设备的技术指标涵盖范围之内；加载样品材质应与正式产品材质 相同；加载样品预先经过的各种处理应与正式产品相同； 2加载试运行的工艺程序应由设备供货方配合建设单位编 制人工操作程序或自动运行程序，工艺规程应与正常产品的生产 程序相同或相近。 7.1.7调试、试运行结果应填写《真空电子器件生产线设备调试 记录》和《真空电子器件生产线设备试运行记录》，内容和格式应符 合本标准附录B规定
7.2清洗、镀覆设备调试与试
DB29-104-2010标准下载7.2. 1 碱液去油设备调试与试运行应符合下列规定
1清洗工位配置及各工位工作参量指标应满足技术协议 要求； 2传动系统应运行平稳，定位系统应准确可靠； 3管路部分应确认循环泵运行正常无噪声，各阀门灵活可 靠，管路系统无泄漏； 4电气系统应采用五线制，零、地分置； 5 安全防护装置功能应可靠运行； 6 经过去油的零件水膜试验应满足要求。 7.2.2 酸洗设备调试与试运行应符合下列规定： 1 清洗通风柜应设有可封闭的推拉门； 2 排风量应达到设计要求； 3 各类用水应配备齐全，阀门应灵活可靠； 4 上下水路应密封良好、无泄漏； 5 电炉盘应设置绝热板。 7.2.3 镀银设备调试与试运行应符合下列规定： 1电镀场所排风量以及电镀槽口设置的吸风口风压应达到 设计要求； 2水洗槽应配备齐全； 3各类用水应配备齐全，阀门应灵活可靠； 4上下水路管道连接应良好、无泄漏； 5电镀电源电压及功率应满足设备技术说明书要求，电源线 连接点应做防腐处理； 6应配备废电镀液沉淀池。 7.2.4 镀镍设备调试与试运行应符合下列规定： 1电镀场所排风量以及电镀槽门设置的吸风口风压应达到 设计要求； 2水洗槽应配备齐全； 3各类用水应配备齐全，阀门应灵活可靠； 4上下水路管道连接应良好、无泄漏；
5电镀电源电压及功率应满足设备技术说明书要求，电源线 连接点应做防腐处理； 6 镀液管道加热器密封应良好、安全可靠： 7 应配备废电镀液沉淀池。 7.2.5电泳设备调试与试运行应符合下列规定： 1机械传动装置应运行平稳、无噪声； 2电泳电源应达到设备技术说明书指标要求，各仪表指示灯 应工作正常，并应处于仪表校准的有效期内； 3各工位应功能完好，达到设备技术指标要求。
7.2.6真空溅射镀覆设备调试与试运行应符合下列规定：
1真空系统中各真空泵应运行平稳、无异常噪声，真空建立 时间、系统极限真空度应达到设备技术说明书指标要求； 2电气系统中各仪表、指示灯应工作正常并处于校准的有效 期内，各控制元件、联锁装置功能应处于正常状态：； 3机械传动系统的工件架转动应平稳、无明显噪声，炉门应 灵活且密封良好； 4烘烤加热系统的烘烤温度范围、保温功能应达到技术协议 书要求； 5充气系统中的自动压强控制系统应工作正常，各项指标达 到设备技术说明书指标要求： 6真空室内应浩净无杂物。
装配、焊接和排气设备调试与
7.3.1真空钰焊炉（一次封排炉）验收应符合下列规定：
7.3.1真空针焊炉（一次封排炉）验收应符合下列规定： 1真空炉在空载和满载条件下，最高工作温度、真空系统 极限压强、真空建立时间等技术指标应满足技术说明书指标 要求。 2真空系统各单元和管道连接应牢固且密封良好，各真空泵 应运行正常、平稳，各真空阀门应操作灵活且密封良好
3电气系统应符合下列规定： 1）电源开关应灵敏可靠，指示齐全，仪表应在校准的有效 期内； 2加热系统的控制系统应灵敏可靠，可采用手动控制或比 例一积分一微分（PID）调节器控制： 3）电炉丝与隔热屏应绝缘良好； 4）应接地良好，标志明显。 4供水供气管路应密封良好、无泄漏。 5快冷系统应工作正常并达到技术要求，产品出炉应无氧化 现象。 7.3.2×射线实时成像检测系统调试与试运行应符合下列规定： 设备加电后各仪表应显示正常、无报警。 2设备的机械性能应进行下列检查： 1）产品承载台可上下调节及360旋转： 2）承载台旋转速度可调； 3）停位应准确，停位误差应达到技术指标要求。 3成像清晰度、层次性、图像分辨率均应达到技术指标要求 4 故障报警和急停装置操作应可靠。 5 应确认自动扫描功能良好。 6 设备的软件功能应达到设备技术说明书要求。 7.3.3 激光焊接机调试与试运行应符合下列规定： 1单脉冲最大输出能量、脉冲宽度调节范围、脉冲频率可调范 围、发散角、功率不稳定度等激光器指标应满足技术说明书要求： 2光学系统的光斑直径范围应满足技术说明书要求，光路应 显示清晰，调节应灵活； 3工作台的三维行程和旋转轴的定位精度、重复精度应达到 技术说明书要求，且移动平稳自如； 4可实现微机控制操作与手动操作自由切换。
7.3.4氩弧焊机调试与试运行应符合下列规定：
