JB/T 10076-2013 冷阴极电离真空规管.pdf

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标准编号:JB/T 10076-2013
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资源大小:2.1 M
标准类别:机械标准
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JB/T 10076-2013标准规范下载简介

JB/T 10076-2013 冷阴极电离真空规管.pdf简介:

"JB/T 10076-2013"是中国机械工业联合会JB/T(机械行业标准)系列中的一项标准,其全称为《真空规管 第1部分:冷阴极电离真空规管》。该标准主要规定了冷阴极电离真空规管的性能、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输和储存等方面的内容。

冷阴极电离真空规管是一种用于测量真空度的设备,其工作原理是利用电子在高真空环境下与气体分子碰撞,使气体分子离子化,通过测量离子流的强度来间接反映真空度的大小。这种真空规管通常在高真空或超高真空环境中使用,如半导体制造、真空镀膜、航天器等。

该标准明确了产品的设计、制造、检验和使用过程中的各项规范,以确保产品的性能稳定,精度可靠,为真空设备的生产和应用提供技术指导。对于从事相关行业的企业和技术人员来说,遵循此标准是保证产品质量和安全的重要依据。

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下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T2423.2一2008电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验B:高温 GB/T2423.3一2006电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Cab:恒定湿热试验 GB/T3163 真空技术术语 GB/T4982 真空技术快卸连接器尺寸第1部分:夹紧型 GB/T6070 真空技术法兰尺寸 GB/T13384 机电产品包装通用技术条件 JB/T9329 仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件及试验方法

GB/T3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 8.1 零散性scattered 规管系数的偏差。 3.2 灵敏度sensitivity 对于给定压力,真空计读数变化除以对应压力的变化。 注:某些类型真空计的灵敏度系数取决于气体的性质。在此情况下,灵敏度总是对氮气而言。 3.3 漏率leakrates 在规定条件下,一种特定气体通过漏孔的流量。

GB/T3163界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 零散性scattered 规管系数的偏差。 3.2 灵敏度sensitivity 对于给定压力,真空计读数变化除以对应压力的变化。 注:某些类型真空计的灵敏度系数取决于气体的性质。在此情况下,灵敏度总是对氮气而言。 3.3 漏率leakrates 在规定条件下,一种特定气体通过漏孔的流量。

JB/T 13587.1-2019 高速五轴联动定梁龙门加工中心 第1部分:精度检验.pdf规管在下述环境条件下应能正常工作: a)环境温度:0℃~40℃:

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b)相对湿度:10%~75%。

外表观察应满足下列条件: a)玻璃规管外壳应无裂缝或明显的气线、气泡等缺陷; b)规管与真空系统连接部分表面不应有影响密封性能的划伤; c)规管工作磁铁与管壳之间应有调整和固定装置; d)规管外壳与管基之间的固定应牢固; e)规管绝缘件表面应清洁无污染; f)规管电极装架应牢固、无松动等现象; g)规管应有明显、清晰的标志。

规管与真空系统连接部分应满足下述要求: a)连接管道为玻璃管时应采用硬质玻璃; b)连接部分为圆形管道时,管道外径应为(15.5土0.5)mm; c)采用法兰连接时,法兰尺寸应符合GB/T4982和GB/T6070的规定。

规管在包装运输条件下,应符合JB/T9329的要求。其中: a)高温试验选用(55±2)℃:

则或相应的工具来检验规管是否符合4.2的要求

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用精度为1级的外径测量工具进行检验规 统连接部分是否符合4.3的要求,

用相应灵敏度的氢质谱检漏仪进行检验。对于玻璃规管在其封离加工系统、存放48h后,双 若内部压力低于10Pa,则认为规管漏率符合4.4的要求。

使规管处于大气状态,用相当于规管工作电压的绝缘电阻表或其他绝缘电阻测量仪器,分别在下岁 条件下直接测量阳极和阴极之间的绝缘电阻,可检验规管是否符合4.5的要求。 温湿度要求: a)温度:40℃。试验条件按GB/T2423.2中的规定,达到规定温度0.5h后进行测试。 b)湿度:75%(25℃时)。试验条件按GB/T2423.3中的规定,达到规定湿度两天后进行测试。

5.5.1试验条件及方法

5.5.1.1校准采用动态相对法进行比较。它的基本原理是将待校准的真空计和标准真空计接在同一校 准室上,该室所需压力可以通过动态平衡调节取得。 5.5.1.2标准装置的测量范围满足被校规管的待校范围,用于规管校准标准装置的总不确定度不大于 5% 5.5.1.3计算单个规管特性曲线的压力偏差(与标准曲线比较),按下式进行:

装置示意图如图1所示,动态相对法真空系统应

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5.5.2.4校准室的结构应符合下列要求:

图1真空压力试验装置示意图

5.5.3.1校准时,规管配用稳定的真空计控制单元。其工作电压误差不超过土1%;其放电电流读数采 用准确度等级≥0.5级的直流微安电流表。 5.5.3.2校准前,规管必须按产品规定的方法通电老化或除气处理。 5.5.3.3校准按压力上升的形式进行,在整个测量范围内,每个量级均匀分布选取不少于3个压力测 式点,每一测量点的读数应在测量室压力稳定1min后读取。

规管应符合4.7的要求,在真空系统上被检测规管抽至规管的压力下限附近,关闭真空计控制单元

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5h后再打开,用秒表测得激发时间。 测试时,允许使用配套控制单元中的辅助激发装置。真空系统的真空度监测可以采用电离真 必须与被检真空计同时关闭或规管与测试系统连接处加一个接地的金属网,以防止游离的带电料 制试的影响。

规管应符合4.8的要求,试验所用的装 上升和下降程序进行校准得到 曲线。当出现双值现象时,则在其中点计算偏离 压力偏差值

5.8抗运输环境性能试验

产品检验分为出厂检验和型式检验。检验用仪器仪表须经计量部门检定合格公路工程标准施工招标文件-工程量清单(2018年版 第三卷).pdf,具有合格证明,并在 使用有效期内。

.3.1型式检验由生产厂质量检验部门或委托有关部门依照4.1~4.9的要求,按5.1~5.8的试 挂行检验。

6.3.2在下列情况之一时,须进行

a)新产品设计定型; b)正式投产后,一年一次的周期性检查; c)停产超过一年,再投产; d)出厂检验结果与上次型式检验有较大差异。 6.3.3型式检验的样品应从出厂试验合格的批量产品中任意抽取2%、但不少于5只的规管进行试验 试验过程中,若有一项不合格,则应再取加倍数量的产品进行全部项目的复验。若仍有一项不合格,则 认为型式检验不合格。

规管应有下列醒目的耐久性标志: a)制造厂名或商标; b)产品名称和型号; c)制造年、月或出厂编号。

CJJ1-2008《城镇道路工程施工与质量验收规范》(1).2.1每只规管在包装时应附有产品说明书和产品合格证。产品说明书应包括如下内容: a)制造厂名称及厂址; b)产品名称和型号; c)产品标准编号; d)产品外形图及主要尺寸; e)主要参数和标准曲线; f)电极接线图; g)规管清洗方法; h)产品特点和使用要求; i)其他。 22胡管包装应链合创

打印日期:2015年1月16日F007

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