2应选取不同量级经校准的标准漏孔进行检漏，设备漏率的 输出值应与标准漏孔的漏率数值相吻合； 3设备可检的最小漏率应达到设备技术说明书要求。 7.3.7高真空排气台调试与试运行应符合下列规定： 1设备内（外）真空系统极限真空度、真空建立时间、烘箱加 热温度范围等主要技术指标应达到设备技术说明书要求： 2烘箱钟罩应升降平稳，限位应准确可靠； 3真空系统的阀门起团应灵活，并应密封良好； 4电气系统的各电气开关应灵敏可靠，仪表应处于校准的有 效期内，烘箱加热系统应处于正常工作状态，且比例一积分一微分 (PID)调节器性能完好：
5各路冷却水应连接良好、
路冷却水应连接良好、无泄漏
7.4 老炼设备调试与试运行
7.4.1电子管老炼设备调试与试运行应符合下列规定： 各路电源电压调节范围、功率应满足技术说明书要求； 2 仪表及指示灯应显示正常； 应确认电源电压手动调节、程控自动调节功能正常； 电源开关应灵敏可靠，仪表处于校准的有效期内； 冷却风扇应工作正常。 7. 4.2 真空开关管工频高压老炼设备调试与试运行应符合下列 规定： 1 工频电压调节范围、电源功率应满足技术说明书要求； 2 仪表及指示灯应显示正常： 3 电源电压手动调节、程控自动调节功能应确认良好； 4 电源开关应灵敏可靠·仪表处于校准的有效期内； 地线应独立设置。 7.4.3 真空开关管电流老炼设备调试与试运行应符合下列规定 电流老炼直流电源的工作电压和电流应满足技术说明书 要求； 2直流电源应具备极性变换功能； 3真空开关管的开、合机构应工作正常； 4真空开关管的开、合与老炼电流通断同步功能应处于正常 工作状态； 5电流老炼程控功能应达到技术说明书要求。 7.4.4氢炉调试与试运行应符合下列规定： 1工作温度、有效容积等设备的主要技术指标应达到设备技 术说明书要求； 2各操作开关、按钮应灵活可靠； 3机械传动系统的升降机构应运行平稳、无震动DB13／T 1819-2013标准下载，并应无明
显噪声；液压系统应润滑良好、无蒲油； 4水流继电器应工作正常，灵敏可靠；炉体安置的防爆膜应 确认良好； 5电气系统的各仪表指示灯及比例一积分一微分（PID)调 节器应处于正常状态； 6 加热元件与炉体部分应有食好绝缘、无漏电。 7.4.5 微波电子管老炼检测系统调试与试运行应符合下列规定： 1 系统各路电源技术指标应达到技术说明书要求； 2 应确认控制台遥控功能正常； 3 系统使用的仪器、仪表应处于校准的有效期内； 4 微波测试系统的元件均应具备合格证或测试参量数据； 5 微波电子管高压电源与测试仪器的接地线应分设； 6 各类屏蔽室应有验收合格证明。 7.4.6 X射线管老炼检测系统调试与试运行应符合下列规定： 1 系统各路电源技术指标应达到技术说明书要求； 2 应确认控制台遥控功能正常； 系统使用的仪器、仪表应处于校准的有效期内； 高压回路与测试系统的地线应分设； 铅屏蔽室应有验收合格证明。
7.5测试设备调试与试运行
7.5.1 电子管测试设备调试与试运行应符合下列规定： 1 设备各路电源电压、功率应满足设备使用说明书要求； 2 测试用仪器、仪表应处于校准的有效期内： 3 控制台遥控功能应正常； 4 对不在专用屏蔽室测试的产品，射频部分防护罩应齐备 7.5. 2 真空开关管真空度测试设备调试与试运行应符合下 规定： 测试电源电压调节范围、功率应满足设备使用说明：
2测试用磁场励磁电源调节范围应满足设备使用说明书 要求； 3应采用标准电阻对采样系统显示的电流数值正确性进行 验证； 4应确认对多种型号产品管内放电电流与管内真空度关系 曲线的储存和调用功能正常； 5 应具备测试数据存储功能； 6 应具备测试完毕电压归零功能。 7.5.3真空开关管工频耐压测试检测设备调试与试运行应符合 下列规定： 1工频电压调节范围、电源功率应满足技术说明书要求； 2 仪表及指示灯应显示正常； 3电源电压的手动调节、程控自动调节功能均应良好，并应 具备测试工艺规范的设置存储和调用功能； 4 电源开关应灵敏可靠，仪表应处于校准的有效期内； 5 应确认过流保护和报警功能良好。 7.5.4 雷电冲击耐压测试设备调试与试运行应符合下列规定： 1 雷电冲击电压调节范围、电源功率应满足技术说明书 要求； 2 仪表及指示灯应显示正常GB∕T 38057-2019 城镇供水泵站一体化综合调控系统，仪表应处于校准的有效期内； 3电源电压手动调节、程控自动调节功能均应确认处于良好 状态，并应具备测试工艺参量的设置和存储调用功能； 应其备冲击波形的显示和存储功能； 5 应具备冲击结束后自动接地功能； 6 地线的接地电阻值应达到设备技术说明书要求。 7.5.5 真空开关管接触电阻测试设备调试与试运行应符合下列 规定：
应满定技术说明书要求； 2用标准电阻样块测试其显示值应与样块阻值吻合
自动化生产线联线调试与试运